Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 63

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

22

Обозначение

F разр

/

Ь

G

g

h

I

I

b

It

! Sp

K, Ki

2. Термины, единицы измерения и обозначения

Продолжение

Единица

Термин

Определение и пояснения

измерения

 

 

 

 

 

кгс

Разрушающая сила

Значение силы,

при воз­

 

 

действии которой

ИП

 

 

силы подвергаются

ме­

 

 

ханическому

разруше­

Гц

Частота

нию

 

 

 

 

 

 

 

Гц

Резонансная частота

 

 

 

 

Гц

Номинальная частота

Резонансная частота не­

 

 

демпфированной

коле­

 

 

бательной системы

 

Н/мм2,

Модуль сдвига

Отношение

касатель­

кгс/мм2

 

ного механического

на­

 

 

пряжения т к углу сдви­

 

 

га ф:

 

 

 

м • с-2 Ускорение силы тяже­ сти

ММТолщина балки, рабо­ тающей на изгиб

мА

Сила тока

 

м4

Поверхностный момент

 

инерции

 

кг • м2

Полярный

момент

 

инерции

 

кг • м2

Крутильный

момент

 

инерции

 

мА

Ток питания ИП

1Коэффициент тензочувствительности

0

х

Е

 

Ф

2 (1 + v) *

где v — коэффициент Пуассона

Сумма (интеграл) про­ изведений элементов по­ верхности тела на ква­ драт их расстояния от оси инерции

Сумма (интеграл) про­ изведений элементов массы dm на квадрат их расстояния г от точ­ ки отсчета 0

Ток питания мостовой схемы ИП

Коэффициент пропорци­ ональности при линей­ ной зависимости между относительным измене­ нием сопротивления тензорезистора и продоль­ ной деформацией:

F &R/R

е


Обозначение

к 2

К iv> A2V

i

Мь

Mt

т

п

Р

р

Pn

Рдоп

Рразрущ

Я

Яи Яг

R

2. Термины, единицы измерения и обозначения

23

Продолжение

Единица

Термин

измерения

1Квадратичный коэффи­ циент тензочувствительности

Определение и пояснения

Коэффициент пропор­ циональности при ква­ дратичной зависимости между изменением со­ противления тензорезистора и продольной де­ формацией

1Коэффициент тензочувствительности v-ro тензорезистора

ММДлина балки, рабо­ тающей на изгиб; дли­

на кабеля

1

Н • м, Изгибающий момент кгс • мм

Н-м, кгс-мм Крутящий момент

гМасса

Порядковое число; чис­ ло отдельных значений

Доверительная вероят­ ность

кгс/см2 Давление

кгс/см2 Номинальное значение давления

Значение измеряемого давления, при котором сохраняются гаранти­ руемые пределы погреш­ ности

кгс/см2 Предельно допустимое значение давления

кгс/см2

Значение разрушаю­

 

щего давления

Доверительный интер­ вал

Постоянные коэффици­ енты

Наибольшее допустимое значение давления, при воздействии которого еще не наблюдается ос­ таточных изменений в ИП давления

Значение давления, при воздействии которого наступает механическое разрушение ИП давле­ ния

Ом

Электрическое сопро­

 

тивление


24

Обозначение

* 4

Ra

Ra

^ В

Rtp

Ro

ДУ^тр

Re

R t

Ri, Ru, Ra

R h3

Rp

2. Термины, единицы измерения и обозначения

 

 

Продолжение

Единица

Термин

 

измерения

Определение и пояснения

Ом

Сопротивление нагруз­

 

ки

Ом

Выходное сопротивле­

 

ние прибора

Сопротивление, на кото­ рое замкнуты измерительные клеммы мостовой схемы, ИП или вы­ ходные клеммы измери­ тельного прибора

Ом

Согласующее сопротив­

Согласующее сопротив­

 

ление

ление,

шунтирующее

мост

Ом

Входное сопротивление

Ом

Сопротивление

тензо-

Ом

резистора

до наклейки

Сопротивление

тензо-

 

резистора

после на­

 

клейки

 

 

Сопротивление на клем­ мах питания моста без

дополнительных сопро­ тивлений:

R B = (R l+ R 2)\\(R3+ R i)

Ом

Изменение

сопротивле­

 

 

 

 

ния тензорезистора в

 

 

 

Ом

результате

наклейки

 

 

 

Входное сопротивление

, Для ИП или мостов с до­

 

 

 

 

полнительными компен­

 

 

 

 

сирующими

сопротивле­

 

 

 

 

ниями и

т.

