Файл: Данилин Н.С. Теория и методы неразрушающего инфракрасного контроля радиоэлектронных схем.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.07.2024
Просмотров: 150
Скачиваний: 0
В общем виде задача о распределении температуры в твердой схеме сводится к решению уравнения теплопроводности в неодно родном анизотропном теле с многочисленными источниками теп ла. Это сложная математическая задача. Для проведения практи ческих расчетов сделаем следующие допущения:
—будем считать, что влияние анизотропии кристалла на рас пределение температур незначительно;
—вся схема, включая источники тепла, изотропна и одно
родна.
При этом рассматриваемая задача сводится к известному урав нению. теплопроводности с внутренними источниками тепла:
V27’+ x |
4 V(x\ у; |
z ) « 0 , |
(4.33) |
|||
где qV{x-,y;z)~ распределение |
источников |
тепла |
(производитель |
|||
ность внутренних источников тепла); |
||||||
Л-~ коэффициент |
теплопроводности; |
|
||||
Т—лапласиан системы, равный |
|
|||||
д- Т |
(Т- Т_ . |
дч- Т |
(4.34) |
|||
дх- |
' d\>- |
' |
dz- |
|||
|
Общее решение уравнения (4.33) является сложным и мало пригодным для инженерной практики, что вынуждает применять приближенные методы решения. Сделаем следующие допущения:
—источники тепла имеют «толщину», равную толщине схемы;
—влиянием температуры на мощность источников тепла мож но пренебречь;
—толщина схемы значительно меньше двух других его изме
рений.
При сделанных допущениях задача может быть решена наибо лее простым методом — в виде суммы функций: функции Бесселя мнимого аргумента и функций Макдональда (И].
Для получения наглядных и практически приемлемых резуль татов введем дальнейшее упрощение:
—реальные источники тепла заменим . набором точечных ис точников;
—будем считать, что поле температур в окрестности каждого из источников симметрично.
Рассмотрим тепловой баланс в окрестности одного из источни ков (рис. 4.2). Считаем, что:
'' — температура окружающей среды — Т;
—толщина схемы — б;
—коэффициент теплоотдачи с поверхности схемы — а.
63
Для кольца с радиусом r + dr и г уравнение баланса |
тепла (Q) |
имеет вид |
|
Qr — Q(r -f- dr) = dQ- |
(4.35) |
|
|
Qr — — 2тс г X3 dr , |
|
где |
|
Q{r + d r ) ^ Q r - l —^ - d r . |
(4.36) |
Запишем |
величину |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d Q r dr. |
|
|
|
|
||
Очевидно, |
что |
|
|
|
dr |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
. * |
d |
|
|
|
|
||
|
dQ r |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
—т~— dr — — 2тг Xо — |
dr |
rJ |
r ' |
|
||||||
|
dr |
|
|
|
|
|
dr у |
|
|||
|
! тс Xо ^ |
d T |
|
. |
d?T |
. |
|
d T . . |
(4.37) |
||
|
dr |
|
r + —— г dr -|--- — |
d r |. |
|||||||
|
|
|
|
|
dr- |
' |
1 |
dr |
|
|
|
Выражая |
dQ через коэффициент теплоотдачи, получим |
|
|||||||||
|
|
|
d Q = |
a Т^т.г. |
|
|
|
(4.38) |
|||
Приравнивая выражения |
(4.37) |
и (4.38), |
получаем |
|
|||||||
|
d2 7 |
|
1 |
|
d Т |
2а |
7 = 0 . |
(4.39) |
|||
|
dr'1 |
|
г |
|
|
dr |
X8 |
Решение уравнения |
(4.39) может быть представлено |
в функ |
циях Бесселя мнимого |
аргумента: |
|
Т = А J0 (mr) -f В К0 (m г), |
(4.40) |
Ko(mr) — функция Макдональда; Jo(mr) — функция Бесселя;
А и В — постоянные, определяемые из граничных условий. Так как уравнение (4.40) удовлетворительно описывает пове
дение температурного поля вблизи от источников, будем искать решение уравнения (4.39) по всей площади интегральной схемы тоже в виде разложения по функциям Бесселя мнимого аргу мента. '
Применяя принцип суперпозиции, запишем решение в следую
щем виде (см. |
рис. 4.3 и 4.4): |
|
|
т (Г, <?) = |
У А п /п (m г) eUvf -f iК ( т г ) ' £ В к К 0 (т гок), |
(4.41) |
|
|
п= ~ |
к= 1 |
|
где г — расстояние |
от центра координат до точки наблюдения |
(рис. 4.3); |
| |
гк — расстояние от К источника до точки наблюдения; М — число источников.
