ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 80
Скачиваний: 1
Методы исследования |
|
и опытные |
результаты |
||
Основными методами изучения поверхностной диф. |
|||||
фузии является метод |
радиоактивных |
изотопов, метод |
|||
эмиссионного микроскопа |
(Мюллер) и |
методы, в которых |
|||
исследуется |
(обычно |
с |
помощью |
интерференционного |
|
микроскопа) |
кинетика |
залечивания |
|
или образования |
|
разного рода |
канавок |
(царапин) на |
поверхности, а так |
||
ж е кинетика |
спекания. |
|
|
|
Детальный анализ методик последней группы дан в работе [156]. Они заключаются в измерении количества массы, перенесенной по поверхности. Причиной направ ленного перемещения атомов вдоль неровной поверх ности является сила F, возникающа я из-за градиента химического потенциала и., определяемого кривизной поверхности:
Поверхностный |
поток, |
определяемый |
поверхностной |
|
диффузией, |
равен |
|
|
|
|
1 ПОВ — £ |
" О g s . |
К^О) |
|
где Д ю н — коэффициент |
поверхностной |
диффузии; |
||
s — |
участок |
дуги |
в направлении |
потока; |
tio— число атомов на единице площади поверх ности.
В результате диффузионного потока происходит сглаживание рельефа поверхности, благодаря переносу
массы от выпуклых |
к вогнутым |
местам; д в и ж у щ а я сила |
|
F и |
соответственно |
скорость потока уменьшаются . |
|
В |
работе [156] |
рассмотрены |
различные варианты |
определения коэффициента поверхностной диффузии по
кинетике сглаживания профиля участка |
поверхности. |
||||
П р и измерении поверхностной диффузии методом пе |
|||||
реноса массы необходимо создать такие условия |
опыта, |
||||
при которых |
в к л а д |
других механизмов |
переноса |
массы |
|
(например, |
испарение — конденсация, |
объемная |
диф |
||
фузия) по сравнению |
с поверхностной диффузией |
был бы |
|||
мал, или необходимо |
учесть этот вклад . При |
измерениях |
диффузии в материалах с большой упругостью п а р а эф фект сублимации может быть существенным. Значение его можно понизить, если отжиг проводить в атмосфере
152
инертного т а з а |
под давлением, поскольку |
между коэф |
||
фициентом диффузии |
в тазе |
и давлением существует об |
||
ратная зависимость |
D^œp-K |
|
|
|
На рис. 64 |
приведена температурная |
зависимость |
||
коэффициента |
поверхностной |
самодиффузии, полученная |
различными методами — сглаживания одиночной цара пины (1) и гофра (2), развития канавок термического травления (5) и спекания проволок (4). Совпадение результатов экспериментов удовлетворительное.
0,д5 |
0,90 |
0,95 t/T 101 |
Рис. 64. Температурная зависимость коэффициента са модиффузии железа, полученная различными методами
-[7]
6 случае самодиффузии на поверхности сплава, пред ставляющего собой твердый раствор:
|
|
Атов ~ CA DnoB + |
С в £*пов ' |
(46) |
где |
С А |
и СВ; |
|
|
Дюв |
и |
DnoB — соответственно |
концентрации и коэф |
|
|
|
фициенты самодиффузии |
компонентов |
сплава.
Отмечена [156] возможность возникновения на по верхности твердого раствора кинетического эффекта — поверхностной диффузионной 'сегрегации: в процессе сглаживания царапины или развития канавки термиче ского травления из-за различия в парциальных коэффи -
153
циентах диффузии атомов разного сорта м о ж е т возник нуть направленный поток адатомов, в результате кото рого вершина царапины или канавки термического трав ления будет обогащаться атомами одного сорта.
Вопрос об |
определении |
коэффициента |
|
поверхностной |
|||||||||||
гетеродиффузии методом переноса |
массы |
т а к ж е рассмот |
|||||||||||||
рен в |
работе |
[,156]. Коэффициент |
гетеродиффузии |
А |
по |
||||||||||
£ Ф п о ! в ) |
можно, |
например, оценить |
в опыте, |
где |
|
иссле |
|||||||||
дуется |
диффузионное |
перераспределение |
разобщенных |
||||||||||||
частиц |
этого |
вещества |
(например, сферических |
крупи |
|||||||||||
нок), расположенных на подложк е Б. |
При |
этом |
|
поток |
|||||||||||
поверхностной диффузии |
должен |
существенно |
превос |
||||||||||||
ходить |
диффузионный |
поток через газовую фазу, |
т. е. |
||||||||||||
|
|
|
|
|
D ^ B |
ncJR |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
•^пов |
"пов " |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где |
D^-* |
Б—коэффициент |
диффузии |
в |
газовой |
фазе; |
|||||||||
пг |
и |
Ппов'—плотность |
частиц |
соответственно |
|
в |
га |
||||||||
|
|
|
зовой |
и |
двумерной |
адсорбированной |
|||||||||
|
|
|
ф а з а х ; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
R — радиус крупинки. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Показано, |
что |
во многих случаях |
кинетика |
переноса |
|||||||||||
массы |
между |
крупинками А на подложке Б определяет |
|||||||||||||
ся коэффициентом |
поверхностной |
гетеродиффузии. |
|
|
|||||||||||
З а д а ч а о коагуляции крупинок А на подложке |
Б, |
ког |
|||||||||||||
да перенос массы осуществляется механизмом |
двумерной |
||||||||||||||
гетеродиффузии, может |
быть решена |
аналогично |
тому, |
||||||||||||
к а к она была |
решена д л я коагуляции |
частиц второй |
фа |
||||||||||||
зы в кристалле . При этом |
в отличие |
от |
временного |
за |
|||||||||||
кона |
|
|
(коагуляция |
в |
объеме), |
д л я |
коагуляции |
на |
|||||||
поверхности |
R^t1** |
[215]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
П а р а м е т р ы поверхностной гетеродиффузии |
иследова- |
||||||||||||||
ли [208] |
методом |
электродиффузионного |
потенциала, |
||||||||||||
который |
возникает |
при взаимной диффузии компонентов |
|||||||||||||
сплава, если |
их ионы |
о б л а д а ю т разными |
|
эффективными |
|||||||||||
з а р я д а м и |
и подвижностями . Энергию |
активации |
поверх |
ностной гетеродиффизии можно определить из темпера турной зависимости электродиффузионного потенциала, если принять, что эффективный з а р я д диффундирующего иона не зависит от температуры. Установлено, что энер гия активации диффузии олова по поверхности никеле-
154
вых порошков (спрессованных в пластинку с пористостью 45%) составляет 50,4 кдж/г-атом (12 000 кал/г-атом).
