Файл: Рабинович А.Г. Технология производства гидроакустической аппаратуры учеб. для судостроит. техникумов.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 11.04.2024
Просмотров: 82
Скачиваний: 0
После облуживания остатки флюса удаляют спиртом. Облуженные микроплаты с перемычками заваривают в пакеты из поли
этиленовой пленки. |
|
У т о л щ е н н о е л у ж е н и е м е д н о й |
п р о в о л о к и произво |
дится на специальной установке, схема |
которой представлена на |
рис. 113. Установка представляет собой систему ванн обезжирива ния У, флюсования 2 и лужения 3. Направляемая роликами мед ная проволока проходит последовательно все операции и в облуженном виде наматывается на барабан 4. Скорость движения про волоки 19 ± 0,5 мі мин при температуре припоя ПОССр2 240±5°С. Толщина лужения должна быть от 7 до 20 мкм. Для обезжирива ния применяется трихлорэтилен, а в качестве флюса — спиртоканифоль КСФ.
Рис. 113. Схема установки для лужения медной проволоки. |
|
|
С б о р к а и п а й к а |
м и к р о м о д у л е й выполняется в |
спе |
циальном приспособлении |
(рис. 114), представляющем собой |
раз-, |
движную систему, собранную из пластин, образующих две парал лельные гребенки. Толщина каждой пластины 0,25 мм. Шаг гре бенки, кратный 0,25 мм, устанавливается в соответствии со схемой раскладки микромодуля поворотом пластин вокруг оси. Стержень, на котором нанизаны пластины, может под действием рычагов и пружин перемещаться, чем обеспечивается закрепление микроплат.
В пазы гребенки последовательно вставляют микроплаты для данного микромодуля. Над пазами плат натягивают проводники. Пайка проводников в пазы микроплат производится малогабарит ным паяльником мощностью 20 вт при кратковременном прогреве без дополнительной подачи припоя к местам паек. Необходимое для пайки количество припоя имеется в пазах микроплат и на поверхности соединительных проводников.
После того как этажерка спаяна, выводы микромодуля обре зают. Для получения заданной электрической схемы производят
вырубку проводников между микроплатами согласно чертежу. Во избежание поломки керамических микроплат при вырубке про водников эту операцию выполняют с помощью специального при способления (рис. 115). Нож 5 этого приспособления, имеющий форму крючка, поднимается штоком / при нажатии на рычаг 2 и прорубает проводник на длине 0,2 мм. Винт 6 служит для ограни чения хода штока, а пружина 4, помещенная в корпусе 3, возвра
щает шток в исходное положение. |
|
||
К о н т р о л ь |
к а ч е с т в а |
п а й к и производится |
визуально, |
с помощью лупы |
4—8-кратного |
увеличения (рис. 116). |
Пайка сое- |
Рис. 114. |
Гребенка |
для сборки микро- |
Рис. |
115. Приспособление |
||
|
|
модулей. |
|
для |
вырубки проводника. |
|
/ — рамка; |
2, |
4 — рычаги; |
3—втулка; 5 — |
|
|
|
пластина; |
6, |
10 — пружины; |
7 — стержень; |
|
|
|
|
8 — тяга; |
9 — собачка. |
|
|
динительных проводников в пазах должна быть без пор, трещин, непропая и наплывов припоя.
П р и г е р м е т и з а ц и и м и к р о м о д у л е й эпоксидным ком паундом на выводы этажерки надевают резиновые насадки с целью оформления торцевых поверхностей микромодуля и защиты выво дов от компаунда. Кроме того, насадки служат для фиксации эта жерки в заливочной форме. Надевание насадок выполняется на приспособлении следующим образом (рис. 117). Этажерку микро модуля устанавливают между двумя подвижными призмами. Ре зиновую насадку вставляют в специальное гнездо рабочей поверх ностью наружу. Поворотом среднего рычага производят выравни вание и ориентацию выводов этажерки. Поворотом верхнего рычага насадка надевается на выводы этажерки. После этого этажерка переворачивается на 180° и насадка надевается на вы воды с противоположной стороны.
временным воздействием электрической нагрузки и повышенной температуры (40—80°С).
