Файл: Страховский Г.М. Основы квантовой электроники учеб. пособие.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 239

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Таким образом, для лазера с размерами 0,3 X 0,3 мм2 при толщине активной области 10~4 см объем активного вещества составляет всего Ю - 7 см3, т. е. он во много раз меньше объема самого лазера.

Расходимость излучения диода близка к диффракционной, т. е. равна примерно , где X — длина волны излучения, a R — характер-

ный размер излучающей области. Для стандартных полупроводнико­ вых лазеров на GaAs (легированных Zn) при температуре 77° К рас­ ходимость луча в плоскости р-п-перехода около 3°, а в плоскости, пер­ пендикулярной к плоскости р-п-пе- рехода, 15—25°. Разная расходимость луча в разных плоскостях понятна, так как в первом случае размер R определяется размером грани лазера (доли миллиметра), а во втором — размерами излучающей области

(10 мкм на рис. 9.5).

 

 

 

 

 

В настоящее время в режиме не­

 

 

 

 

 

прерывной генерации получают мощ­

 

 

 

 

 

ность выходного излучения лазерного

 

 

 

 

 

диода 12 вт (при Т = 4,2° К) и 2,5 вт

 

 

 

 

 

(при

Т =

77° К).

Применение

спе­

 

 

 

 

 

циальной

геометрии

позволяет

полу­

 

 

 

 

 

чить генерацию в непрерывном ре­

 

Интенсивность

излучение

жиме вплоть до 200° К. При комнат­

 

ной

температуре мощность в импульс­

 

 

 

 

 

Рис. 9.5.

Распределение

фотонов

ном

режиме составляет

12 вт.

Наи­

по энергиям

в излучении

инжек-

большая

мощность

для

инжекцион-

ционного

лазера на

GaAs

ного

лазера (100 вт) получена

в им­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

пульсном

режиме.

 

 

 

Из

мощностных

характеристик полупроводниковых

лазеров

вид­

но, что работа лазера сильно зависит от температуры. Прежде всего изменение температуры приводит к сдвигу спектра излучения полу­ проводникового лазера. С одной стороны, это происходит вследствие изменения показателя преломления материала лазера и, следователь­ но, сдвига собственных частот резонатора лазера, с другой — в ре­ зультате сдвига вершины линии люминесценции. От температуры также существенно зависит такая важнейшая характеристика лазера, как плотность порогового тока ( / п о р ) . т - е. тока, при котором начи­ нается генерация.

Выведем зависимость плотности порогового тока от параметров лазера, используя формулу (1.34) для порогового коэффициента уси­

ления. Если считать, что коэффициенты

отражения

зеркал резонатора

Т

2

Т

г'

0 1

''',

то формула (1.34)

(торцов лазера) одинаковы: /-<°Р>

— /-<° Р>

 

принимает вид

 

 

 

 

 

 

Gnop = G n + - i ~ l n r < - P > .

 

 

(9.10)

228


Будем считать, что генерация в лазере определяется инжекцией электронов в р-область. Тогда очевидно, что коэффициент усиления пропорционален плотности инжектируемых электронов, а плотность

инжектируемых электронов в свою очередь пропорциональна

плотно­

сти инжекционного тока. Следовательно, можно написать, что G n o p

=

~ ß / n o p . г

Д е ß некоторый

коэф­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

фициент, и из равенства (9.10) по-

jnop,a/CM2

 

 

 

 

 

 

l/ß.a/см

лучить:

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/п ор

 

 

 

 

1

lnr<0TP>

 

(9.11)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5?

 

W1

 

 

 

 

 

 

10"

Соотношение (9.11) подтверж­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дается

экспериментально

для раз­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

личных

температур.

Коэффициен­

я?"

 

 

 

 

 

 

10"

ты,

входящие

в

него,

имеют сле­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дующие

значения

(для

стандарт­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ных

лазеров): G„ =

10 ~

20 см~1,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ß — 1,4 -4- 2,5 • 10~2

сміа

для тем­

I0J

 

 

 

 

 

 

 

 

пературы 77° К

и

сильно

зависят

 

 

 

 

 

 

 

 

 

от

температуры. На

рис. 9.6 по­

 

>/ß

 

 

 

 

 

 

 

казана

температурная зависимость

 

 

 

 

 

 

 

 

10'

 

 

 

 

 

 

w

 

пороговой

плотности

тока

и вели­

 

w

100

1000

 

 

 

 

чины 1/ß.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T'K

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Видно,

что в

области

темпера­

Рис. 9.6. Зависимость

пороговой

плот­

тур порядка

100° К начинается ред­

ности тока

и величины

І/ß

от

темпе­

кое возрастание

порогового

тока и

ратуры

для

лазера на

GaAs

-п-пе-

величины

І/ß .

Благодаря

этому

реход создан диффузией Zn; Nd

=

= 5-101 8

сиг3 ) для лазерных

диодов

при

комнатной

температуре

поро­

 

различной

длины

 

 

 

 

говые плотности токов очень вели­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ки

(порядка

105 а/см2).

Именно это мешает получить

режим

непре­

рывной генерации в инжекционных лазерах

при комнатной

темпера­

туре. Дело в том, что при протекании тока через лазер он перегре­ вается (при больших плотностях токов) и выходит из строя.

В последнее время удалось уменьшить пороговые токи и получить непрерывный режим генерации при использовании так называемых гетеро-структур.

§ 9.6. Механизм

излучательной

рекомбинации

в инжекционном лазере на основе GaAs.