ТгЭ
Тг2
Tri
Поскольку мы хотим учесть ИК температурные взаимные влия ния источников для выделения рекомбинационного ИК излучения,
5—1392 |
65' |
потребуем точного выполнения граничных условий для конечного числа точек границы (см. рис. 4.4). Для этого преобразуем сингу лярную (зависящую от источника) часть выражения (4.41), пред ставив ее в следующем виде:
|
|
|
7Чг„ |
?.) - |
Л.-; |
|
|
||
|
|
|
Г (г,, |
?•,) - |
Т,г: |
|
(4.42) |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т (/*„, |
т'и) “*=7 мг. |
|
|
|||
где г| и 'fi |
— коэффициенты точек границы; |
|
|
||||||
п |
— выбранное число |
точек |
границы. |
Если |
|||||
Теперь |
представим |
граничные условия |
для источников. |
||||||
мощность I источника равна ql, |
то очевидно, |
что |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
(4.43) |
Перераспределим решение |
(4.41) |
относительно начала |
коор |
||||||
динат, расположенного |
в |
I источнике. |
Имеем |
|
|||||
|
|
Т, (г, в) = |
^ |
А„ /„ (т г01)1 [т г) в,пт' -f |
|
||||
|
+ |
v в к Д'и (,7t Ль. /) /„ (тг) |
\ - |
В 1 иКп (т г). |
(4.44) |
||||
|
|
к = 1 |
|
|
|
|
|
|
|
Совершая |
предельный |
переход [8], |
получим |
|
ql
в /о: 2 -х з ■
Таким образом, мы имеем следующее соотношение:
7 (г, ? ) |
V л „ /„ (/л г ) е'"г -|- V _ 9_КТ Ки( т гк). |
(4 .4 5 ) |
|
к-1 |
|
Несмотря на весьма значительные допущения, выражение по зволяет оценить степень влияния источников друг на друга и по
лучить фоновое ИК распределение. Выражение |
(4.45) |
позволяет |
||
значительно упростить решение задачи влияния |
источников друг |
|||
на друга |
путем решения па ЭЦВМ. |
|
|
|
Из анализа решения можно сделать следующие выводы:. |
||||
1. |
Фоновое |
температурное поле интегральной |
микросхем |
|
представляет собой |
довольно сложную картину, |
являющуюся cv- |
66
перпозицией двух составляющих: регулярной, зависящей от фор мы кристалла и сингулярной — зависящей от источников, т. е.
