Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

89 -

1

О

Рис.4-3-3. 'Смотровое окно о шшротнвм

*

стеклом:

1-корпус| 2-noBoposuoe стекло} З-проть-

рсчная прокладка; 4-смотровое стекло;

5-уплотнение{ 6-кргшка! 7-8убчааая пе-

рэдачэ.

данной конструкции интенсивность

вапыдечвя экрана

на ­

много визе, чем в рассмотренной

выше. В течение

первого

оборота поворогаого стекла перед

CIHOM проходят

участки ;

стекла, не подвергавшиеся напылении, а при последуащах

поворотах участки, очищение от пленки протягочвтая

про­

С помовдьи шюка е.«рая uo»fT переводиться в шлоавнае,

при

зохорош вакрываот очно и п р е д о х р а н я е т его от попадания

п а ­

ров к ч а с т и ц

я е щ е с т и а .

Открываешь

окно (экран

переводятся

в положение,

п о к а з а н Е э е

на ччртече)

только на

печиод наблю-

Наблюдечие за

процессами

иикросварки и разиерпой сб -

р м б о т к и через

обычные с н о т р о в ы

~кна невозможно гз-эа ма­

л ы х р а з и г ' ю в

д у ч "

и ' б р а б а - . в а е и ы х изделий. В таких уста-

нительно

большем рабочим

расстоянием

(расстоянием

от

края

линзы до

поверхности обрабатываемой

детали). Для установок

с малым рабочим риссаэянием обычный микроскоп установить

практически г ^возможно из-sa большого

угла наклона

к оси

'лине. В ЭТИУ случаях раэрабатывается специальная отражаю-

д&л оптика, выполняющая роль объектива микроскопа и разме­

щаемая в Канале иагнитопровода проекционной линзы.

Принцип построения отражающей оптики одного из встроен-;

ных

магнитную линзу

ыикрооко-т

пов

пок

зан на р и с . 4 - 4 - 1 .

Систе-

ма

оптики

содержит

сферическое

вогнутое

зеркало,

тон

плоских

веркала и призму. В сферическом

зеркале

и д ь ^ х плоских

зеркалах,

установленных нв пути луча,про­

сверлены отверстиякрая которых

покрыты

проводящей

пленкой*элев>-

spuчески

соединенной

с деталями

Рис.4-4-2. Поперечное

корпуса

магнитной

линзы. Отражав­

шая оптика

позволяет вести

наблюде­

сечеяяе

линзы отражаю­

ние

как

в

отраженном

так и в соб­

щей огайкв объектива.

ственном

све т е обрабатываемого

на­

делил :. При наблюдении в

отранен-

80М

свете

подсвечивающий луч

на­

правляется на деталь через

прааму,

две

плоски.; зеркале й

сферическое зеркало. Отраженна

луча

овеяа попадаю т поверхности

сферического зеркала, отражаюоя

от

двух расположениях

ня оси

веркал к боковым я поступают в .

яьляется

величие

в установке*

электронного луча, коатрый мож­

но использовать к а к аонд

растоо»-

вого

микроскопа.

Принципиальная

схема

микроскопа

показана

на

p H C . 4 - V 2 .

В качестве

зондирую­

щего луча исполтзуеа'оя

луч

ус­

тановки, а в 1.ачестве воспроиз­

водящего

алемента-телевизиояная

трубка. Принцип работы

устройст­

Рис.4-4-2. Сканиру >-

ва состоит в следующем. Зонди­

ПИЙ электронный

рующий луч

и луч

телевизионной

ммкроскон (схема):

трубки

развертываютоя

по

растру

1- елентронная

пушка;

синхронно^ак к а к записываются от

2- электронные

линзы;

одного

генератора

развертю* .Вто­

5-кат;/шки развертка;

ричные

электроны,

выбиваемые из

4- электронные

линзы;

мишени

электронами зонда,

посту­

5- образец; б-вакуум-

пают на

коллектор

и соз^вт

ток,

вые насооы; 7-кол­

лектор электронов,'

который yet

йвается видеусилите-

ь-вмдеоусилител. \

леи, управляем током

луча

те-

К 8 ? В Д о 1 Г к К а Л ^

» и « » « " « , а

труб!... Так как

генератор развертка}

коэффициент

вторичной

эмнесияи

12-регулвтор

усиления

зависит

os

материала

иваенц,угла