Файл: Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов учеб. пособие.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 119

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

К о н с т р у к ц и я м е т а л л о с т е к л я н н о г о к о р п у с а

Для приборов с мощностью рассеяния более 100—200 мет кон­ струкцию стеклянного корпуса использовать нельзя из-за ее высо­ кого теплового сопротивления. В этом случае применяют конст­ рукции металлостеклянных корпусов.

Рис. 11.3. Конструкция металлостеклянного корпуса

На рис. 11.3,а показана конструкция металлостеклянного кор­ пуса 1-—2а, состоящая из баллона и двух держателей: кристаллодержателя и верхнего вывода. Баллон представляет собой соеди­ нение, на основе металлостеклянных спаев трубки 1 из стекла С49-2

идвух втулок 2 из сплава 29НК, которые служат для центровки

икрепления держателей при окончательной сборке и герметиза­ ции приборов в корпусе. Втулки 2 согласованы со стеклотрубкой по Ш для получения прочного ненапряженного соединения. Кристаллодержатель 6 состоит из отрезков проволоки разного диа­

310

метра, соединенных

ударно конденсаторной стыковой сваркой

и является базой для

припайки полупроводникового кристалла

с р-п-переходом 4. (Второй держатель 3 аналогичен по конструк­ ции первому, но в зависимости от типа прибора может либо слу­ жить основанием для приварки контактной пружины, либо иметь скос для пропускания верхнего вывода от полупроводникового кри­ сталла. Окончательную герметизацию приборов производят пай­ кой с применением флюса на воздухе или пайкой в конвейерной печи в атмосфере водорода. В качестве припоя для герметичногосоединения коваровых втулок с держателями используют припой ПОС-61 или сплав свинец-олово-висмут в виде штампованных колец 5. Кристаллодержатель этого корпуса может быть изготов­ лен из ковара, никеля или меди, что позволяет значительно повы­ сить рабочую мощность приборов по сравнению с приборами со стеклянными корпусами. Герметизация приборов пайкой с приме­ нением флюса является недостатком этой конструкции, однако пе­ реход на пайку в конвейерной печи в инертной атмосфере позво­ ляет избежать применение флюса и значительно повысить произ­ водительность на операции сборки и герметизации.

Достаточно распространенной в серийном производстве полу­ проводниковых приборов является конструкция 1—26 (рис. 11.3, б) г состоящая из баллона, двух разрезных стаканов, служащих для припайки кристалла, контактной пружины и двух колпачков с про­ волочными или ленточными выводами. Баллон корпуса выпол­ няют на основе металлостеклянного спая трубки 1 из стекла С49-2 и двух трубок 2 из сплава 29НК (ковара). Функции держателей в этой конструкции выполняют разрезные стаканы 3 из листового никеля, получаемые методом глубокой вытяжки. При сборке при­ боров никелевые стаканы (один с напаянным кристаллом 6, дру­ гой с приваренной контактной пружиной 7) вставляют в коваровые втулки и приваривают к ним. Окончательную герметизацию прибора осуществляют пайкой низкотемпературным припоем ПОС-61 никелевых колпачков 4, насаженных на коваровые трубки баллона. Для монтажа приборов в аппаратуре к колпачкам при­ варивают проволочные или ленточные выводы 5. Из-за наличия четырех тонкостенных сопрягаемых токоведущих элементов (стака­ на 3, трубки 2, колпачка 4 и вывода 5) данная конструкция кор­ пуса имеет высокое тепловое сопротивление. Кроме того, габари­ ты данного корпуса по сравнению с корпусом 1—2а значительна

больше.

К конструкции этого типа относится также корпус 1—2в (рис. 11.3,в). Корпус состоит из стеклянной трубки 1, которая спаяна с чашечкой 3 и втулкой 2 из сплава Н47ХБ. К внешней стороне чашечки 3 припаивают вывод 4 в виде полоски никеля. На внутреннюю часть чашечки напаивают кристалл 5 с р-п-пере- ходом и верхним выводом 6. Окончательную герметизацию кор­ пуса осуществляют припайкой к втулке 2 верхнего вывода 7, имею­ щего форму ракетки. Данный тип корпуса применяют в основном в микромодульных конструкциях.

