Файл: Кремниевые планарные транзисторы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 237

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Как видно из (7.44а), время задержки определяется только сум­ мой времен зарядки барьерных емкостей обоих р-п переходов. Для уменьшения времени t3 необходимо при конструировании переклю­ чающих транзисторов, как и обычных усилительных транзисторов, выбирать минимальные площади р-п переходов и тем самым умень­ шать значения емкостей С э и С к . В переключающих схемах величи­ ной 4 можно управлять, изменяя величину отпирающего импульса

базового тока

/ б 1 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для инженерных расчетов величины t3 в_(7.44а) можно поло­

жить

 

Фкэ =

0,85

В,

ф к

о

 

и'э р

. п

= 0,20

В,

 

Ѵя

р

. п

=

0,6

В,

k = 0,5; при

этом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф к э — р - п

 

і -

і Ik

 

 

20

 

 

 

0,5.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Фкэ

/

 

 

I j/ / oUT.85

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Тогда (7.44а) перепишем

в следующем

виде:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С8 (0)1,7

 

/ Q j 5 +

£

 

«

_

0 5

 

+

 

 

 

 

 

 

 

 

hi

У

 

 

0,85

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

С к

кд)

0,6+

о , і / к н / ? н

 

Сц ( ^ К Э + ^Эб)

ß

 

 

 

(7.446)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

эб

 

 

Для

ненасыщенного

ключа

/ к н

в

(7.446)

необходимо

заменить

на

Ікт.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Теперь вычислим время нарастания гф ,

 

 

в

течение

которого

коллекторный

ток

увеличивается

от 0,1 Ікт

 

до 0,9/ к т .

Напряже­

ние на эмиттерном р-п

переходе

возрастает

незначительно

от

UsР-п

до и;р.п

= U'a р-п + 2,3 фг = Ѵ9

р-п + 0,6В (Г = 300 К), посколь­

ку / к

~

ехр (сЛ> р-л/фг). Можно считать, что в момент

t = t3

процесс

заряда

барьерной

емкости

эмиттерного р-п

перехода

закончился.

В этом случае членом [Cg(U3p.n)]/tnp-dU3p.„(t)Jdt

 

 

 

 

в (7.41)

можно

пренебречь. Тогда (7.41) принимает следующий вид:

 

 

 

 

 

 

dJnu(t)

,

Іпк(і)

 

 

 

I бі

 

Ск(икр-п)

 

 

 

 

àUKp.n(t)

(7.45)

 

 

 

dt

 

 

 

 

 

пр

 

 

t.пр

 

 

 

 

dt

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проинтегрируем

правую

и левую части (7.45) по t

в пределах

от

ta до 4 +

іф:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,8/,

 

 

I

U« (t)

dt =

'hi

і

іф

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

^

 

 

*

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

^пр

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- ( £ к э +У

э р - Л - 0 . 9 /

к т RH)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

'э р-л

 

 

 

CR(UKp-n)dUKP.n.

 

 

 

(7.46)

 

 

 

 

'пр

 

 

.

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- Кэ+^э Ѵ гс - сі/™ RH)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7 З а к .

190

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

193


Интегралом в левой части последнего уравнения можно

пре­

небречь

по сравнению

с членсм

/ б і / ф / / п р .

Действительно,

при

типичных

значениях

/ к

т / / б і ^ 5 0 ,

tuv = 10 _

1 0 с,

т п

> 2 0 не.

 

<8 +<Ф

 

 

 

 

 

 

 

 

dt

I il1 .?* « °'5 / i"»f "P_ <

0,12

<

1.

