Файл: Иваницкий Г.Р. Исследование микроструктуры объектов методами когерентной оптики.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 22.06.2024
Просмотров: 64
Скачиваний: 0
Рис. 20. Аппаратная функция системы с изотроп ным ограничением спектра.
Рис. 21. Автокорреляция аппаратной функции, пони занной на рис. 20.
где г = !2пр.-г; р = |
оф. + |
“ >1; А |
(г) — |
функция Бесселя первого по |
||||||
рядка. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Зависимость |
g(p ) |
для |
трех |
значений |
а, |
соответствующих |
гра |
|||
ничным, |
пространственным |
частотам |
в 90, |
180, 270 рад/мм |
( F = |
|||||
|
|
О |
|
|
|
|
|
|
|
|
= 500 мм; |
А,= 6 328 А ), |
показана на рис. |
20. |
|
|
|
||||
Первый сомножитель в выражении (158) представляет собой |
||||||||||
автокорреляционную функцию |
(159) |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
00 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Rh№ |
|
Г 2,1, (г) 2J, |
(г + |
Аг) |
|
||||
|
J |
z |
z + |
Az |
dz. |
(160) |
||||
|
|
|
— |
00 |
|
|
|
|
|
|
Результаты вычисления для тех же трех значений граничных пространственных частот приведены па рис. 21.
Полученные функции достаточно хорошо аппроксимируются ком бинацией затухающих косинусов вида
Ciexp(— |
<X|A.v)cos |5|Дх+с2ехр(— a2Ax)cos fi2A.v. |
(161) |
Наибольшая |
точность аппроксимации достигается |
в области |
небольших значений аргументов, соответствующих первым двум пе реходам функции через нуль.
Подстановка функции (161) в выражение (158) позволяет оце нить дисперсию оценок корреляционной функции при заданной частотной характеристике дополнительного фильтра.
Г л а в а ч е т в е р т а я
ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ КОГЕРЕНТНО ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
17. МЕТОДЫ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНОЙ ФИЛЬТРАЦИИ
МИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИЗОБРАЖЕНИЙ
Впервые методы пространственной фильтрации стали применяться в микроскопических системах. Первые экс перименты в этой области проделал Аббе (§ 9, рис. 7), подтверждая свою теорию формирования изображения в микроскопе. Такие приемы пространственной фильтра ции, как метод темного поля и фазового контраста, при меняются в микроскопии уже ряд десятилетий.
Поскольку двумерную фильтрацию в общем виде можно охарактеризовать «ак изменение двумерного спектра микроскопического изображения, она, как пра вило, осуществляется введением фильтра переменной прозрачности в плоскость двумерного спектра. Если функция прозрачности фильтра R(cov, Шу), то спектр изображения в этом случае примет вид:
5нз(С0д:, (Оу) — 5оо (Шдь СОу)(C0.v, ®yj, |
(162) |
где Sqo(co.x, coy) — спектр объекта.
91
Распределение в плоскости изображения будет: |
|
||||
|
|
|
00 |
|
|
|
/„з (X, У) = - ^ г j j 5 o6 1“>*. шу) X |
|
|||
Х Р К , |
Шу)ехр/[wxx-\-Wyij\dwxdwy. |
(163) |
|||
Двумерная фильтрация может быть выполнена вве |
|||||
дением фильтра |
не только в спектральную плоскость, |
||||
но и в плоскость |
объекта. |
(В этом случае транспарант |
|||
переменной |
прозрачности |
правильнее |
называть |
не |
|
«фильтром», |
а «опорным |
сигналом» [Л. |
32].) Если |
его |
распределение описывается функцией г(х, у), а распреде
ление |
объекта foo(x, |
у), то спектр совокупности объек |
|
та и опорного сигнала будет: |
|||
|
00 |
|
|
S К , |
Ш У ) = j Л/ об ( Д - , |
у) г (х, у) ехр [— / К л - + шД/)| dxdy. |
|
|
— оо |
|
(1 6 4 ) |
|
|
|
|
В точке плоскости двумерного спектра, соответствую |
|||
щей |
(o.v = co!/= 0, |
выражение (164) становится равным |
|
|
|
СО |
|
S' К , соу) = |
Г Г |
/ об (Л- — х', у — у') г (х, у) dx dy, (165) |
что представляет собой взаимнокорреляционную функ цию объекта и опорного сигнала, х' и у' — координаты сдвига относительно опорного сигнала.
Фильтрация в пространственной области часто ис пользуется также в некогерентных оптических системах, причем иногда опорный сигнал воспроизводят модуля цией интенсивности истопника освещения во времени
[Л. 55].
