Файл: Страховский Г.М. Основы квантовой электроники учеб. пособие.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 10.04.2024
Просмотров: 239
Скачиваний: 1
Таким образом, для лазера с размерами 0,3 X 0,3 мм2 при толщине активной области 10~4 см объем активного вещества составляет всего Ю - 7 см3, т. е. он во много раз меньше объема самого лазера.
Расходимость излучения диода близка к диффракционной, т. е. равна примерно , где X — длина волны излучения, a R — характер-
ный размер излучающей области. Для стандартных полупроводнико вых лазеров на GaAs (легированных Zn) при температуре 77° К рас ходимость луча в плоскости р-п-перехода около 3°, а в плоскости, пер пендикулярной к плоскости р-п-пе- рехода, 15—25°. Разная расходимость луча в разных плоскостях понятна, так как в первом случае размер R определяется размером грани лазера (доли миллиметра), а во втором — размерами излучающей области
(10 мкм на рис. 9.5).
|
|
|
|
|
В настоящее время в режиме не |
|||||
|
|
|
|
|
прерывной генерации получают мощ |
|||||
|
|
|
|
|
ность выходного излучения лазерного |
|||||
|
|
|
|
|
диода 12 вт (при Т = 4,2° К) и 2,5 вт |
|||||
|
|
|
|
|
(при |
Т = |
77° К). |
Применение |
спе |
|
|
|
|
|
|
циальной |
геометрии |
позволяет |
полу |
||
|
|
|
|
|
чить генерацию в непрерывном ре |
|||||
|
Интенсивность |
излучение |
жиме вплоть до 200° К. При комнат |
|||||||
|
ной |
температуре мощность в импульс |
||||||||
|
|
|
|
|
||||||
Рис. 9.5. |
Распределение |
фотонов |
ном |
режиме составляет |
12 вт. |
Наи |
||||
по энергиям |
в излучении |
инжек- |
большая |
мощность |
для |
инжекцион- |
||||
ционного |
лазера на |
GaAs |
ного |
лазера (100 вт) получена |
в им |
|||||
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
пульсном |
режиме. |
|
|
|
|
Из |
мощностных |
характеристик полупроводниковых |
лазеров |
вид |
но, что работа лазера сильно зависит от температуры. Прежде всего изменение температуры приводит к сдвигу спектра излучения полу проводникового лазера. С одной стороны, это происходит вследствие изменения показателя преломления материала лазера и, следователь но, сдвига собственных частот резонатора лазера, с другой — в ре зультате сдвига вершины линии люминесценции. От температуры также существенно зависит такая важнейшая характеристика лазера, как плотность порогового тока ( / п о р ) . т - е. тока, при котором начи нается генерация.
Выведем зависимость плотности порогового тока от параметров лазера, используя формулу (1.34) для порогового коэффициента уси
ления. Если считать, что коэффициенты |
отражения |
зеркал резонатора |
||||
Т |
2 |
Т |
г' |
0 1 |
''', |
то формула (1.34) |
(торцов лазера) одинаковы: /-<°Р> |
— /-<° Р> — |
|
||||
принимает вид |
|
|
|
|
|
|
Gnop = G n + - i ~ l n r < - P > . |
|
|
(9.10) |
228
Будем считать, что генерация в лазере определяется инжекцией электронов в р-область. Тогда очевидно, что коэффициент усиления пропорционален плотности инжектируемых электронов, а плотность
инжектируемых электронов в свою очередь пропорциональна |
плотно |
|||||||||||||||||||
сти инжекционного тока. Следовательно, можно написать, что G n o p |
= |
|||||||||||||||||||
~ ß / n o p . г |
Д е ß — некоторый |
коэф |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
фициент, и из равенства (9.10) по- |
jnop,a/CM2 |
|
|
|
|
|
|
l/ß.a/см |
||||||||||||
лучить: |
|
|
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
/п ор |
|
|
|
|
1 |
lnr<0TP> |
|
(9.11) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
5? |
|
W1 |
|
|
|
|
|
|
10" |
|||||||
Соотношение (9.11) подтверж |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
дается |
экспериментально |
для раз |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
личных |
температур. |
Коэффициен |
я?" |
|
|
|
|
|
|
10" |
||||||||||
ты, |
входящие |
в |
него, |
имеют сле |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
дующие |
значения |
(для |
стандарт |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
ных |
лазеров): G„ = |
10 ~ |
20 см~1, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
