Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

Скачать файл
Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 24.07.2024

Просмотров: 112

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

 

 

 

- 82 -

 

 

окна

для наблюдения. Электронно-оптическая си^теча установ­

лена

внутри камгры и

снабаена устройством для

лргцекая

и

перемещения в

двух' яагюавлекзях. «ля Загрузки

деталей

пе­

редня;;! стенка

кааерм

открывается и отродитоя

в сторслу*

Ра-

. бочие каьзры устанорок для размерной обработки и микросвар­

ка

снотзтруяр эванъ с боле" просты-'и

механизмами пере., зщевия,

но

позволявщичя перемещать дзталь с

более

высокой

точностью.

В таких установках для контроля вя

ходом

процесса

недоста­

точно наблюдения через смотропе окно. Камеры,как правило, свабзг'югсл "икроскопами или электронго-оптвчс лшыи устрой­

ствами, поэводяюадши увеличивать изобрасенхе

обрабатывае­

м о г о объекта до удобных

для

контроля

pas. ероз.

-••

.

•

JTM

повышения про-

Рис-. 4- 1 - 2 . Схема эдектроннолучезок ~варо*чоЯ у с т а н е т с изгаринами -етройсгвон:

!*зл«./серенная туана} ^гаесто свзр.:в; 3-нагазиннье устг-)2сгво,

't-окно для виблэденвх за лроцьссоа; 5-ок о для з а ­ грузка в зигрузаа взделай; 6~аотор для регулирования уровня ззд«лий} 7-вакуумные

иззодительности за

ссчет иетит;ення време­ ни _а пслучегче вакуу- ••а после обработки од­ ной „етади в некоторых тигах ~а«ер устанавли­ ваются aarnaauHHJ уст- р*>йсхва* из которых

детали подаются под луч автоыатнче ".кл без ^^герметизации каме­ ры. На рисЛ - 1 - 2 при­ ведена схеыа сварочной установки с магазинным ycTpoKcsroj, в которое загружается партия за ­ готовок, поочередно педзодимых в зону деРгтзня луча, и камере

заполнено

окно

для

наблюдения

и отдельное

оыю для загрузки

г э -

газинного

устройства.

Детали

водечтея под

луч с

помощью привода.

- 33 -

Электронно-оптическая система установлена нецодлгшо на вертикальном латрубче камеры. В узлах крепленся пуска ппедусмотрена JCT.-.ровка системы с помощью винтоз,По анало­ гичному принципу п^стрэекч некоторые специализированное установки для сварки мологабаритдых, изделий h установки • для изготовления отверстий в камнях для часов. В установи ке для изготовления отверстий в рубиновых кчмяях уотанов» л~но две пушчи, лучом одной подогревается рубин для сна- . тия тешических напряжений, а лучом другой изготавливаем­ ся отверстго. Получение вакуума в камера? больашх размен,,

ро", предназначенных

для оварки крупннх деталей, связаьо

с большими затратный

времени. Поэтому подзча заготовок в.

зону сварки производится без разгерметизации основной ка­ меры через систему шлюзов или цромежтто"ных камер, откачичвзеыых автономными насосньыи группгми. Одна из схом потоя-

во-вакуумной

камеры

показана на

рис . 4 - 1 - 3 . Деталь череэ

 

 

 

 

_

_

_

_

 

 

 

::амеры 2 и 3 поступает

 

 

 

 

 

 

^ з

p a ( j o r

y B

^аиеру

^

н

а

•

'

'.

j - flFT

 

(

;

.

' кояорой

установлена-

 

j 'V^ I I T^~^

M

I

, > \ i - . 7 V ^ J

' ; электронная

пушка

5.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I Сваренные

детели

пере­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

мещаются в камеры б а

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7.

Ыеаду

вспомогатель­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ными

камерами цредус-

 

Рис . 4 - 1 - 3 . Слема побочно-

 

 

мотрены

клепань, для

 

 

вакуумной

камеры ЭЛВП-3

 

 

. герметизации

камеры

на

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

период

выравнивания

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

давления

цеаду данной

 

.камерой in той, ^

которою• будет ле^еыещаЕЬсд

деталь.

Такая

система позволяет веста ^вгрку непрерывно без нарушения

 

вакуума в расЧчей камере при

смене

деталей.

 

 

 

 

 

В тех случаях, ког^а необходимо обработать

итдедьнне

 

участки на крупных деталях-и

невозможно ппаестигь в ьаку-

уа всю деталь

применяют

небольшие

переноснь^ камеры,

ус ­

танавливаемые .на -место обработки..