 

Интеграл в правой части (7.46) вычисляется с использованием (7.33). В результате из (7.46) находим

іф =

j 0 , 8 / K m tDp

 

+

2С„ ( £ к э - 0 , 1 / к т

Ян ) ( £ к э

- 0,1 / к т

# н ) X

 

 

 

X

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(7.47а)

В (7.47а) мы

полагали

 

приближенно

с р к к — с / э Р . « ~ 0 ,

поскольку

Ф К К « 0 , 6 В и с / з Р - „ « 0 , 6 В .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для

насыщенных

 

ключей

/ К

Т

= / К Н ,

/ К Н # Н = Я К Э

и

(7.47а)

упрощается:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

іф=~~

{0,8Ікт

tnv

+

С к (0,9£к а ) • 1,2 £ к э } -

 

 

(7.476)

Оценим вклад в

величину

/ ф

(7.476)

времени

накопления

не­

основных носителей,

электронов,

в базе ( 0 , 8 / к т / / б і )

^пр и

 

времени

заряда барьерной емкости коллекторного р-п перехода Ск

(0,9ЕКд)

х

Х І , 2 £ к э / / б 1 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для

маломощных

переключающих

транзисторов

/ к н / / б і <

50,

/ б і « 1

мА, Е к э «

10

В,

С к ( 0 , 9 £ к 9

) « 5 — 1 0

пф,

( с

р А Ы 0 - ' » с.

Следовательно,

0,8/ І Ш / п р // б 1

<

4

не,

/бі1 С к (0,9 £"к э ) -1,2 Я к э

=

= 60—120 не.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для

мощных

переключающих

транзисторов

 

/ к н /^бі ^

20,

/ б 1 < 1 0 0 м А ,

£ к

э > 2 0

 

В,

С К (0,9Я К Ч ) >

100

пф,

^ « 1 - Ю - 1 0

с.

Поэтому

0 , 8 / к н / п р / / б 1 <

1,5 нс,

/ё, 1

Ск(0,9Ет)-

1,2ЯК 9 >24

не.

 

Таким образом,

в

обоих типах

переключающих

транзисторов

с точностью до 5—10%

 

можно пренебречь вкладом времени накопле­

ния неосновных носителей в базе в величину / ф . В результате форму­ ла (7.476) примет окончательный вид, пригодный для инженерных расчетов:

іф=^-Ск(0,9Ека)-1,2Евя.

(7.47B)

hi

 

Из (7.476) видно, что для уменьшения времени нарастания / ф необ­ ходимо в первую очередь увеличивать амплитуду отпирающего им,-

194


пульса базового тока / б 1

. Произведение С к (0,9 £ к 0 ) • 1,2£,; э

доволь­

но слабо зависит от напряжения коллекторной батареи

Екэ:

С К (0,9Я К Э ) - 1,2 £ К Э

=

e e 0 S B l , 2 £ K 8 _ _

_ у Е ^

 

 

Л /

2ее 0 (фкк + О.ЭЯца)

 

 

при Я к э > ф к к « 0 , б В .

 

 

 

 

Следует заметить, что до сих пор мы полагали

емкость между

выводами коллектора и базы равной барьерной емкости коллектор­ ного р-п перехода С к (£/,< р . п ) . Однако в планарных транзисторах иногда базовую контактную площадку, расположенную на поверх­ ности пленки Si02 , выносят за пределы площадки пассивной базы, т. е. на высокоомный коллекторный слой. В этом случае возникает

дополнительная емкость коллектора С,.nn~esio^SH

nJX,

где SK

пл

площадь контактной площадки над коллекторным слоем, X —

толщина

слоя

окисла

(обычно

X

= 0,5—1,0 мкм). е 3 ю 2 =

3,85.

В течение времени

/ ф

напряжение

на емкости

С к п л

изменяется

от

значения

£ к э

U3 „.„ — 0,1/к т /?н

до

EKg—U'3p.n

— 0,9IKmRlv

Следовательно, в формуле (7.476) для времени нараста­

ния

появится дополнительный член С к п л 0,81

KmRn.

 

 

 

Итак, в общем случае для насыщенного ключа

 

 

 

 

*Ф =

/бі' {Ск п л

0,8/к н Rn

+ Ск (0,9ЯК Э ) -1,2 Ет}.