В некоторых случаях операция фильтрации осущест вляется одновременно в частотной и в пространственной плоскостях. Результат фильтрации в пространственной плоскости определяется выражением (164). Введение фильтра в частотную плоскость приведет к видоизменен ному спектральному распределению
5i(co.v, coy) ~ S {o).y, (оу) R(oj.v, соу).
Для плоскости изображения справедливо
СО
/из (х, у) — г j*j Sl (со,., Шу) ехр / (шхд -|- 03Уу) dmxdwy. (166)
92
Выше было показано, что устройство оптимального обнаружения при нормальном законе распределения шу мового фона должно включать в себя систему формиро вания функции взаимной корреляции и устройство срав нения с постоянным порогом. В зависимости от решае мой задачи может быть выбран тот млн иной критерий оптимальности, в соответствии с которым определяется значение порогового отношения правдоподобия (§ 13). Указанная выше структурная схема системы обнаруже ния независимо от выбранного критерия останется неиз менной.
В оптико-электронных системах информация о мик рообъекте представляется вначале в виде оптического изображения, описываемого функцией яркости от двух переменных (координат на плоскости). Путем сканиро вания лучистая энергия изображения трансформируется в электрический сигнал, являющийся функцией лишь единственной переменной — времени. Преобразование лучистой энергии в системах обнаружения микроскопи ческих объектов возможно до формирования корреляци онной функции.
Может быть осуществлен и другой вариант подобной операции, отличающийся тем, что формирование двумер ной корреляционной функции выполняется оптическими методами, а преобразование лучистой энергии в электри ческую производится перед схемой сравнения с порогом.
Главным недостатком первого варианта является то, что при формировании двумерной корреляционной функ ции приходится оперировать с видеосигналом, представ ляющим функцию лишь единственной переменной — вре мени. Это естественно усложняет задачу и требует при менения специальных достаточно трудоемких приемов
[Л. 51].
Другим его недостатком является то, что основным источником помех в оптико-электронных системах ана лиза микрообъектов является шум, возникающий при преобразовании лучистой энергии в электрическую. Это уменьшает точность выполнения необходимых преобра зований по сравнению со случаем, когда подобные пре образования осуществляются до фотодетектора.
-Поскольку по своей природе анализируемые изобра жения двумерны, то системы, формирующие двумерную корреляционную функцию оптическими методами, более просты. Гибкость им придает возможность простого, по
93
Сравнению с одномерным случаем, 'Получения двумерного спектрального распределения за счет явлении дифрак ции.
Важным доводом в пользу применения таких систем является также то, что в когерентных оптических систе мах может быть выявлена фазовая информация о струк туре объекта (обстоятельство, чрезвычайно существенное в задачах обнаружения микроскопических объектов). При трансформации лучистой энергии в электрический сигнал эта информация полностью утрачивается, так как детекторы излучения не регистрируют фазовых изменений.
Рассмотрим более детально методы формирования двумерных корреляционных функций. Формально опе рация отыскания взаимной корреляции описывается выражением
|
хГ2 |
у}2 |
К (л-', у') = 1нп |
j |
\ f ( x , u ) g ( x ~ x У у ) dx dy, |
Л'-*СО |
-л-/2—1/12 |
|
!/-*оо |
(167)
где х', у' — определяют сдвиг одной функции относи тельно другой в направлениях х и у.
При экспериментальном определении корреляцион ной функции она вычисляется интегрированием по обла сти конечной протяженности. Воспользовавшись теоре мой Парсеваля [Л. 50], можно прийти к выражению корреляционной функции через спектральное представ ление функций f(x, у) п g(x, у)
00
К ( х ' , y ') = -4^ r | j S / K - , шу ) 5 * г К , <и!/)е х р [Д < » .сл' +
—00
+ <°иу )] dmx duly.
( 168)
В соответствии с двумя формами записи существуют различные методы экспериментального определения двумерных корреляционных функций. Возможно пере множение исходных функций в предметной плоскости, причем одна из функций смещается относительно другой в направлении х и у п выполняется интегрирование для каждого из значений х', у' [Л. 115]. (Перемножаемые функции не обязательно должны находиться в одной
94
плоскости [Л. 113], существенно то, что оперирование происходит непосредственно с функциями, а не с их спектрами.) Таким экспериментальным методам соот ветствует запись корреляционной функции в форме вы ражения (167).
Существуют п другие методы вычисления корреля ционной функции. В них производится перемножение спектров исходных функций, причем в качестве одного сомножителя берется выражение, комплексно сопря женное одному из спектров, и выполняется обратное преобразование Фурье. Результат соответствует корре ляционной функции, записанной в форме (168).
Рис. 22. Структурная схема системы двумерной согласованной фильтрации.
