Файл: Кремниевые планарные транзисторы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 249

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Глава шестая

ТЕМПЕРАТУРНАЯ З А В И С И М О С Т Ь ПАРАМЕТРОВ

•бет и ÎT

6.1. Зависимость коэффициента Вст от температуры

Существенной особенностью кремниевых планарных транзисто­ ров, является значительная зависимость их усилительных, свойств от температуры. Весьма температурочувствительным параметром является коэффициент усиления по току Вст. В работе [84] для аме­ риканского транзистора 2N 2150 экспериментально показано, что при повышении температуры от —55 до +100° С коэффициент Вст на пологом участке кривой Вст = ß C T ( / K ) может возрастать почти в 5—6 раз. Аналогичные результаты наблюдаются на отечественных транзисторах КТ603 (рис. 6.1, а) и КТ312 (рис. 6.1, б). Такой зна­ чительный температурный дрейф параметра 5 С Т приходится учи­ тывать при разработке радиоэлектронных устройств на транзисто­

рах, которые должны работать в широком температурном

диапазоне

и в особенности при низких

температурах Т ^

—60° С,

где

вели­

чина В с т

довольно

мала.

 

 

изменения

Рассмотрим причины, вызывающие температурные

коэффициента

усиления

по току ß C T . Как видно из формулы (3.28),

параметр

Всг

зависит от

коэффициента переноса носителей

через

базу рп

(для

п-р-п

прибора)

и коэффициента

инжекции эмиттер­

ного р-п

перехода уп

следующим образом:

 

 

 

 

 

 

ß cT

= ßnY7l /(l — ß n Y n ) -

 

 

 

В переключающих транзисторах, легированных золотом, вре­

мя жизни неосновных носителей в базе довольно мало п

«

10 не)

и, как показано в § 3.4, коэффициент инжекции уп можно положить равным 1. В результате формула (3.28) упрощается и принимает вид (3.426).

В обычных усилительных транзисторах, не легированных спе­ циально золотом, время жизни неосновных носителей в базе велико п « 1 мке), поэтому ß„ = 1. В результате (3.28) преобразуется

в (3.60). В

выражение (3.60) необходимо еще ввести коэффициент

умножения

в коллекторе а*[47], который учитывает вклад обрат­

ного тока коллектора / к б 0 в полный

коллекторный ток. В

кремни­

евых транзисторах обратный ток

/ к б 0

обусловлен тепловой

генера­

цией электронно-дырочных пар

в обратно смещенном коллектор-

156


ном р-п переходе (§ 7.1). Образованные в результате генерации элек­ троны уходят в коллекторный слой я-типа (для п-р-п транзистора), тем самым увеличивая результирующий коллекторный ток: / к =

— Лік 4- /К бо> г Де Лгк = aiэ — электронный ток, обусловлен­ ный инжекцией из эмиттера. Дырки же уходят в базу, уменьшая результирующий базовый ток: / б = /g — / к б 0 , где /б — базо­ вый ток без учета составляющей Ікб0. По определению коэффициент умножения в коллекторе будет равен

- (/„ к + /кбо)//„„ = 1 + /к б о//пк-

(6-1)

С учетом выражения (6.1.) формула (3.28) для коэффициента усиления ВСт принимает следующий вид:

£ C T = « * ß n Y n / ( l - a * ß n Y n ) -

(6-2)

Однако ниже будет показано, что в кремниевых транзисторах при

температурах Т

+ 1 3 0 ° С

и при токах

коллектора / к ^

1 мА

а* А ; 1,001 œ 1.

Следовательно, коэффициент а*

не влияет суще­

ственным

образом на величину

параметра ß C T , поскольку

обычно

ßn. Уп

«

0,990.

Это означает,

что формулы (6.2)

и (3.28) практи­

чески

совпадают.

 

 

 

 

 

Рассмотрим температурную зависимость коэффициента усиле­

ния ВСт для транзисторов,

легированных

золотом, когда

ß C T оп­

ределяется приближенным

выражением

(3.426).

Проанализируем

Рис. 6.1. Зависимости коэффициента усиления В С т от тока коллектора при трех температурах и трех коллекторных напряжениях для переключающих тран­ зисторов КТ603 (о) и КТ312 (б):

- О — £/кб=2,7 В. — X — Унв = 5,5 В, —А— С/кб - 15 В.

157


температурную зависимость всех членов, входящих в формулу

(3.426). Очевидно,

толщина технологической базы W60

не зависит

от температуры, так как она равна

расстоянию между

плоскостями

в транзисторной структуре х =

х э 0

и х = х к 0 , в которых УѴаэ0)

=

= Nd(xa0)

и Na(xK0)

= NdK.

Ширина квазинейтральной базы

W6

(3.40) зависит от ширины коллекторного р-п перехода

[см. (3.18)

для (х к 0

— Х к ) и (3.20) для Хк р-п].

Все эти формулы записаны в пред­

положении полной ионизации примесей в базе и высокоомном кол­ лекторном слое и при концентрации неосновных носителей гораздо меньшей концентрации примесей. Оценим величину температурного диапазона, в котором справедливы эти допущения.