м
|
|
Т ( г , с?) = |
Т0(г , ? ) + |
£ 2 Т Г з А'о ( т г , ) . |
|
|
(4 .4 6 ) |
||||||
Это позволяет рекомендовать следующий способ оценки фоно |
|||||||||||||
вого |
ИК |
излучения: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
— ищется решение Т0(г,ф), симметрия которого определяется |
|||||||||||||
симметрией |
кристалла; |
|
|
1 |
согласно |
[30]. |
|
|
|
||||
— ищется суперпозиция |
полей |
прогнозирования со |
|||||||||||
2. |
|
Т(г,ср) позволяет |
уменьшить |
ошибку |
|||||||||
стояния элементов интегральной схемы по их |
ИК |
излучению. |
|||||||||||
Подстановка сингулярной составляющей в закон |
распределения |
||||||||||||
случайной |
величины |
1\ |
позволяет |
с наибольшей |
|
точностью оце^ |
|||||||
нить |
М [/|| |
и М \x\jh\. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Итак, для уменьшения ошибки прогнозирования состояния ин |
|||||||||||||
тегральной |
микросхемы |
по |
ИК |
излучению |
ее элементов необхо |
||||||||
димо учитывать теплораспределение схемы за счет теплопровод |
|||||||||||||
ности. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
§ 4.5. |
УРАВНЕНИЕ СИСТЕМЫ. |
РАСЧЕТ ХАРАКТЕРИСТИК |
||||||||||
Рассмотрим пр'имер расчета |
ИК системы. |
|
|
|
|||||||||
В измерительной системе связь между характеристиками эле |
|||||||||||||
ментов может быть выражена уравнением |
|
|
|
|
|||||||||
|
D„ |
- v V |
2 тс |
' о |
do |
|
|
|
* |
(4-47) |
|||
|
~32 |
/ > |
m Д ф |
7 |
|||||||||
где |
т0 |
|
|
|
|
||||||||
— коэффициент |
пропускания оптической |
системы; |
|||||||||||
|
do>, |
— диаметр входного отверстия оптической |
системы; |
/— интенсивность излучения элементов интегральной схемы в диапазоне волн чувствительности приемни ка лучистой энергии;
F„p — пороговая |
чувствительность |
приемника |
лучистой |
|
энергии; |
|
|
|
|
m — ---------требуемое |
соотношение сигнал/шум по напряжению; |
|||
' * Ш |
разрешающая способность системы, рад; |
|||
д Т — угловая |
||||
t u — время просмотра мгновенного |
поля зрения, |
сек; |
||
г — число элементов поля обзора; |
|
схемы от |
||
Dmax — максимальное расстояние интегральной |
||||
приемника |
лучистой энергии. |
|
|
На основе рассмотренных характеристик интегральных микро схем имеем следующие данные:
— площадь исследуемой интегральной схемы S = 6 см2;
— угловое разрешение в линейных |
размерах — 0,035 мм. |
5,: |
67 |
Рассчитаем |
основные |
характеристики проектируемой системы |
||
по следующей |
методике. |
|
|
|
1. |
Задаем |
расстояние |
D= L0 см. Соотношение ----— 10. |
Диа- |
метр |
|
|
Мш |
|
входного «зрачка» — 50 мм. |
микро |
|||
2. |
Определяем’допустимую интенсивность излучения от |
схемы в заданном направлении. Допустимая мощность рассеива ния на каждом квадратном сантиметре для микросхем составляет
50 мвт/с.м2. Элементарная площадка, |
|
контролируемая системой |
|||||||||
3 = |
1225- 1U-" см-: |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
P S |
50-К )'31225-10~s |
0,2-10-6 Вт/с. |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
3 3 4 ' |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3. |
Находим пороговую чувствительность приемника |
лучисто |
||||||||
энергии. Для |
этого |
определяем: |
|
|
|
|
|
||||
|
а) угловую разрешающую способность |
|
|
||||||||
где |
а |
— линейное |
разрешение; |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
- - . ■ |
|
|
35-10-1 |
3,5-10—1рад; |
|
|||
|
|
|
Л ^ = |
|
--- ----- - = |
|
|||||
|
|
|
|
1 |
|
ю |
|
|
|
|
|
|
б) |
время |
просмотра |
|
мгновенного |
поля |
зрения |
|
|||
|
|
|
Л, |
1 |
Л / = |
(0,25 -г- 0,4)/ м. |
|
||||
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Из |
соображений, |
приведенных |
ниже, |
выбираем /„, = |
1 кГц; |
|||||
А /=250 Гц. |
Тогда |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
1а = ДДГ = |
0,004 с' |
|
||||
|
в) |
время |
просмотра |
|
кадра |
|
|
|
|
|
Т —г — 100- 0,004 — 0,4 с.
Решим уравнение системы
10 |
— Л/ |
о 31 ( |
0,78 - _Ю ---------- |
/ |
0,004 |
|
|
100 |
|||||
|
V |
’ \ |
Дпр 10-3,5-10-» |
|
||
|
|
1оо= ° , з4‘1о~4 |
112 -10"6 |
|
|
|
|
|
3(5.io~ ; |
|
|
||
|
|
3,5-10-1 Д„р — 3,47-10“10; |
|
|
||
|
|
Дпр = |
0,9-10-9 |
Втп '.см °С.!-. |
|
|
6*