Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

Р и с . 3 - 5 - 1 . Магнитный

масс-аналиэатор!

Jt-ионный источник; 2-вагнитное

поле$

3-иишень

тока воабукденся

электромагнита й вво^явя энерго*-'8*©»»»

Б увхаиовке дья каготовд-'?вая интегральных исвь

у г - ' -

яовлен импульсный

массфильтр^ямеЮнЩЁ сравнительно

маяае

габариты. Припщ.п

устройства ыассфизырп

показав

.

рас. 3-^-2 .Массфйлыр

предетввляег

коль­

цевой

магнит,внут­

рь которого распо-

лояенн

пластины,

с помощью которых

соэдде^оя

вращаю-

щее„й

электрическое

поле, и два диско­

вых электрода

с

осевыми

отверстия-

Рис.3-5-2. Импульсный массфйлыр}

м и " И о

н ы

поотупввт

1,2-ускоряющие электроды?

* сепара-.ор через

3-электроды для создании вращающегося

отверстие

перпенди-

электрического

поля

кулярно

к

оси

а з а ­

ворачиваются

магнит­

ным полем. Под дей­

ствием

вращающегося

-

75

-

Ионный пучок, покупающий

в

квадруполь, подвергается

воз -

|

действию электрического поля. Зовы начинают двигаться

по

I

сдок^ыи траектория!^

оовершая колебания в

гиперболлическои

J nuie. Параметры

квадруполя,

частоту и амплитуду пзреыенпо-

J го

напряжения

ыошю

подоирать

так, ч ю

ноны

определенной

I массы

б„дут двигаться

вблизи

оси

квадруполя н

пройдут

На

коллектор, а ионы других масс, совершая колебания с увели­

чивающейся

амплитуде^будут

ооакдаться на

стенках

экрана п

па стерюшх.

I

Такой

ыассфйлыр

отличается

просго^эй

ковструкцвв^иа-

i лым весом

и габаритами, большим

токопрохоздепиеы,

целой

Г Л А В А

IS

РАВО-ЧВД К А П Р Ы ЗЛШРОНЩК 0 ИОНВД

УСТРОЙСТВ

Подавляющее

большинство

технологччеодлх

операций

о

:

использованием,

эаевтронних а

юиных пучков

осуществляет-'

оа в вакууме иди В ирере разрешенных гасов»

^ериетнавро-

ванный рбьем, в которой поддерккваетоя необходимая

аЭ'-

иосфера л давление и выполняются основные

операции,пра-

вято называть рабочими кьаерами или ваклыныии камерами.

'

наямп :: вакууму и

другииа фактораг-д, в общей случае

ка­

мера инее* дверцы

или шлюзы для загрузки и выгрузки

об-

В соответствии

г иезначениеы

установок,

трудоемкостью

опервции о б р а б и Т . л

той или иной

детали в

настоящее вреич

конструктивное сходство. 1С таким гругшаы

относятся, камерь

для обработки

одного

или нескольких изделий, помещаемых на

одном

рабочем

столе,

камер- с магазинные

уотрийстзаин,ка­

меры

с о шлюзовыми устроЕстванг, позволяющими подавать з а ­

рованных установках, предназначенных для

заполнения

слож­

ных и трудоемких операций, продолжительность выполнения

которых много больше времени, необходимого на лолутенне

рабочего давления после

р; згараетазации для сиены

детали.

На рис.4-1-1

показана

рабочая

камера

сварочной

установки

уни­

версального назначения. Внутри

камеры

установлен

вращаюцьйся

рабочий

стол,

перекещаищийсп в

3-х направлениях, на который

может быть закреплена

одза

сравнительно

крупная

деталь

ила

несколько

мелких. Кроне

сгола к

установке

придается

несколько приспособлений,

в

том числе револьверное устрой-

стьо

с

аь.опсьно

вредаю^мися

P U J . 4 - 1 - 1 . Св рочиая

пыронеми, в

которые

MOEHJ

з а -

камера установки типа

г.репл,.хь цалыдрииеокгэ

детали

для

сварка по

округ ю с

и.

3

трех

сгеаках

лазеры в^попеаы