Модели

коэффициента

усиления

В § 9.4 были рассмотрены принципиальная схема инжекции носи­ телей тока через р-я-переход и механизм возникновения генерации в инжекционном лазере. Однако для инжекционного лазера на GaAs этот механизм более сложный, поэтому рассмотрим его отдельно. Прежде всего обсудим процессы излучательной рекомбинации в р-п-

239



переходе, а для этого разберем процессы излучения в однородных материала GaAs р- и «-типа. Здесь могут наблюдаться все три процес­ са излучательной рекомбинации, показанные на рис. 9.1. Если сум­ мировать имеющиеся экспериментальные данные, то оказывается, что в однородных материалах р- и п-типа в зависимости от концентрации примесей наблюдаются четыре линии излучения. Первая линия обус­ ловлена переходом свободной дырки в зону проводимости или на мелкий донорный уровень, вторая линия —переходом свободного электрона на акцепторный уровень, третья (основная) линия в одно­ родном материале р-типа — переходом с донорного уровня на акцеп­ торный и, наконец, четвертая линия — переходом с донорного уровня в валентную зону. Эта линия наблюдается только при большой кон­ центрации акцепторов.

Теперь об излучении в р-п-переходе GaAs. Экспериментально найдено, что в сильно легированных диодах преобладает электронная инжекция в р-область. В этом случае источником излучения является р-область, а линия излучения аналогична основной линии излучения в однородном материале р-типа (третья линия). Так будет для боль­ шинства полупроводниковых лазеров, хотя при малых концентрациях доноров и высоких температурах может наблюдаться инжекция дырок в n-область. При этом линия излучения соответствует второй линии. Однако, так как в большинстве инжекционных лазеров пре­ обладает электронная инжекция в р-область, то ниже будем обсуж­ дать именно этот случай.

В настоящее время недостаточно хорошо изучена зонная структура вблизи краев зон в сильно легированных полупроводниковых мате­ риалах. Поэтому в теоретических расчетах исходят из ряда моделей. Известно, однако, что в сильно легированных полупроводниковых ма­ териалах вместо примесных уровней появляются примесные зоны. При высоких концентрациях примеси примесные зоны могут сливаться с собственными зонами полупроводника настолько, что их уже не­ возможно различить.

Одна из наиболее широко используемых моделей энергетического спектра полупроводника в активной области инжекционного лазера

предполагает, что плотность состояний в зоне

проводимости (вблизи

края зоны) аппроксимирована функцией

 

 

 

 

 

 

(9.12)

(так

называемый хвост

плотности

состояний

зоны проводимости),

где

W0

— параметр легирования,

определяемый концентрацией до­

норов,

а ро — плотность

состояний

в точке W = 0 (точка, от которой

ведется отсчет энергии).

Появление «хвоста» плотности состояний зоны проводимости свя­ зано с мелкими донорными уровнями в сильно легированном полу­ проводниковом материале.

240


Вблизи

края валентной зоны расположена узкая примесная зона

с высокой

плотностью состояний, соответствующая акцепторному

уровню.

 

Механизм лазерного излучения связан с переходом электронов из состояний в «хвосте» зоны проводимости в узкую примесную зону. В равновесии уровень Ферми лежит вблизи этой узкой примесной зоны. Вследствие высокой плотности состояний в примесной зоне квази­

уровень Ферми

WF ДЛЯ дырок при

неравновесной

концентрации

носителей будет практически совпадать

с положением

уровня Ферми

в равновесии.

Положение

же квазиуровня Ферми для электронов

может сильно меняться в

зависимости от величины инжекционного

тока.

 

 

 

 

§ 9.7. Другие полупроводниковые лазеры

р-п переход очень удобен для накачки полупроводниковых лазе­ ров, но вместе с тем при создании p-n-переходов возникает ряд труд­ ностей.

Ряд полупроводников невозможно легировать до нужного уровня и даже когда удается создать /?-п-переход другие трудности не позво­

ляют

получить

на

нем

когерентного

 

 

 

 

излучения.

Поэтому

понятен

интерес к

 

 

 

 

другим методам

возбуждения

полупро­

 

 

 

 

водниковых

 

лазеров.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

На

рис.

 

9.7.

показана

 

схема

воз­

 

 

 

 

буждения

полупроводникового

лазера

 

 

 

 

э л е к т р о н н ы м

п у ч к о м .

Пучок

 

 

 

 

электронов с энергией 20 кэв

и больше

 

 

 

 

направляется на плоскую грань полу­

 

 

 

 

проводникового

образца. В

тонком по­

 

 

 

 

верхностном

 

слое полупроводника

элек­

 

 

 

 

тронный пучок создает большое число

 

 

 

 

электронно-дырочных

пар

 

(примерно

 

 

 

 

104 пар на один электрон). Образующие­

 

 

 

 

ся носители собираются у краев зоны

Рис. 9.7.

Схема

возбуждения

проводимости

(электроны)

и

валентной

зоны (дырки)

и

рекомбинируют.

Коге­

полупроводникового

лазера

электронным

пучком:

рентное излучение выходит

из

образца

/ — когерентное излучение;

2 — от­

в направлении, перпендикулярном к па­

ражающие

поверхности;

3 под­

ложка; 4 — полупроводник;

5 — пу­

дающему пучку

электронов.

Грани

об­

чок электронов

 

разца

(отражающие

поверхности)

слу­

 

 

 

 

жат зеркалом открытого лазерного резонатора. В отличие от инжек­ ционного лазера толщина активного слоя при возбуждении электрон­ ным пучком зависит от энергии электронов и может достигать сотен микрометров.

Другим методом возбуждения полупроводниковых лазеров являет­ ся м е т о д о п т и ч е с к о й н а к а ч к и . Полупроводник облу-

241