Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

- 73 -

расположенных в ^дной плоскости на одном магннтопроводе, а не разнесет, в пространстве, как ато имеет место в электростатических отклоняющих оистемах. Благодаря этому значительно уменыяактея габе^иты системы* Такая системе

'та.;ае укрепляется на проекционной лигзе и юстируется отно­ сительно оптической оси оиотемы. В установках большой мощ­ ности предусматривают охлаждение оистемы проточной водой, предотвращающее чрев, эрный нагрев магнитопровода рассеян­ ными электронами.

Юстирующие сиотемн пр"Яципиально могут выполняться так же, как отклоняющ;:з,но к ним предъявляются более высо-

мы устанавливаются между пушной и линзами и предназначены для вытздення пучка на ось системы. Поэтому при конструягровании системы стремятся получить более однородные поля.

ройогг -. отклоняющей комбинированной системы показав на

- 74 -

ааре#деаьвоотв относительно рож сиотемц. В первом ярусе луч отклоняется на веданный угод, а во втором - откловя ется не атс* хе угид в другую сторону. При ровзых резне-^ pax снохеы ярусов такое охкдоиенае вызываехоя одинаковый1

электростатической снстемы, ядш одинаковыми амперввтsavi магнитной системы. Двухяруоные системы изготавливают

главным образом как адактгомагчитные о рав«* мощением обмоток воз­

и- буждения на одном маг-

нихоьеоводе, Испольауют-j ся также и комбинировав-' ные системы. Двухярусные онотемы применяются так­

- 75 -

система, для возбуждения магнитного поля сиотен предусмат­ ривают автоном: ые обмотки. Одна группа обмоток обеспечивает поля, необходимые для смещонвя луча.а друг8я-испольаувтся длг изменения наклонг. Таков усложнение конструкции обуо-

При необходимости отклонения луче ив аалые расстояния можно использовать свойство электромагнитных линз отклонять несоосяме пучка. Принцип отклонения несоосного пучка в про­

нзя распушка, выевшая большой диаметр на поверхности, изготавливается во вращаю­ щейся заготовке отклоненные он оси вращения лучом» а рабо-

- 76 -

чий кшцл малого диаметра изготавливается лучом, пряхи сов-

вадапцмм с осьо вращении, причем место иа.именьвего сеченая луча смещено внутрь вагпховкв,

3-5» Маосфидыры ионных установок

Для лвгмровг'ва полупроводников методом ионной вмдланхацвв в долученвя сверхчист'лс пленок методом ионного осаж­ дения требуется пучок яояов определенного массового соста­ ва, в которых практически отсутствуют ионы каких-либо при­ месей. Для фильтрация нинов иоподьауют нескхлько методов, среди которых наиболее известным" является магнитный сепа­ ратор, динамический -вадл упольный массфилыр я дннаынчеокяй электромагнитный высокочастотный массфилыр.

3-5-1. Магнитные маеоф!.льтры

Принцип разделения движущихся в магнитном поле иовов по

.массам ооноваи на то»ь что имеющие одинаковую скорость ~оаы

заворачиваются магнитным поде: по радиусу, величина которо­ го пропорциональна корню квадратному иа отноиення массы вова его заряду, согласно язвеотрому выражению:

Принцип работы сепаратора показав на рио.3-5-1. В пучке со­ держатся три компоненты яонов. При прохождения секторного

магнитного поля ионы разделяются по массам я поступают на мнвень в точка В , в, в В2 . Магнитные массфильтры уопеово применяются в ионно-дучевых установках для легирова­ ния. Такие массфильтры наготавливают, как правило, с электро­ магнитом, вес и габариты которого определяютоя энергией се­

бросу ИОНОВ со эвергиям, высокие требования к стерильности