Для

невырожденного кремния

n-типа

концентрация

элек­

тронов

в

зоне проводимости,

как

известно

[85], равна

п =

— Nc

exp

[ — (&с — $/?)/^фг],

а концентрация

электронов,

остав­

шихся

на

донорных уровнях,

определяется

равенством (фактор

вырождения донорного уровня считаем в первом приближении рав­ ным 2)

il

... .

<*

"<* l +

l / 2 e x p [ ( ^ - ^ ) / W r ] ,

где

 

 

Nc = 2 [2nmckT/h2]3l2

= 4,83 • 101 5 (mc /m0 )3 /2 Г 3 / 2 см~3 ;

тс — эффективная масса плотности состояний в зоне проводимо­ сти (для Si тс0 = 1,08). Если температура не очень высока, так что можно пренебречь тепловым перебросом электронов из ва­ лентной зоны в зону проводимости, а следовательно, и концентра­ цией дырок р по сравнению с концентрацией электронов п и доно­ ров Nd, то условие электронейтральности принимает вид

УѴсехр (

F_ c ) +

- — —

=r,

=

Nd

 

 

ЯЧ>т

1 + 1/2

exp

lÇ8d-VF)/q<pT]

 

 

или

 

 

 

N„

 

 

 

n — Nc

exp

 

 

 

.

(6.3)

 

 

 

 

 

 

l + 2 e x p [ ( ^ - ^ ) / W r ]

 

 

Поскольку

exp F/q(pT)

= n/Nc

exp

(ëJq<fT),

то,

подставляя

это выражение в правую часть уравнения (6.3), приходим к квад­ ратному уравнению относительно концентрации электронов:

 

1 + 2

п

 

 

NA

(6.4)

 

 

~~N~,exp

ЯЧ>Т

 

 

Уравнение (6.4) имеет

следующее

решение:

 

 

 

 

Ne •exp

<7Фт

X

 

 

 

 

 

 

 

X

1

,

8Nd

îç—®d.

 

(6.5)

1

+

~ir- e x P

<7Фг

 

 

 

 

153

Ne

 


Найдем теперь количество ионизированных доноров, когда

8Nd

ехр

< ^ с — <£rf

1.

 

(6.6)

Nr.

 

 

 

 

 

Тогда из формулы (6.5) получаем п = 2 / V d [ ] / 2 —

1] =

0,8 Nd.

Из уравнения (6.6) легко определить температуру Tld,

при которой

ионизировано 80% доноров:

 

 

 

 

$ с — Sd

 

 

 

 

(6-7)

Nr.

 

4,83 • 1 0 1 5 ( m c / m 0 ) 3 ^ 2 T\'d2

 

 

k In- 8Nd

k In

 

SNd

 

 

 

 

 

 

 

Уравнение (6.7) представляет собой трансцендентное

уравне­

ние, которое решается графическим методом или методом последо­ вательных приближений. Величина (&с ëd) в уравнении (6.7) означает энергию активации доноров, причем для фосфора, наи­ более широко используемого для легирования кремния, &с —• 'Sd

=

0,044 эВ, для сурьмы

сd

=

0,039 эВ. Постоянная Больц-

мана k = 1/11600 эВ/К.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В

табл. 6.1 приведены результаты вычислений температуры T\d

для

трех

значений

концентраций:

Nd

101 5

см - 3 ,

1016

с м - 3

и

10 1 7 см~ 3 для 8е

ëd=

0,044эВ

(величина4,83-101 5

(mc /m0 )3 /2 =

=

5,3 • 101 5

см - 3 , поскольку mc /m0

=

1,08).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а

6.1

 

 

Nd, с м - 3

 

101 5

 

101 6

101*

 

101 8

 

 

Ты,

К

 

83

 

117

185

 

350

 

При расчете температуры Tld для концентрации Nd

=

1 0 1 8 с м _ 3

мы не учитывали уменьшение энергии активации

с — ëd)

до­

норов. Однако, как показано в работах [86—88],

вследствие

вза­

имодействия

доноров

друг с другом при больших

концентрациях

может образоваться примесная зона конечной ширины вместо ло­

кальных примесных уровней. В случае кремния при Nd

= 101 8

с м - 3

энергия

активации (&с

 

<gd) уменьшается почти в два раза по срав­

нению со случаем слаболегированного

кремния

(Nd

^

101 5 с м - 3 ) ,

а при Nd

^ 3 • 101 8 с м - 3

имеем ёс & d = 0. Следовательно,

при

Nd = 101 8

с м - 3

истинная

температура

(Tld

= 250 К) будет го­

раздо меньше приближенного значения Tld

350 К. Таким об­

разом

для кремния

п-типа практически при всех

значениях

кон­

центрации

доноров

Nd

— 10й — 1020

с м - 3

и при

обычных

тем­

пературах

T ^

200

К

=

— 73° С все доноры

почти

полностью

ионизированы (п ^

0,8

Nd).

 

 

 

 

 

 

159