Е это;.! олуч^е

гэрметн-

-

.зируется

TCibKO ме«то

отыка

камеры

с

деталью

и,

еетз

в

д е ­

тали имеет?я

огверстае,.пр.л.чвелоло^нап

сторона

стенка

де ­

тали. .Посла

обработка

(сварки) Е лера.разгарчетгзируеж'сг

я

сваиаегсь о д ё т а л и . Для сварки протяженных впев на крул-. них деталях разработаны так наэнваечые "шагающле11 камеры. Такие ксаора иае^л.два соосных сильфояа, снабжьяних уп­ лотнениями. Сх"ма устройства и принцип псботы "шегающеч"

камеры

пОгазан

на

4-1-4. Внутренний си^фон являь-соя

—...

 

 

. . _

продолжением

основной

1

'

•

.

камеры, На которой ук­

 

 

 

 

реплена электронная

 

 

 

ййй

пушка. Между

областью

 

 

 

пушка иУоб^астла

уп­

 

 

 

лотнения, еяльфона

ус ­

 

 

 

 

тановлена

диафрагма

Рво.ч-I-*'. Принцип "шагающей"

для создания

перепада

давления. Внешний

 

камера для електчонйо-дучевой

 

СВ1Р"Щ ..

 

 

сильфон вместе с ввут-

 

к

 

' 0

пенниы и сгонкой дета-

 

,

 

 

ля оирлзуют

щ.зыежуточ-

ну.о камеру. Предусматривается отклчка пушки, зоны сварки и громажуточг эй камеры. При необхогш ости "сделать шаг' (пе­ ременить ауш.у для обработки но*п>а уч.'-гтк^) ратериети - jiipyj^cfl ^пбыогательная камера, ьЛ-пший сильфов -перестав­ ляется на п в о в ы е т о и герыетгча] jjescn. liocne получения во вспомогател1яоЛ 'камере необходимого вакуума разгерметвзируется^вЕ^тр^нний с^ильфон л г^регвигается на новнЛ учас­ ток вся кодера.

Fj6o4B6 камеры ионных уотапопк з принцгпт подобны СДИСРПНЫМ камерам. Однако в сооиватств'Ч) с назначением

установгх

сJH3CTK3

камер приспособлениями и

системами

к о р о л я

нижет быть

существенно разлыной. Твк4 камеры для

ав-отгедениз ьленок

снабжаются устроГзтвамй

для нлгрева

Е дложек а приспособлениями утя травлониг и

очистки, а

камеры jccaLjBOK ^пя ионной ^плантации имеют коллектор-

нче устройств^, с

точный

счетем ыи вхляроъхи.

 

. *-2. Загрузсные устройства

 

Для подучи в

рябочую

к а м е р у малогабаритных

заготовок

(например, водлоаск да

изготол.зния микросхем)

использу-

S5 -

шоя сравнительно простые шлюзовые устройства сторжньвого, левточного и дискового ТИРОВ. Наиболее простое шлюзовое устройство s m*j сгсрхмя,перепеваемого пос-гуяятвльво че­

рев увлои-ненае в рабочую кеиеру, показано на рис. 4-2-1, В средвей чаете отераня наемся углублеьяе, в которое поме­

чается заготовка, ког­

да отер*ь,вь выдвинут из камеры до ограничи­ вающего кольца 6. 8а-

Рво,4-2-?., Шлюзовое аагруаочиос устройство?

I-штанге; г-каиавка для помеще­ ния образца} 3~уплО!ПейИ9{

4-п(.джиыноЙ флйчец$ 5-промижу- точное кольцо^ ?.,7-ог1>вяичйваю- щве кольца} 8-ж?уцвр дав фогвя-

кууаной озквчзя

Рис.4-2-2. лезуплотнител.тное шлюзовое загрузочное у с т р О ство:

1-подвижный цилиндр} 2-копгус!,

3- флчнец к вакуумному объему;'

4-канал высокого врк^ума;

5- канал среднего вакуума}

6-канал нинкого вакуума}

7-загружаемое изделие*,

8-полость для загрузка изделия*;

9-вак'ууиный ъбьем

тем ст^чяевз. вдвигает­ ся в яаиеру. Ччобы

уменьшил ''олкчеояво '

газа,ВЬОСЙУого вместе

о загигс'-лкяй в рабочую

ш»еру, в ердаей части упло«яечия лредусмотре- и а очшчт газа вэ аублздвй, в кеззрзв

чщова гаРдча.гхв.Твяоя

устройства sosBO^aes

&££?РЭ ИЮИЗЕЭДМЯЬ Сив-

йу детаяей без ухудшеаяя вавууыа 8 камере. Ж f!sj»opsasjiS» уотрой-

отва можно агаезтк не­ долговечность уалотнений, 426 связано с кеобходймостью периода- . ческой разборки узда я

замени изноевзшлса де­ талей.