ß — 1,4 -4- 2,5 • 10~2 |
сміа |
для тем |
I0J |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
пературы 77° К |
и |
сильно |
зависят |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
от |
температуры. На |
рис. 9.6 по |
|
>/ß |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
казана |
температурная зависимость |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
10' |
|
|
|
|
|
|
w |
|
||||||||||||
пороговой |
плотности |
тока |
и вели |
|
w |
100 |
1000 |
|
||||||||||||
|
|
|
||||||||||||||||||
чины 1/ß. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T'K |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Видно, |
что в |
области |
темпера |
Рис. 9.6. Зависимость |
пороговой |
плот |
||||||||||||||
тур порядка |
100° К начинается ред |
ности тока |
и величины |
І/ß |
от |
темпе |
||||||||||||||
кое возрастание |
порогового |
тока и |
ратуры |
для |
лазера на |
GaAs |
(р-п-пе- |
|||||||||||||
величины |
І/ß . |
Благодаря |
этому |
реход создан диффузией Zn; Nd |
= |
|||||||||||||||
= 5-101 8 |
сиг3 ) для лазерных |
диодов |
||||||||||||||||||
при |
комнатной |
температуре |
поро |
|||||||||||||||||
|
различной |
длины |
|
|
|
|
||||||||||||||
говые плотности токов очень вели |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
ки |
(порядка |
105 а/см2). |
Именно это мешает получить |
режим |
непре |
|||||||||||||||
рывной генерации в инжекционных лазерах |
при комнатной |
темпера |
туре. Дело в том, что при протекании тока через лазер он перегре вается (при больших плотностях токов) и выходит из строя.
В последнее время удалось уменьшить пороговые токи и получить непрерывный режим генерации при использовании так называемых гетеро-структур.
§ 9.6. Механизм |
излучательной |
рекомбинации |
в инжекционном лазере на основе GaAs. |
||
Модели |
коэффициента |
усиления |
В § 9.4 были рассмотрены принципиальная схема инжекции носи телей тока через р-я-переход и механизм возникновения генерации в инжекционном лазере. Однако для инжекционного лазера на GaAs этот механизм более сложный, поэтому рассмотрим его отдельно. Прежде всего обсудим процессы излучательной рекомбинации в р-п-
239
переходе, а для этого разберем процессы излучения в однородных материала GaAs р- и «-типа. Здесь могут наблюдаться все три процес са излучательной рекомбинации, показанные на рис. 9.1. Если сум мировать имеющиеся экспериментальные данные, то оказывается, что в однородных материалах р- и п-типа в зависимости от концентрации примесей наблюдаются четыре линии излучения. Первая линия обус ловлена переходом свободной дырки в зону проводимости или на мелкий донорный уровень, вторая линия —переходом свободного электрона на акцепторный уровень, третья (основная) линия в одно родном материале р-типа — переходом с донорного уровня на акцеп торный и, наконец, четвертая линия — переходом с донорного уровня в валентную зону. Эта линия наблюдается только при большой кон центрации акцепторов.
Теперь об излучении в р-п-переходе GaAs. Экспериментально найдено, что в сильно легированных диодах преобладает электронная инжекция в р-область. В этом случае источником излучения является р-область, а линия излучения аналогична основной линии излучения в однородном материале р-типа (третья линия). Так будет для боль шинства полупроводниковых лазеров, хотя при малых концентрациях доноров и высоких температурах может наблюдаться инжекция дырок в n-область. При этом линия излучения соответствует второй линии. Однако, так как в большинстве инжекционных лазеров пре обладает электронная инжекция в р-область, то ниже будем обсуж дать именно этот случай.
В настоящее время недостаточно хорошо изучена зонная структура вблизи краев зон в сильно легированных полупроводниковых мате риалах. Поэтому в теоретических расчетах исходят из ряда моделей. Известно, однако, что в сильно легированных полупроводниковых ма териалах вместо примесных уровней появляются примесные зоны. При высоких концентрациях примеси примесные зоны могут сливаться с собственными зонами полупроводника настолько, что их уже не возможно различить.