311


Основные параметры корпусов этого типа приведены

3 табл. 11.3.

Т а б л и ц а 11.3

•J

А

Ь* *

1 2 а

.

1 -26

1—2в 1,35—03

 

Размеры, мм

 

 

Электрические

 

 

 

 

 

параметры

D

G

г

 

С,

L,

* г

 

пф

нгн

град

 

 

 

 

. вт

4—0,8

0,5= 0,1

12—3

25±3

0,3

0 ,6

230

5,3

0 ,6

16

30±3

0,4

1,0

600

со со 1 О

0,15

2—0,5

0,15

0,3

850

Подготовку стеклянных деталей для изготовления металлостек­ лянных корпусов проводят так же, как и для цельностеклянного корпуса. Коваровые втулки конструкции 1—2а получают штампов­ кой из ленты толщиной 0,5 мм на восьмипозиционном штампе. Колпачки и стаканы конструкции 1—26, а также чашечки и втул­ ки конструкции 1—2в штампуют на аналогичном оборудовании.

.Металлические детали корпуса перед спаиванием со стеклом обез­

жиривают в -кипящем четыреххлористом углероде,

отжигают во

влажном водороде (точка

росы — 20±2°С)

при

температуре

1050—1100°С в течение 20—30 мин

и

снова обезжиривают.

После обезжиривания детали

травят

в

кислотном

травителе

(НС1+ H2S0 4 + H20 = 1 : 1: 1)

в

течение

5—10

мин

при

70—75°С,

тщательно промывают в спирте и сушат в термостате при 120°С. Далее детали окисляют в муфельной печи при температуре 670°С в течение 5—10 мин в воздушной среде. Металлостеклянные спаи корпусов этой группы изготавливают на полуавтоматах с высоко­ частотным нагревом. После заварки баллоны отжигают в муфель­ ных печах при температуре 380—450°С для уменьшения механи­ ческих напряжений.

Рассмотренные металлостеклянные корпусы широко распростра­ нены при серийном производстве диодов: Д2, Д11—Д14, Д18, Д20,

Д 104-Д 106, Д219, Д220, Д223, Д310—Д312 и др.

К о н с т р у к ц и я м е т а л л и ч е с к о г о к о р п у с а с п р о х о д н ы м и з о л я т о р о м

Для герметизации приборов с мощностью рассеяния свыше 1 вт используют металлические корпусы с проходным изолятором, которые позволяют отводить от р-п-перехода тепловой поток до 25 вт. Такие конструкции корпусов используют при изготовлении выпрямительных диодов, стабилитронов и варикапов различной мощности. Особенностью этих корпусов является наличие у них массивного кристаллодержателя.

<312


На рис. 11.4, а показана конструкция металлического корпуса со стеклянным изолятором 1—За для герметизации выпрямительных диодов. Конструкция состоит из кристаллодержателя 7, изготовлен­ ного холодной штамповкой из малоуглеродистой стали или сплава 29НК. В центральной части кристаллодержатель имеет углубление для напайки кристалла с р-я-переходом 2, а по периферии — коль­ цевой рельеф, который обеспечивает получение надежного соеди­ нения с баллоном при герметизации электроконтактной сваркой. К внешней части кристаллодержателя приваривают вывод 7 из ни­ келя для монтажа прибора в аппаратуре. Баллон корпуса 3 изго­ тавливают холодной штамповкой из ленты сплава 29НК или 47НД,.

/ г

j

ь

5

Рис. П.4. Конструкция металлического корпуса с проходным изо­ лятором

Ленту выбирают толщиной 0,4 мм, штамповку проводят за не­ сколько последовательных операций на эксцентриковых прессах.

В рассматриваемой конструкции корпусов из-за наличия охва­ тывающего спая (металл снаружи) можно получать напряженные спаи стекла с металлом со значительным напряжением сжатия в стекле. Вместо согласующегося с коваром по ТК.1 стекла С49-2 стеклоизолятор 4 для такого баллона можно изготавливать из стекла 16-Ш-или С72-4 с ТК1 около 80-10~7 град~х. Использующий­ ся для корпуса сплав 47НД имеет 77(7= (95—100) • 10-7 град*1.