 

(7.48)

Для ненасыщенного

ключа дополнительный

член

С к п л

0,81

KmRH,

учитывающий время зарядки емкости контактной базовой площадки

С к п л , необходимо

ввести

в формулу

(7.47а).

в фигурные скобки

В выражение

(7.44а) для времени задержки

необходимо добавить член

С к п л д б

+ U'3 р .„ + 0,1/к т /?н ), по­

скольку за время /3 напряжение между выводами коллектор—база

изменяется в

пределах

от — ( £ к э +

£ э 6 )

до — ( £ к э 0 э

р . п

0,1 IKmRu).

Однако этот новый член обычно значительно меньше

1-го

в формуле

(7.44)

ввиду того, что

 

 

 

 

 

 

 

 

В с ;

SX

 

Sg

 

 

 

 

Ск пл

es і 0 2 SK Ш ]

5р.„

• = 1 5 — - » 1

 

 

 

 

о к

п л

 

при типичных

значениях SgœSKnJl,

X > 0,5мкм, Хзр.п х 0,1 мкм,

eS i

=

12, eS i o2

=

3,85.

 

 

 

 

 

 

Заметим, что полученные нами формулы (7.44а) и (7.47а) для

времен t3 и / ф

являются

более строгими в отличие от формул,

при­

веденных в работе [105], так как мы не проводили нигде усреднения емкостей С э и С к в диапазоне соответствующих напряжений. Кро­ ме того, показано, что накопление неосновных носителей в базе ре­ альных кремниевых транзисторов оказывает незначительное влия­ ние на переходные процессы при включении.

При / > ія + іф процессы накопления заряда неосновных но­ сителей в базе не заканчиваются. Ток коллектора продолжает воз-

7*

195


растать от 0,9/ K m до 1,0/K m . За время накопления tn

максимальное

значение Ікт

 

зависит от величины сопротивления нагрузки и напря­

жения коллекторной батареи

Екд:

 

 

 

 

 

 

в

а)

Ікт — ^ с т Іъъ

е с л и

ß C T I ö l RH < Екэ

и

транзистор

остается

активном

режиме

(ненасыщенный

ключ);

 

 

 

 

 

б )

/ « m

=

/кн = £ , кэ/^н' е с л

и

^ с т ^ б і

>

£ К З

и

Т р а Н З И С Т О р В Х О Д И Т

в

режим

насыщения

(насыщенный

ключ).

 

 

 

 

 

 

В

случае

насыщенного

 

ключа,

когда

степень

насыщения ѵ —

=

ВСТІъг.11кш>

1, в течение

времени ta будет происходить

накоп­

ление неосновных носителей, электронов, в базе р-типа и накопление дырок в высокоомном коллекторном слое. Поэтому для расчета вре­ мени tB нельзя воспользоваться методом заряда в том виде, в котором он был дан выше [см. уравнение (7.41)]. Однако для работы импульс­ ных схем параметр tH не имеет большого значения.

Теперь перейдем к рассмотрению спада импульса коллектор­ ного тока или фронта выключения в результате подачи импульса

базового тока

отрицательной полярности

/ 5 2 < О [см. рис. 7.6].

В случае насыщенного ключа в течение некоторого времени

= tv

коллекторный

р-п переход находится под прямым смещением

(С/к

р - п

>

0),

поскольку

концентрация

избыточных носителей,

дырок,

в коллекторном слое я-типа (для п-р-п транзистора) не успе­

вает мгновенно рассосаться до равновесного значения рп.

Поэтому

коллекторный ток остается в течение tv

примерно равным значению

/кн

=

EKa/RH.

 

Эмиттерный

ток теперь будет меньше коллекторного:

I

ь =

К

+

/бг < /к» поскольку / б 2 <

0.