Вычисление корреляционной функции через спектры более удобно в задачах обнаружения микроскопических объектов, так как при использовании когерентного осве щения может анализироваться поле достаточной протя женности и отпадает необходимость в сдвигах одного изображения относительно другого. Вычисление корре ляционной функции подобным образом фактически идентично методам линейной согласованной фильтрации (§ 11). В этом случае необходимыми операциями явля ются перемножение спектра входной реализации с функ цией, комплексно сопряженной спектру эталонного изо бражения, и выполнение обратного преобразования Фурье. Необходимо также учесть спектральную плот ность фона.
Так как в системах микроскопического анализа вход ными распределениями являются микроскопические изо бражения препарата, то для получения спектра входной реализации нужно выполнить прямое преобразование Фурье. Структурная схема такой системы будет подоб на изображенной на рис. 22.
Привлекательность выполнения таких операций опти ческими методами, наиболее адекватными анализируе-
95
мым функциям, объясняется сравнительно простыми переходами от предметной области к спектральной. Соотношение между амплитудами, распределенными на сферическом волновом фронте, дифрагированном то чечным источником, и распределением амплитуд в пло скости, перпендикулярной оси, формально описывается преобразованием Фурье (Л. 50].
Структура объекта может быть в свою очередь
представлена |
как совокупность точечных источников, |
а изображение |
мпкрообъекта — как суперпозиция реак |
ций оптической системы от всей совокупности точечных
Рис. .23. Выполнение пре образования Фурье в коге рентной оптической системе.
источников по поверхности объекта. Сам процесс фор мирования изображения определяется явлениями двух последовательных дифракций: первая описывает пере ход от объекта до входного зрачка микроскопической системы, вторая — от выходного зрачка до изображения. Каждому из процессов дифракции соответствует свое преобразование Фурье. Таким образом, переход к спек тральному описанию распределения яркости на объекте может быть осуществлен с помощью элементарных оптических систем. При использовании когерентного освещения подобную операцию можно выполнить с по мощью обыкновенной сферической лпмзы (рис. 23).
Распределение амплитуд в плоскостях Пл^ и Плз связано преобразованием Фурье с точностью до фазо вого множителя
У*) = Р \К (*.. Уд\ ехрЖл'з- У3), . (169)
где символ F означает преобразование Фурье. Значе ние р определяется расстоянием 2 между плоскостями FIai и Пл2. (Предполагается, что в системе выполняются условия инвариантности.) Точное преобразование Фурье выполняется при условии ${х3, у3) = 0 , т. е. когда сг~0,
96
и плоскость размещения входных |
данных совпадает |
с передней фокальной плоскостью линзы. |
|
Второй операцией, необходимой |
для осуществления |
согласованной фильтрации, является перемножение по лученного спектрального распределения препарата с функцией, комплексно сопряженной спектру эталона. Однако до недавнего времени существенные трудности представлял процесс регистрации комплексных двумер ных функций. Наиболее доступные и потому наиболее широко используемые фотографические материалы при годны лишь для регистрации неотрицательных значений двумерных функций.
Модуль функции передачи двумерного фильтра в этом случае лежит в интервале между 0 и 1 [Л. 32]. Возможные приложения такого рода фильтров демон стрировали О’Нейл и Катрона [Л. 32, 115].
В ряде случаев возникает необходимость регистра ции отрицательных значений функций. Использование фотоматериалов в качестве регистрирующих сред по рождает здесь существенные трудности. Попытки обой ти их привели к созданию различных методов. Все они представляют собой компромисс между необходимостью регистрировать широкий диапазон значений модуля и аргумента двумерных функций и сложностью реализа ции двумерных фильтров такого рода.
В качестве примера сошлемся на использование для этой цели дополнительных фазовых фильтров [Л. 32, 111]. Изменения фазы световой волны можно достигнуть изменением толщины пли коэффициента преломления определенных участков фильтра. Техника изготовления фильтров, использующая обычные фотографические мето ды, практически исключает такие приемы ввиду их слож ности. Поэтому применявшиеся фазовые фильтры имели лишь два значения, отличающиеся на л., что расширяло об ласть значений по действительной осп, регистрируемых на фильтре [Л. 32]. Реализация двоичных фазовых фильтров несколько упрощалась благодаря достаточно отработанной технике изготовления фазовых решеток.
Компромиссным решением также является введение постоянной составляющей светового потока с последую щим блокированием нулевых пространственных частот [Л. 55]. К тому же при синтезе полосовых фильтров такого рода методика вообще непригодна. Это побудило Читема и Коленберга [Л. 85] предпринять оригинальную
7—552 |
97 |