Файл: Данилин Н.С. Теория и методы неразрушающего инфракрасного контроля радиоэлектронных схем.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.07.2024
Просмотров: 148
Скачиваний: 0
Г Л А В А 4
РАЗРАБОТКА ТЕХНИЧЕСКИХ ТРЕБОВАНИЙ К ОБОРУДОВАНИЮ И СРЕДСТВАМ ИНФРАКРАСНОГО
НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ, ЭКСПЛУАТАЦИИ И РЕМОНТЕ
РАДИОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ
§ 4.1. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИНФРАКРАСНОГО МЕТОДА КОНТРОЛЯ
В настоящее время проверку состояния контролируемого объек та осуществляют автоматические системы контроля и обнаруже ния неисправности. Автоматические системы контроля (АСК) и автоматические системы обнаружения неисправности (АСОН) построены по следующему принципу: чувствительные датчики из меряют необходимые параметры определенных участков объекта контроля, полученная информация обрабатывается и анализиру ется с помощью логического устройства, в результате чего на вы ходе получаем информацию о состоянии объекта контроля, кото рая используется для прогнозирования его работоспособности.
Для получения этой информации необходимо измерять ряд па раметров сигнала цепи контролируемого объекта: частоту элект рического сигнала, его фазу, амплитуду, сопротивление в цепи и т. д. Это множество измеряемых параметров в свою очередь тре
бует множества разнообразных |
чувствительных датчиков с раз |
||
личными |
значениями |
пороговой |
чувствительности в зависимости |
от типа |
и назначения |
контролируемой схемы. |
Такое требование приводит к ограничению применения АСК и АСОН, к увеличению их сложности, стоимости, объема, в резуль1 тате чего почти невозможен 100-процентный контроль состояния элементов контролируемой аппаратуры и обнаружения места от каза с точностью до элемента. В этом случае АСК и АСОН будут содержать значительно больше элементов, чем контролируемый объект. Достоверность полученной информации будет очень мала
53
ввиду того, что надежность самих систем контроля и обнаружения неисправности будет невелика по сравнению с надежностью объек та контроля.
В связи с этим становится насущной проблема отыскания тако го универсального параметра в схеме, который был бы общим для всех элементов схемы, независимо от их режимов работы, сигна лов в схеме и от назначения самой схемы. Кроме того, этот уни версальный параметр должен измеряться чувствительным датчи ком одного типа с постоянным порогом чувствительности.
Таким параметром можно считать генерационно-рекомбина ционное инфракрасное излучение элементов интегральной схемы в диапазоне 1—6 мкм [30].
Замеряя его интенсивность от различных участков контроли руемой интегральной схемы и обрабатывая полученную информа цию, можно получить сведения о состоянии отдельных элементов интегральной микросхемы и о месте расположения отказавшего элемента.
Известно, что элементы с повышенной интенсивностью генера ционно-рекомбинационного излучения быстрее других теряют ра ботоспособность. Изменение генерационно-рекомбинационного из лучения происходит под влиянием изменения режима работы или под влиянием старения элементов. Это позволяет по измеренной интенсивности инфракрасного (ИК) излучения диапазона 1—6 мкм оценить работоспособность элементов, предсказать вре мя их безотказной работы, найти отказавший элемент в схеме.
При поиске неисправных элементов достаточно регистрировать элементы, ИК излучение которых не выше ИК излучения окружаю
щей среды. |
При прогнозировании работоспособности |
элементов |
|
необходимо |
регистрировать |
градации изменения ИК |
излучения |
этих элементов. |
1 |
|
Исходя из рассмотренного, можно сделать вывод о возможно сти прогнозирования (обнаружения) неисправных элементов в ин тегральных микросхемах по ИК излучению с помощью модели, изображенной на рис. 4.1.
Рис. 4.1. Модель системы инфракрасного неразрушающего контроля: 1 — радиометрический прибор; 2 — пороговая схема; 3 — коррелятор.
В общем случае необходимо снять |
терморельеф |
радиосхемы |
А)(х\у) радиометрическим прибором |
1, пропустить |
этот термо |
рельеф через пороговую схему 2, на выходе которой получим пре-
54
образованный терморельеф Bj (л-; _у), н .подать на вход коррелято ра 3, на второй вход которого подаются терморельефы у ' , каждый из которых соответствует определенному отказу в данной интегральной схеме.
Преобразованный терморельеф Вi (.v; у ) представляет собой грубое повторение терморельефа Л,-(.v.y), в котором уровень ИК излучения выше порогового обозначен через 1, а ниже — через 0.