Одна из наиболее широко используемых моделей энергетического спектра полупроводника в активной области инжекционного лазера
предполагает, что плотность состояний в зоне |
проводимости (вблизи |
||||
края зоны) аппроксимирована функцией |
|
||||
|
|
|
|
|
(9.12) |
(так |
называемый хвост |
плотности |
состояний |
зоны проводимости), |
|
где |
W0 |
— параметр легирования, |
определяемый концентрацией до |
||
норов, |
а ро — плотность |
состояний |
в точке W = 0 (точка, от которой |
ведется отсчет энергии).
Появление «хвоста» плотности состояний зоны проводимости свя зано с мелкими донорными уровнями в сильно легированном полу проводниковом материале.
240
Вблизи |
края валентной зоны расположена узкая примесная зона |
с высокой |
плотностью состояний, соответствующая акцепторному |
уровню. |
|
Механизм лазерного излучения связан с переходом электронов из состояний в «хвосте» зоны проводимости в узкую примесную зону. В равновесии уровень Ферми лежит вблизи этой узкой примесной зоны. Вследствие высокой плотности состояний в примесной зоне квази
уровень Ферми |
WF ДЛЯ дырок при |
неравновесной |
концентрации |
|
носителей будет практически совпадать |
с положением |
уровня Ферми |
||
в равновесии. |
Положение |
же квазиуровня Ферми для электронов |
||
может сильно меняться в |
зависимости от величины инжекционного |
|||
тока. |
|
|
|
|
§ 9.7. Другие полупроводниковые лазеры
р-п переход очень удобен для накачки полупроводниковых лазе ров, но вместе с тем при создании p-n-переходов возникает ряд труд ностей.
Ряд полупроводников невозможно легировать до нужного уровня и даже когда удается создать /?-п-переход другие трудности не позво
ляют |
получить |
на |
нем |
когерентного |
|
|
|
|
||||||
излучения. |
Поэтому |
понятен |
интерес к |
|
|
|
|
|||||||
другим методам |
возбуждения |
полупро |
|
|
|
|
||||||||
водниковых |
|
лазеров. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
На |
рис. |
|
9.7. |
показана |
|
схема |
воз |
|
|
|
|
|||
буждения |
полупроводникового |
лазера |
|
|
|
|
||||||||
э л е к т р о н н ы м |
п у ч к о м . |
Пучок |
|
|
|
|
||||||||
электронов с энергией 20 кэв |
и больше |
|
|
|
|
|||||||||
направляется на плоскую грань полу |
|
|
|
|
||||||||||
проводникового |
образца. В |
тонком по |
|
|
|
|
||||||||
верхностном |
|
слое полупроводника |
элек |
|
|
|
|
|||||||
тронный пучок создает большое число |
|
|
|
|
||||||||||
электронно-дырочных |
пар |
|
(примерно |
|
|
|
|
|||||||
104 пар на один электрон). Образующие |
|
|
|
|
||||||||||
ся носители собираются у краев зоны |
Рис. 9.7. |
Схема |
возбуждения |
|||||||||||
проводимости |
(электроны) |
и |
валентной |
|||||||||||
зоны (дырки) |
и |
рекомбинируют. |
Коге |
полупроводникового |
лазера |
|||||||||
электронным |
пучком: |
|||||||||||||
рентное излучение выходит |
из |
образца |
/ — когерентное излучение; |
2 — от |
||||||||||
в направлении, перпендикулярном к па |
ражающие |
поверхности; |
3 — под |
|||||||||||
ложка; 4 — полупроводник; |
5 — пу |
|||||||||||||
дающему пучку |
электронов. |
Грани |
об |
чок электронов |
|
|||||||||
разца |
(отражающие |
поверхности) |
слу |
|
|
|
|
жат зеркалом открытого лазерного резонатора. В отличие от инжек ционного лазера толщина активного слоя при возбуждении электрон ным пучком зависит от энергии электронов и может достигать сотен микрометров.
Другим методом возбуждения полупроводниковых лазеров являет ся м е т о д о п т и ч е с к о й н а к а ч к и . Полупроводник облу-
241