Более надежным в работе г.зляется безувлсмнительное шлюзовое устройство. Это уст­ ройство представив! длинный цилиндр, первмещаютчйся J плотно

86

подогнанном канале корпуса. Принципиальная охеие утройоава показана па рис-ч-2-2, В цядяндрическчш вхерж^з '-згоъов- i.ei.o 9 углублений (гнезд) дал раэявщввян" подложек. В кана­

ле корпуса, в которой скользит стяржеиь, изготовлены

ле-

больияе камеры, совдяневиыо патрубками яякууыной системы,

в которых поддегпнваотся необходимое разряжение, и крайних

крчерах поддержвчавтол ииажий мвуум, в средьих -

промежу­

точны? вакуум, 8 в бямайяях

к рабочей камере - высокий

вакуум Таким образом,оо*ем

угяублевяя^держввд"

волдух,

пгэтупаютай вместе с заготовке! в пррьуш камеру,

откачива­

ется дп давленья 10~^тор, я в поояедумт камерах

откачива-

сгся до необходимого

дввленяя. Деяний механик прост по ус­

тройству в Надежен в работе. Он Яе содержит уплотнений,

ко­

торые быстро виходят

яв строя я внося* в рабочую камеру

не-

 

с желательные гсэовые

 

^ис.4-2-3. Разве* ус.аяовк*;

2-н.ярос-протяв*"ЯЯ^

2-рабочая камера; Зготкноняввдае пластин*1} 4-4оьуся- рувщая линеал 5-эл ктронн"я пуяв"л

ВОМПОИсЗ"Ы.

По аналогичному принцип; построены дис­ ковые чвггуаочныо уст­ ройства, состоянье яэ трех ил*, двух п:отно приялифовечных дисков я снабженных окна"» для 8arpj3.*a заготовок.

Прявцвп устройства элек­ тронно -лучевой установки для изготовления плгночяых сопротивлений с двсковчы загрузочннм уст­

ройством показан

на

рис.h-7-Ъ.Рабочая камера_

через

углотнение

со«дине-

на с

ни: няи

д и с к о м , a K J -

торон у с т а н о в л е н

в т о р о й

д и с х с ^киом

д л я

загруз­

ки подложка*

Б автоматв-

ч е с к о й у с т а н о в к а д л я и з -

- 8? -

готовления соппотнвденай загрузочное устройство ленточно­ го типа построено по темпу же приношу, как а стержневое. Разница в *гм,что дли подачи заготовок в рабочую камеру

яополвауетоь н« стеркеьь с углублениями, с лента на

и т о ­

гу» устанавливаются

колиброванные подложки. Размеры

окна

и заготовок подобраны так, что зазор между стенками

и под-

догками имеет такс:

сопротивление потоку воздуха, что между

соседними камерами создается доотаго'И'й перелад давления. Притчип устройства механизма Еэгрузка представлен нарис.4т2-;4.' •

Отсутствие уплотнений позволяет дронзводияь обработ­ ку г..ж высокой скорости движения ленты «i обеспечивает SJJCO- кув производительность установка.

* W M H H . Схада

а^тры.атнгированн.ой у / д а о д щ Щ . *W!Wt*

щ я д пленочных

о^^о^вдаещй(

^входная, камера (,30 тор),* 2-входная. камера ( \ sopj^'

^нагревательная катера (З'ЦНЬсор}', 4-нагр.ева.телг.н.ай

Одера (10~'тор);

5-рабсчая коыерч*,

 

Защитной плвнки;

?-ввходная

камера

(З'ЭДГ^ОДОЦ ?~%ЫЛ^,"1

аая камера (30 Тир); 9-камера

газового, о х л а з д ё н щ

10-нагреваюли{ I I -подложка.

 

 

 

4-3. Смо-ровые окна

 

В стенках рабочих иаые^ имеются

окна для вхблодедв^,

констр^лци.; которых определяй?ся х д р а т ' . т . е р с ^ о.пар'щг § бооаниямн к у^човиям наблюдения, 0.кна нагбол^е. ap^c.^y.l щщ* струнции применяет в уставов; а. д-з ciapr* сравнительно не­ больших и з д е л ^ . В окн£и,как правил, устанавливаются cbkd- цовые стекла, о с л а „ я в щ и е х о р о ш е й поккдагс^й способность»

Смотрите также файлы