Поверхностная д и ф ф у з и я часто осложняется процес сами, протекающими параллельно (например, объемной диффузией в направлении, перпендикулярном к поверх
ности |
подложки, переносом атомов А не |
через подлож |
||
ку Б, |
а через газовую фазу, |
взаимодействием |
адатомов |
|
сорта |
А с деталями рельефа |
подложки Б |
-и |
др. [156]. |
Экспериментальное исследование поверхностной диффузии успешно осуществляется методом меченых атомов.
При решении задачи поверхностной диффузии следу ет учитывать параллельно протекающий отсос изотопа в объем. Он может быть равномерным, протекающим во всем объеме приповерхностного слоя, определяемым ко эффициентом объемной диффузии, и локальным, когда отсос происходит за счет поверхностных ловушек — вы ходов дислокаций, границ блоков и зерен, микротрещин и Др.
Решение задачи д л я |
последнего случая требует зна |
||
ния топографии |
поверхностных структурных |
дефектов, |
|
играющих роль |
ловушек. |
|
|
'Решение задачи в случае равномерного отсоса в при |
|||
ближении Фишера имеет вид: |
|
||
|
= |
( f T ( ^ Г ' • |
<48> |
тде D — коэффициент объемной диффузии;
б— толщина слоя поверхностной диффузии;
С— концентрация изотопа вдоль оси у.
По углу наклона прямой lgC — у можно найти про изведение опово. Более точные приближения д а н ы в ра ботах Уиппла и Сузуоки.
в о з м о ж н о с т ь |
раздельного определения ОПОв |
и б |
обсу |
ждается в работе |
[218]. |
|
|
•С целью увеличения чувствительности метода |
мече |
||
ных атомов, когда в опытах по поверхностной |
диффузии |
||
приходится иметь дело с малыми количествами |
изотопов, |
||
предложен ряд приемов. |
|
|
Радиоизотопный метод изучения поверхностной д и ф фузии рассмотрен в работе [і156]. Этим методом исследо вали поверхностную диффузию на моно- и поликристал лических образцах: N i 6 3 - * Си и €u6 4 -<-Cu. Изучали т а к ж е
155
анизотропию диффузии на кристаллографических повер хностях (111) и (100) образцов, вырезанных из монокри
сталла |
меди. Источники |
диффузии N i 6 3 и С и 6 4 |
наносили |
||||
на образец испарением их в вакууме. |
|
|
|
||||
Радиометрические измерения при исследовании само |
|||||||
диффузии меди проводили по интегральной |
у-активности |
||||||
образца, при исследовании |
диффузии |
никеля — п о инте |
|||||
гральной ß-радиоактивности. |
|
|
|
||||
Б ы л и получены следующие значения энергии |
актива |
||||||
ции |
поверхностной |
диффузии |
QUOD, |
кдж/г-атом |
|||
(ккал/г-атом) |
ів моно- |
и |
поликристаллической |
меди: |
|||
|
|
|
|
Монокристаллы |
Поликристаллы* |
||
N i » 3 - С и |
|
|
|
138 (33) |
156 (37,4)/203 (48,5) |
||
С и " - * Си |
|
|
121 (29) |
—/175 (42) |
* В числителе значения Q n 0 D Д л я поверхности (100). в знаменателе — для (HI).
Результаты удовлетворительно согласуются с данны ми, полученными другими методами.
Авторы о б р а щ а ю т внимание на следующие обстоя тельства: анизотропия диффузии на поверхности (111) и (100) г.ц.к. металлов свидетельствует, что процесс про текает в тонком поверхностном слое, поскольку объем ная диффузия в кубических кристаллах мало зависит от кристаллографического направления; более высокие зна чения QnoB для плотноупакованной плоскости (111) по сравнению с плоскостью (100) объясняются более высо ким значением для этой плоскости поверхностного натя жения . Известно, например, что в кубическом кристалле
NaCl величина |
ствплоскости (111) почти в 6 раз |
больше, |
|||
чем в плоскости |
(100)—соответственно |
0,872 и 0,15 дж/м2 |
|||
(872 и |
150 |
эрг/см2). |
|
|
|
Н е |
совсем |
ясен результат, согласно |
которому |
энергия |
активации диффузии никеля в поликристаллической ме ди больше, чем в монокристаллической. П о аналогии с объемной диффузией следовало ожидать обратного эф фекта, учитывая влияние границ зерен на диффузию.
Анализ экспериментальных возможностей исследова ния поверхности и, в частности, поверхностной диффузии методом автоэмиссионного микроскопа сделан Соколь ской в работе [156]. И н ф о р м а ц и я , получаемая этим ме тодом, отличается высокой степенью достоверности и ло-
156