Файл: Рабинович А.Г. Технология производства гидроакустической аппаратуры учеб. для судостроит. техникумов.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 11.04.2024

Просмотров: 82

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

После облуживания остатки флюса удаляют спиртом. Облуженные микроплаты с перемычками заваривают в пакеты из поли­

этиленовой пленки.

 

У т о л щ е н н о е л у ж е н и е м е д н о й

п р о в о л о к и произво­

дится на специальной установке, схема

которой представлена на

рис. 113. Установка представляет собой систему ванн обезжирива­ ния У, флюсования 2 и лужения 3. Направляемая роликами мед­ ная проволока проходит последовательно все операции и в облуженном виде наматывается на барабан 4. Скорость движения про­ волоки 19 ± 0,5 мі мин при температуре припоя ПОССр2 240±5°С. Толщина лужения должна быть от 7 до 20 мкм. Для обезжирива­ ния применяется трихлорэтилен, а в качестве флюса — спиртоканифоль КСФ.

Рис. 113. Схема установки для лужения медной проволоки.

 

С б о р к а и п а й к а

м и к р о м о д у л е й выполняется в

спе­

циальном приспособлении

(рис. 114), представляющем собой

раз-,

движную систему, собранную из пластин, образующих две парал­ лельные гребенки. Толщина каждой пластины 0,25 мм. Шаг гре­ бенки, кратный 0,25 мм, устанавливается в соответствии со схемой раскладки микромодуля поворотом пластин вокруг оси. Стержень, на котором нанизаны пластины, может под действием рычагов и пружин перемещаться, чем обеспечивается закрепление микроплат.

В пазы гребенки последовательно вставляют микроплаты для данного микромодуля. Над пазами плат натягивают проводники. Пайка проводников в пазы микроплат производится малогабарит­ ным паяльником мощностью 20 вт при кратковременном прогреве без дополнительной подачи припоя к местам паек. Необходимое для пайки количество припоя имеется в пазах микроплат и на поверхности соединительных проводников.

После того как этажерка спаяна, выводы микромодуля обре­ зают. Для получения заданной электрической схемы производят


вырубку проводников между микроплатами согласно чертежу. Во избежание поломки керамических микроплат при вырубке про­ водников эту операцию выполняют с помощью специального при­ способления (рис. 115). Нож 5 этого приспособления, имеющий форму крючка, поднимается штоком / при нажатии на рычаг 2 и прорубает проводник на длине 0,2 мм. Винт 6 служит для ограни­ чения хода штока, а пружина 4, помещенная в корпусе 3, возвра­

щает шток в исходное положение.

 

К о н т р о л ь

к а ч е с т в а

п а й к и производится

визуально,

с помощью лупы

4—8-кратного

увеличения (рис. 116).

Пайка сое-

Рис. 114.

Гребенка

для сборки микро-

Рис.

115. Приспособление

 

 

модулей.

 

для

вырубки проводника.

/ — рамка;

2,

4 — рычаги;

3—втулка; 5 —

 

 

пластина;

6,

10 — пружины;

7 — стержень;

 

 

 

8 — тяга;

9 — собачка.

 

 

динительных проводников в пазах должна быть без пор, трещин, непропая и наплывов припоя.

П р и г е р м е т и з а ц и и м и к р о м о д у л е й эпоксидным ком­ паундом на выводы этажерки надевают резиновые насадки с целью оформления торцевых поверхностей микромодуля и защиты выво­ дов от компаунда. Кроме того, насадки служат для фиксации эта­ жерки в заливочной форме. Надевание насадок выполняется на приспособлении следующим образом (рис. 117). Этажерку микро­ модуля устанавливают между двумя подвижными призмами. Ре­ зиновую насадку вставляют в специальное гнездо рабочей поверх­ ностью наружу. Поворотом среднего рычага производят выравни­ вание и ориентацию выводов этажерки. Поворотом верхнего рычага насадка надевается на выводы этажерки. После этого этажерка переворачивается на 180° и насадка надевается на вы­ воды с противоположной стороны.



временным воздействием электрической нагрузки и повышенной температуры (40—80°С).

Заключительной операцией изготовления микромодулей яв­ ляется их у п а к о в к а в индивидуальную тару. Конструкция инди­

видуальной упаковочной тары предохраняет выводы

микромодуля

от деформации и повреждения.