 

 

Если запирающий базовый ток невелик (|/бг | < ^ки ), то име­ ет место так называемое коллекторное рассасывание накопленного заряда, когда эмиттерный ток сохраняет то же направление, что при включении транзистора. Заряд электронов, накопленный в ак­ тивной и пассивной базах р-типа, исчезает вследствие рекомбина­ ции с дырками и вытекания в коллектор. Заряд же дырок, накоплен­ ный в высокоомном коллекторном слое, рассасывается из-за реком­ бинации с электронами в этом слое и из-за вытекания в базу.

При достаточно больших значениях базового тока ( | /бг | >

н )

эмиттерный ток I э = / б 2 + / К н < 0 меняет направление. В

этом

случае имеет место эмиттерное рассасывание, когда неосновные но­ сители, электроны, в базе р-типа вытекают через эмиттерный и кол­ лекторный р-п переходы. Концентрация электронов в базе на грани­

це с эммитерным р-п

переходом п (х"э) может упасть до нуля,

т. е.

эмиттерный р-п переход становится обратно смещенным (U а р - п

< 0 ) ,

а коллекторный р-п

переход еще остается под прямым

смещением

(UK

р-л >

0). Это означает, что транзистор входит

в

инверсный

активный

режим.

 

 

 

 

 

До настоящего времени для кремниевых планарных транзисто­

ров

не разработаны

достаточно точные методы для

определения

времени

рассасывания tp насыщенного ключа.

 

 

 

 

Метод эквивалентных схем, предложенный Моллом в работе

[101], дает довольно точные выражения для величины

/ р лишьвслу -

196


чае сплавных транзисторов, в которых в режиме насыщения

заряд

накапливается главным образом в объеме активной базы.

 

Несколько более строгим является расчет tv с помощью решения

уравнения непрерывности для области

базы В. В. Штагера

[106],

Т. М. Агаханяна

[107] и Р. Нанавати

] 1081, но и здесь рассматри­

ваются процессы

исчезновения заряда

подвижных носителей

лишь

в объеме активной базы. В методе заряда, рассмотренном выше при расчете переходных процессов включения, также ограничиваются определением закона изменения заряда в объеме активной базы, пренебрегая накопленным зарядом в коллекторном слое [104]. Одна­ ко в кремниевых планарных транзисторах, как и в германиевых дрейфовых транзисторах, толщина базы Woo более чем на порядок меньше толщины высокоомного коллекторного слоя Іп0 = хп — хк0, а площадь эмиттерного р-п перехода всегда гораздо меньше площади коллекторного р-п перехода (5 Э ^(0,1 — 0,3 ) 5 к ) . Следователь­ но, накопленный заряд в коллекторе QK может быть в 10—100 раз больше накопленного заряда в активной базе. Таким образом, для расчета переходных процессов при запирании насыщенного ключа надо решать трехмерные уравнения непрерывности для неоснов­ ных носителей в базе и в коллекторе, что представляет чрезвычайно сложную математическую задачу.

Наиболее точные формулы для расчета tp были получены в ра­ боте H . М. Ройзина и М. И. Марковича [109]. Они впервые решили уравнение непрерывности для полного избыточного заряда во всех трех областях: в активной и пассивной базах и в теле высокоомного коллектора. При этом распределение неосновных носителей в высокоомном коллекторном слое считалось одномерным, т. е. зави­ сящим только от координаты х (ось перпендикулярна плоскости эмиттерного р-п перехода). Распределение поля Е (х, у) и потен­ циала ф (х, у) в коллекторе находилось методом конформных отоб­ ражений, что справедливо для малого уровня инжекции неосно­ вных носителей в последнем (р (х, у)Шак < 1 для п-р-п транзи­ стора).

Распределение концентрации неосновных носителей на гра­ нице коллекторного р-п перехода и квазинейтральной базы пола­ галось равным р (хк) = рп ехр (UK р - п Apr). При таких допуще­ ниях в [109] получены следующие формулы для / р :

а) при / > L K (толстый высокоомный слой)

tv = xJl + - X )

ML*

- Щ ^ .

(7.49)

б) при / <^ L u (тонкий высокоомный слой)

\

3 | № б / ( £ № б / + О к Т б )

l + o -

197