313

-rf

пара-

 

Электрические

метры

Размеры, мм

«В « |

¥

o'®-

b,

•Cb

< y

_

O'

65

41/165

38

6,5

CO

3,28

c-

Ю Ю CO

CO

CO

о

О

о

о

о o'

CO

Ю Ю

 

 

о

О

о

о

 

 

 

 

 

 

 

ID

1

1

 

Ю Ю Ю

 

CO

Ю DT

 

 

 

!

1

1

CM

1

 

 

 

CM

 

i

1

1

Ю

CO

1

 

f

 

 

 

 

 

 

 

 

i

1

t

1

1

to

 

 

 

CM

CM CM

 

 

 

cT

о

о

 

 

 

+i

+1

+1

1

1

1

CD

CD

CD

 

 

 

cT

о

о

 

 

 

1

1

1

iO

to

LO

s

 

s

1

1

1

oo

 

1—1

1

1

1

 

 

1

+1

20

+1

1

1

1

О

 

о

 

 

 

со

 

со

 

 

 

CM LTl

см

 

j

1

Ю

CO

ю

 

1

1

1

1

CM

CM CM

l

1

 

 

 

1

1

1

r-H

Ю Ю

CO

Г-Ч

о

00

ю

00

 

1

1

*-*

1

1

1

to

00

о

со

 

 

 

 

CM

CM

 

 

 

I

1

1

00

£5

1

1

cm"

 

oc

 

00

CM CM

to

Q

tO

Ю to

o-

Ю 00

Q

CM

c-

о

 

Ю

1

Г-4

CO

1—4

 

 

 

 

 

CM

 

4

 

O)

CD

 

CO

CM

GO

 

lO

©~

 

 

 

 

 

r-i

 

CO

о

CQ

сз

о

Ш

eoXndoH них

CO

CO

CO

T f

I

I

1

j

1

1

 

1

1

1

1

J

1

Трубку 5 выполняют из сплава ЭИ-693. Если применяют стек­ ло 16-Ш, изолятор получают из цельнотянутой трубки путем ее разрезания на заготовки; если стекла С48-2 и С72-4, то изолятор имеет вид стеклотаблетки. После электроконтактной сварки баллона с держате­ лем проводят окончательную герметизацию прибора обжи­ мом и проваркой верхнего кон­ ца трубки с пропущенным че­ рез нее выводом от кристалла 2. К обжатой части трубки 5 приваривают никелевый вывод 6 с той же целью, что и вы­ вод 7.

На рис. 11.4,6 показана конструкция корпуса 1—36, ко­

торую наиболее часто

исполь­

зуют для

герметизации

 

преце-

зионных

стабилитронов

Д818,

КС 156, КС 168, КС196.

В

дан­

ной конструкции кристаллодержатель 1 изготавливают токар­ ным способом или методом объемной штамповки из бес­ кислородной меди. В случае токарного изготовления кристаллодержателя к нему с по­ мощью припоя ПСР-72 при­ паивают медный вывод 7. При объемной штамповке вывод получают одновременно. Не­ достатком этого метода являет­ ся невозможность получения вывода длиной более 20 мм (а нужная длина — 30±2 мм). Кристаллодержатель имеет выступ для напайки полупро­ водникового кристалла 6 с ц-п-переходом и разгрузочную кольцевую канавку для предот­ вращения деформации кри­ сталла при окончательной гер­

метизации.

Баллон

изготавли­

вают

из

тех

же

материалов

и по

той

же

технологии, что

314


и для конструкции 1—За. Баллон 2, стеклоизолятор 3, трубка 4 и верхний вывод 5 образуют герметичное металлостеклянное со­ единение. Герметизацию готового прибора осуществляют методом холодной сварки.

С целью защиты контактирующих поверхностей соединяемых узлов от окисления их предварительно покрывают слоем никеля толщиной до 20 мкм. Никель, обладая значительно большей твер­ достью, чем соединяемые материалы, при давлении лопается и вы­ ходит из зоны сварки, оставляя неокисленные поверхности основ­ ных материалов. Это дает возможность получать высококачествен­ ные сварные узлы.

Конструкция 1—Зв отличается от конструкции 1—За геометри­ ческими размерами и электрическими параметрами (см. табл. 11.4); герметизацию прибора выполняют как и 1—36 холодной сваркой.