 

§ 56. Пленочные и твердые микросхемы

 

П л е н о ч н а я

м и к р о с х е м а — это несколько

взаимосвя­

занных элементов, сформированных на одной пластине методом

пленочной технологии и составляющих законченный

функциональ­

ный узел. Элементы такой микросхемы неотделимы

от основания

и несменяемы.

 

Выполняются пленочные микросхемы на изолирующих основа­ ниях (подложках), на одну или обе стороны которых по опреде­ ленному рисунку наносятся методом осаждения или напыления тонкие (до нескольких микрон) пленки из проводящих, диэлектри­ ческих, магнитных и полупроводниковых материалов.

При осаждении пленки хрома, нихрома или других высокоомных металлов можно получить сопротивления величиной от 200 до 10 000 ом. Напыленные сопротивления отличаются большой ста­ бильностью и низким температурным коэффициентом.

Емкости получают напылением с двух сторон диэлектрических подложек проводящих пленок или многослойным напылением про­

водящих и диэлектрических пленок. Методом испарения

тантала

могут

быть изготовлены конденсаторы емкостью до 10

мкф на

1 см2

поверхности.

 

Проводящие пленки образуются осаждением алюминия, меди, серебра, золота. Диэлектрические пленки создаются из двуокиси кремния, окиси тантала, моноокиси кремния и др. При нанесении пленок может быть предусмотрено одновременное их использова­ ние в качестве, например, резисторов и обкладок конденсаторов.

Тонкопленочная технология изготовления микросхем допускает возможность создания различных комбинаций, отличающихся по­ рядком следования слоев, их толщиной, формой и площадью, ве­ личиной удельного сопротивления и емкости, а также расположе­ нием выводов.

Конструктивно пленочные интегральные схемы могут содержать либо одни только тонкопленочные микроэлементы (обычно пас­ сивные), либо включать в себя и навесные дискретные элементы (микродиоды, микротранзисторы, микроиндуктивности).

Интегральные схемы, содержащие кроме пленочных элементов также и активные дискретные элементы, носят название г и б р и д ­ н ы х и н т е г р а л ь н ы х м и к р о с х е м .

На рис. 121 показана конструкция пленочной гибридной инте­ гральной схемы, в которой тонкопленочной технологией выполнены проводники и резисторы RlR3. Дискретными элементами в этой схеме являются транзистор Т, диод Д и конденсатор С.


По конструктивному исполнению различают бескорпусные и корпусные микросхемы. Герметизация бескорпусных микросхем осуществляется заливкой их компаундом.

Пленочные микросхемы изготовляются на основе технологии нанесения тонких пленок преимущественно методами вакуумного испарения и химического осаждения. Нанесение пленок произво­ дится через специальные маски (трафареты).

Технологический процесс получения многослойных пленочных

гибридных интегральных

микросхем состоит

из следующих

этапов:

1. Разработка геометрических

размеров

каждого слоя и

после­

довательности нанесения

слоев.

Подробное

геометрическое

разме-

 

Рис. 121. Конструктивное оформление гибридной интеграль­

 

ной

пленочной

схемы:

а — принципиальная

схема; б — ее

 

 

 

 

оформление.

 

щение

элементов

микросхемы

носит название т о п о л о г и ч е ­

с к о г о

п л а н а с х е м ы .

При

разработке топологического плана

микросхемы

определяются

материалы, из которых должны быть

изготовлены

пленки,

расположение каждого

элемента схемы на

подложке, конструкция площадок для присоединения дискретных

элементов и выводов схемы. Топологическим

планом

определяются

также

количество

слоев

микросхемы,

их геометрические формы

и порядок нанесения.

 

 

 

 

 

 

2.

Изготовление

масок

(трафаретов)

для

нанесения

отдельных

слоев. Маски могут быть получены фотохимгравированием

или

микрофрезерованием. Точность изготовления

масок

должна

быть

впределах ± 10 мкм.

3.Изготовление пластин (подложек) из диэлектриков — стекла,

кварца, титаната бария и др. Важной операцией является очистка поверхности подложек. Способ очистки зависит от материала под­ ложки. Основными способами очистки подложек являются хими-