Заключительной операцией изготовления микромодулей яв ляется их у п а к о в к а в индивидуальную тару. Конструкция инди
видуальной упаковочной тары предохраняет выводы |
микромодуля |
|
от деформации и повреждения. |
|
|
§ 56. Пленочные и твердые микросхемы |
|
|
П л е н о ч н а я |
м и к р о с х е м а — это несколько |
взаимосвя |
занных элементов, сформированных на одной пластине методом
пленочной технологии и составляющих законченный |
функциональ |
ный узел. Элементы такой микросхемы неотделимы |
от основания |
и несменяемы. |
|
Выполняются пленочные микросхемы на изолирующих основа ниях (подложках), на одну или обе стороны которых по опреде ленному рисунку наносятся методом осаждения или напыления тонкие (до нескольких микрон) пленки из проводящих, диэлектри ческих, магнитных и полупроводниковых материалов.
При осаждении пленки хрома, нихрома или других высокоомных металлов можно получить сопротивления величиной от 200 до 10 000 ом. Напыленные сопротивления отличаются большой ста бильностью и низким температурным коэффициентом.
Емкости получают напылением с двух сторон диэлектрических подложек проводящих пленок или многослойным напылением про
водящих и диэлектрических пленок. Методом испарения |
тантала |
|
могут |
быть изготовлены конденсаторы емкостью до 10 |
мкф на |
1 см2 |
поверхности. |
|
Проводящие пленки образуются осаждением алюминия, меди, серебра, золота. Диэлектрические пленки создаются из двуокиси кремния, окиси тантала, моноокиси кремния и др. При нанесении пленок может быть предусмотрено одновременное их использова ние в качестве, например, резисторов и обкладок конденсаторов.
Тонкопленочная технология изготовления микросхем допускает возможность создания различных комбинаций, отличающихся по рядком следования слоев, их толщиной, формой и площадью, ве личиной удельного сопротивления и емкости, а также расположе нием выводов.
Конструктивно пленочные интегральные схемы могут содержать либо одни только тонкопленочные микроэлементы (обычно пас сивные), либо включать в себя и навесные дискретные элементы (микродиоды, микротранзисторы, микроиндуктивности).
Интегральные схемы, содержащие кроме пленочных элементов также и активные дискретные элементы, носят название г и б р и д н ы х и н т е г р а л ь н ы х м и к р о с х е м .
На рис. 121 показана конструкция пленочной гибридной инте гральной схемы, в которой тонкопленочной технологией выполнены проводники и резисторы Rl—R3. Дискретными элементами в этой схеме являются транзистор Т, диод Д и конденсатор С.
По конструктивному исполнению различают бескорпусные и корпусные микросхемы. Герметизация бескорпусных микросхем осуществляется заливкой их компаундом.
Пленочные микросхемы изготовляются на основе технологии нанесения тонких пленок преимущественно методами вакуумного испарения и химического осаждения. Нанесение пленок произво дится через специальные маски (трафареты).
Технологический процесс получения многослойных пленочных
гибридных интегральных |
микросхем состоит |
из следующих |
этапов: |
|
1. Разработка геометрических |
размеров |
каждого слоя и |
после |
|
довательности нанесения |
слоев. |
Подробное |
геометрическое |
разме- |
|
Рис. 121. Конструктивное оформление гибридной интеграль |
|||||
|
ной |
пленочной |
схемы: |
а — принципиальная |
схема; б — ее |
|
|
|
|
|
оформление. |
|
|
щение |
элементов |
микросхемы |
носит название т о п о л о г и ч е |
|||
с к о г о |
п л а н а с х е м ы . |
При |
разработке топологического плана |
|||
микросхемы |
определяются |
материалы, из которых должны быть |
||||
изготовлены |
пленки, |
расположение каждого |
элемента схемы на |
подложке, конструкция площадок для присоединения дискретных
элементов и выводов схемы. Топологическим |
планом |
определяются |
||||||
также |
количество |
слоев |
микросхемы, |
их геометрические формы |
||||
и порядок нанесения. |
|
|
|
|
|
|
||
2. |
Изготовление |
масок |
(трафаретов) |
для |
нанесения |
отдельных |
||
слоев. Маски могут быть получены фотохимгравированием |
или |
|||||||
микрофрезерованием. Точность изготовления |
масок |
должна |
быть |
впределах ± 10 мкм.
3.Изготовление пластин (подложек) из диэлектриков — стекла,
кварца, титаната бария и др. Важной операцией является очистка поверхности подложек. Способ очистки зависит от материала под ложки. Основными способами очистки подложек являются хими-