Порог выбирается так, чтобы ИК излучение |
неработающего эле |
||||||||||
мента было ниже его, а ИК излучение работающего — выше. |
|||||||||||
В общем случае процесс обнаружения |
неисправности |
можно |
|||||||||
представить так: |
|
S |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А >(■*; -V) - |
в \ ('V'; У) |
- (f |
(-И |
У) В\ (л-; у ) |
d S , |
|
(4.1) |
||
где |
ф |
— интеграл |
по плоскости |
схемы; |
|
|
|
|
|
||
|
Bj —; терморельеф данной микросхемы при i отказе; |
|
|||||||||
|
В\ — является членом множества М всех возможных термо-, |
||||||||||
|
|
рельефов |
данной |
интегральной схемы: |
|
|
|
||||
|
|
|
в , е м , |
|
|
|
|
|
(4.2) |
||
где i — порядковый номер терморельефа |
из |
множества |
М. |
|
|||||||
Если множество М полное, то при допущении, что в схеме толь |
|||||||||||
ко один |
отказавший |
элемент |
i= 1,2,3,..., N, |
где N — количество |
|||||||
элементов в микросхеме, при совпадении терморельефов |
Вj |
и В\, |
|||||||||
т. е. |
i = j, на выходе коррелятора |
будет |
i |
максимальный |
сигнал, |
||||||
свидетельствующий о том, что отказал |
элемент, которому соот |
||||||||||
ветствует подаваемый в данный момент |
|
на |
коррелятор |
термо |
|||||||
рельеф |
Bj. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Так |
как реализовать преобразователь |
двухмерного или трех |
|||||||||
мерного терморельефа схемы |
затруднительно, то |
целесообразно |
заменить одну из осей пространства осью времени, т. е. необходи
мо |
провести развертку |
во |
времени. |
Тогда |
процесс обнаружения |
|||
неисправного элемента |
можно представить в следующем виде: |
|||||||
|
|
|
|
|
т |
|
|
|
|
As(.х; у ) -> Aj (л*; т) |
Bj (х; т) -> j Bj (л'; т) В\ (л*; |
') d~, |
(4.3) |
||||
|
|
|
|
|
о |
|
|
|
где |
т — текущее |
время; |
данной |
схемы. |
' |
|
|
|
|
Т — время просмотра |
|
|
|||||
|
Коррелятором может служить логическое устройство, а также |
|||||||
мозг и глаз человека. |
|
реализующей |
инфракрасный |
метод |
||||
|
Итак, модель |
системы, |
||||||
контроля, нами построена. |
Рассмотрим подробнее |
возможность |
||||||
ИК |
метода прогнозирования состояния интегральных |
схем. |
|
'С5
§ 4.2. ИНФРАКРАСНЫЙ МЕТОД ПРОГНОЗИРОВАНИЯ СОСТОЯНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Согласно принятой векторной модели состояния интегральной схемы необходимо измерять параметры, характеризующие состоя ние элементов и схемы в целом, не в ограниченном числе контроль ных точек, а для каждого элемента в отдельности. Это вызывает некоторые затруднения при применении выбранной модели, так как измерительная аппаратура, работающая по методу контактно го измерения, будет очень сложна и малонадежна.
Функция зависимости состояния микроэлектронных элементов от их генерационно-рекомбинационного излучения является слу чайной. Это объясняется различием в структуре, состоянии поверх ности, лакокрасочного покрытия и в химико-физических внутрен них процессах элементов одного и того же номинала и типа.
Пусть в результате статистического анализа или изучения фи зико-химических процессов старения стал известен закон измене
ния параметра состояния элемента |
х, от интенсивности |
ИК |
из |
||
лучения /,. |
|
|
|
|
|
X, = Ф, (/,). |
|
|
|
|
|
Так как состояние элемента меняется во времени, |
т. е. х,=х,((), |
||||
то I,=J,(t). Определенному значению случайной |
величины |
I, |
со |
||
ответствует случайное значение другой величины |
х,, |
т. е. |
имеется |
||
стохастическая связь .между этими |
величинами. |
|
|
|
|
Для определения основных характеристик случайной функции
х |=Ф | (/) необходимо знать одномерные |
законы распределения |
f (х,) и / ( / ) , а также двумерный закон |
распределения f (х,\ I,). |
По этим распределениям можно определить вероятность того, что
1,^=ха, |
при /1 = /pi: |
|
|
|
|
|
|
|
|
xal+ Axi |
xal |
|
|
|
|
|
|
/ |
(*|; /|) dx1 — j |
/ (a,; |
I,) dx 1 |
|
|
|
P { x « M = — ---------; ----------- =------------- — , |
(4.4) |
|||||
|
|
|
/ (jci; h) dx, |
|
|
|
|
|
|
\ |
v |
|
|
|
|
где Хь, |
|
— 00 |
|
|
величии х, |
||
и /pi — фиксированные значения |
случайных |
||||||
и I,. |
|
математическое |
ожидание величины |
х, |
при |
фикси |
|
Условное |
|||||||
рованном I, = |
Д[ определяется как |
|
|
|
|
||
|
|
|
\ х, / Ui; I\) dx, |
|
|
|
|
|
|
M \ x , ! h , \ = ^ ------------------- . |
|
|
(4.5) |
||
|
|
|
j / (a,; h) dx, |
|
|
|
Из уравнения (4.5) следует, что при изменении I, во времени будет меняться и математическое ожидание состояния i элемента
56
M\x\ih(t)\, т. e. зависимость M\x\I\] представляет собой линию регрессии. Подставляя в уравнение (4.5) конкретное изме ренное значение 1\, получим оценку состояния i элемента в дан ный момент времени.