Рис. 11.5. Конструкция металлического корпуса с винтами для монтажа на радиаторе

Рассмотренные конструкции корпусов рассчитаны на подвесной монтаж в аппаратуре с помощью гибких выводов. При таком ме­ тоде монтажа отвод тепла происходит в основном через выводы. Поэтому рабочая мощность приборов с такими корпусами не может быть выше 1,5—2 вт, если нет специального охлаждения.

Для приборов с рабочей мощностью свыше 2 вт применяют конструкции корпусов 1—4а, 1—46 и 1—4в с винтом и шестигран­

ником для монтажа их на

специальных теплоотводящих платах

и радиаторах; конструкции

1—4а и 1 —4в используют для мощных

стабилитронов.

 

Конструкция корпуса 1—46 с винтом для монтажа на теплоот­ водящем радиаторе, приведенная на рис. 11.5, предназначена в ос­ новном для мощных выпрямительных диодов. В конструкцию 1—46 входит медный кристаллодержатель 1 в виде шестигранника с вин­ том. Его изготавливают штамповкой на эксцентриковых прессах с усилием (25—40)-104 н с пооперационным отжигом полуфабри­ катов в муфельных печах для перекристаллизации и перевода меди в пластичное состояние после деформации. Изготовление

315


-оезьбы производят на токарном станке или накаткой с примене­ нием резьбонакатного устройства. На кристаллодержателе поме­ щают кристалл с /7-п-переходом 2 и верхним выводом 3. Баллон 4 аналогичен по конструкции и материалам баллону корпусов 1—За и 1—36, только баллон корпуса 1—46 больше по габаритам и имеет дополнительную перетяжку для уменьшения диаметра стеклоизолятора и защиты от деформации спая при окончатель­ ной герметизации. Окончательную герметизацию приборов в этих конструкциях корпусов осуществляют холодной сваркой. После герметизации производят обжим и проварку штенгеля 5, просечку монтажного отверстия 6 и облуживание поверхности полученного соединения.

Существенным недостатком корпусов этого типа является нали­ чие сварочного фланца над шестигранником, который не позволяет вести монтаж приборов в аппаратуре с помощью торцевого ключа и поэтому приводит к увеличению габаритов соответствующих уст­ ройств.

Конструкция корпуса 1—4в не имеет подобного недостатка. Кристаллодержатель этой конструкции выполняют из цилиндриче­ ской или листовой заготовки (за один удар) объемной штампов­ кой с применением усиленной толстостенной матрицы. В качестве материала держателя используют бескислородную медь МБ. По­ скольку окончательную герметизацию приборов в этом корпусе производят электроконтактной сваркой, на медный держатель припоем ПСр-72 напаяно никелевое кольцо с рельефом под сварку. Корпус представляет собой металлокерамический спай баллона, полученного штамповкой из никелевой ленты толщиной 0,3 мм, керамической втулки Из массы М7, 22ХС или КВФ-IV и трубки из ковара или сплава ЭИ-693. В качестве припоя исполь­ зуют ПСр-72.

В этой конструкции можно использовать и обычный металлостеклянный вариант баллона, однако керамический вариант позво­ ляет уменьшить габариты корпуса по высоте и сохранить внутрен­ ний объем. Кроме того, использование керамики исключает брак по трещинам в стекле при обжиме штенгеля, который возможен в корпусах 1—4а и 1—46. Керамика обеспечивает также нормаль­ ную работу приборов с повышенным рабочим напряжением.

Технологический процесс изготовления баллона рассмотренных конструкций корпусов унифицирован, его можно изменять в зави­ симости от сочетания применяемых материалов. При использова­ нии стекла 16-Ш баллоны производят на многопозиционном полу­ автомате огневой заварки с формовкой стеклоизолятора в процессе изготовления спая. Для снятия напряжений баллоны отжигают. При огневой заварке баллона предварительное окисление металли­ ческих деталей является обязательным. При использовании стекол С48-2, С49-2, С72-4 баллоны выполняют в конвейерной печи в атмо^ сфере азота в специальных графитовых кассетах. Окончатель­ ную герметизацию приборов проводят электроконтактной свар­ кой.

316