Линию регрессии в случае определения состояния элемента по его ИК излучению можно линейно аппроксимировать уравнением
Л4 (л-,./,! Л, /, + А.,. |
(4.6) |
Для определения характера линии регрессии необходимо оце нить коэффициенты Ai и А2. Эта задача приемлемо решается ме тодом наименьших квадратов:
М \ [М (jcj '/i) - А, /, - А,\ '\ |
= |
min. |
(4.7) |
По экстремуму данной функции для А| |
и А2 получаем: |
|
|
/И {[а, -.44 (а,)] [/, — М (/,)]} |
(4.8) |
||
V м \ [h - м ц щ |
|
' |
|
|
|
||
А , — Ж (а.) А,М (/,). |
|
|
(4.9) |
Соответственно линия регрессии (4.5) определится как |
|
||
/И {[а, - Л4(а ,)] |h - M |
(/,)]} |
|
|
М [лп//,] = Л4 (а-,) + |
|
i h - м |
т |
|
|
|
(4.10) |
По полученным соотношениям можно не только оценить состоя ние элемента по его ИК излучению, но и решить обратную задачу,
т. е. по заданному состоянию определить |
|
соответствующее |
ему |
|||||
ИК излучение, |
а затем |
по зависимости |
h (е) |
найти ресурс элемен |
||||
та. Полученная |
оценка |
состояния |
i элемента Л4 [ai//i] — Aiср |
ис |
||||
пользуется для вывода обобщенной модели |
состояния |
схемы. В |
||||||
этой модели состояние i элемента является |
вектором в |
t-мерном |
||||||
пространстве, т. е. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
cos cti-Vj0 — 0 |
при |
j > |
/. |
|
|
||
Поэтому для нахождения направляющих |
косинусов-векторов сос |
|||||||
тояний Ay необходимо решить систему из |
i |
уравнений: |
|
|
||||
|
COS 'fi.1 = COS Я, A , 0 COS «I а ,0; |
|
|
|||||
cos «1,2 = COS a., a ,0 cos ai Ai° + |
COS aj A.J° COS a, a2°; |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
(4.11) |
|
COS ®i,i =COS aI Aj° COS aj Aj°-|-COSa2 A2°COS aj V'2°-b COS a, Ai- 1 |
COS Я[ A|_1 • |
57
При знании направляющих косинусов остальных i—1 векторов состояний решение данной системы уравнений дает направляю щие косинусы i вектора. Отсюда следует вывод о необходимости
последовательного определения векторов |
д'ь начиная с i—1 й |
кончая i= N. Проекции любого Гвектора Х\ |
на любую ось коорди |
нат N-мерного пространства определяется как |
|
кц ==Х\ cos щ.Vj°. |
(4.12) |
Проекции вектора состояния схемы на оси координат -равны:
|
|
|
|
|
А р - Ь и - |
|
(443) |
|
|
|
|
|
| 1 |
|
|
Соответственно |
общее |
уравнение состояния |
микросхемы |
запн- |
|||
шется |
в виде |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Л' |
N |
|
(4.14) |
|
|
|
|
j I |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
а с учетом выражения |
(4.13) как |
|
|
||||
|
|
|
|
N |
N |
|
|
|
|
.V |
|
\ |
1 1 |
|
(4-15) |
|
|
|
|
j |
|
|
|
Раскрывая значения |
|
/tij |
в соответствии с |
выражением |
(4.12), |
||
имеем |
|
|
|
к г х |
|
|
|
|
|
|
|
|
(4.16) |
||
|
|
|
У, |
XI A'i cos ai^j |
|
||
|
|
|
i~i Li-i |
|
|
||
где |
ajjCj° — определяется |
системой уравнений (4.11). |
|
||||
Общее уравнение состояния системы при ИК прогнозировании |
|||||||
с учетом выражения (4.10), |
а также того, что |
д'| — Х\ ср — М [Х|/|], |
|||||
будет |
иметь вид |
|
|
|
|
|
|
|
- |
N |
( N |
|
|
(4.17) |
|
|
x = z ' £ 3 . £ |
м \x\4.,(t-)} COSK/Xj0) х/5 |
|||||
|
|
ы |
и-i |
|
j |
|
Основную трудность в использовании для прогнозирования состояния системы инфракрасной модели (4.17) является учет взаимосвязи состояний элементов микросхемы, так как ИК излу чение несет информацию не только о состоянии элементов, но и теплораспределении по поверхности интегральной схемы. Ввиду малой связи между теплораспределением за счет теплового балан са в схеме и тепловым излучением элементов;'характеризующим
58