п. — сопро­

 

 

 

 

тивление на клеммах пи­

 

 

 

 

тания; у измерительных

 

 

 

 

приборов

— сопротив­

 

 

 

 

ление на входных клем­

Ом

 

 

 

мах

 

 

Терморезистор

 

 

 

 

Ом

Внутреннее

сопротив­

Сопротивление на изме­

 

ление

 

 

рительных клеммах ИП

 

 

 

 

или моста с дополни­

 

 

 

 

тельными

 

сопротивле­

Ом

 

 

 

ниями

 

 

Сопротивление

изоля­

 

 

 

 

ции

 

 

 

 

 

Ом

Параллельное

сопро­

 

 

 

тивление (к терморе­ зистору)


 

2. Термины,

единицы измерения и обозначения

25

 

 

 

 

Продолжение

Обозначение

Единица

Термин

Определение и пояснения

измерения

^доб

^согл

RZB

^ZV ^Z2

RlO, ^20>

Rio, Rw

Ri, R2, Ri, Ri r

rv

s

Si, s2

T

Ta

U

UA

Ом

Ом

Ом

Ом

Ом

Ом

ММ

к

к

в

мВ

Добавочное сопротивление моста для ком­ пенсации

Сопротивление в мосте для регулировки его выходного сопротивле­ ния

Сопротивление в мосте для регулировки чув­ ствительности

Сопротивление в мосте для регулировки нуля

Сопротивление плеч моста при отсутствии воздействия измеряе­ мой величины

Сопротивление плеч одинарного моста

Радиус

Относительное изменение сопротивления, от­ несенное к начальному сопротивлению Rvo

Среднеквадратическое

отклонение

Линейный и квадра­ тичный коэффициенты пропорциональности между деформацией и силой

Абсолютная температура

Температура при нормальных условиях

Электрическое напряжение

Выходное напряжение

-

Для установки нуля и для компенсации темпе­ ратурной зависимости нуля

ARv

AVO

Т0 = 293 К = 20 °С

Выходное напряжение прибора с полупровод­ никовыми тензорезисторами при нагрузке R a = 1 кОм

26

Обозначение

UA0

U AN

Un

UK

Um

U„,A

UmL

UmN

U то

UsP

2. Термины, единицы измерения и обозначения

Продолжение

Единица

 

Термин

 

Определение и пояснения

измерения

 

 

мВ

Начальное

выходное

Выходное

с

напряжение

 

напряжение

 

 

прибора

полупровод­

 

 

 

 

 

 

никовыми

тензорезисто-

 

 

 

 

 

 

рами при R a =

1

кОм

 

 

 

 

 

 

в

отсутствие

воздей­

 

 

 

 

 

 

ствия измеряемой

 

вели­

 

 

 

 

 

 

чины

 

 

 

 

 

 

мВ

Выходное напряжение

Выходное

напряжение

 

при номинальной изме­

прибора

с полупровод­

 

ряемой величине

 

никовыми

тензорезисто-

 

 

 

 

 

 

рами

при

 

нагрузке

 

 

 

 

 

 

R a 1

кОм

и

 

номи­

 

 

 

 

 

 

нальном

 

воздействии

 

 

 

 

 

 

измеряемой величины

В

Напряжение

питания

Напряжение

 

питания,

 

моста

 

 

 

которое

непосредствен­

 

 

 

 

 

 

но подается на мост

мВ

Компенсирующее

на­

Постоянное

напряжение

 

пряжение

 

 

 

для компенсации сдвига

 

 

 

 

 

 

нуля или заданного ос­

 

 

 

 

 

 

новного отклонения

мВ

Измеряемое

напряже­

Напряжение на измери­

 

ние

 

 

 

 

тельной диагонали мо­

 

 

 

 

 

 

ста

 

 

 

 

 

 

 

мВ

Измеряемое

напряже­

Измеряемое напряжение

 

ние

при

нагрузке

в

при

 

нагружении

1

моста

 

1 кОм

 

 

 

или ИП на Р а =

кОм

мВ

Выходное

напряжение

Напряжение

при

 

нена-

 

несбалансированного

груженном

мосте

или

 

моста

 

 

 

ИП

 

 

 

 

 

 

 

мВ

Измеряемое

напряже­

Измеряемое напряжение

 

ние

при

номинальной

при

 

номинальном

воз­

 

величине изменения па­

действии измеряемой ве­

 

раметра

 

 

 

личины на ИП и при

 

 

 

 

 

 

нормальном

 

напряже­

 

 

 

 

 

 

нии питания

 

 

 

 

мВ

Начальное

 

выходное

Измеряемое напряжение

 

напряжение

 

 

в

отсутствие

воздей­

 

 

 

 

 

 

ствия

измеряемой

 

вели­

 

 

 

 

 

 

чины на ИП

 

 

 

 

В

Напряжение

питания

Напряжение

 

на

 

клем­

 

ИП

 

 

 

 

мах

 

питания

ИП

или

 

 

 

 

 

 

моста

с

дополнитель­

 

 

 

 

 

 

ными сопротивлениями


Обозначение

u sp

USpN

Wmo

V

X

X

Xi

У

y N

z

Zio

a

°изм

a Si

2. Термины,

единицы измерения и обозначения

27

 

 

 

Продолжение

Единица

Термин

Определение и пояснения

измерения

вНапряжение питания ИП, подключенного к прибору

вНапряжение питания в нормальных условиях

мВ

Температурный дрейф

 

нуля измерительного

 

моста

1Разбаланс моста Координата

Независимая перемен­ ная

t-e измеряемое значение

Зависимая переменная

ммНоминальный прогиб балки, работающей на изгиб

Отношение сопротив­ лений (эквивалентное сопротивление)

Отношение сопротив­ лений при сбалансиро­ ванных сопротивлениях плеч моста

Постоянный коэффици­ ент (с индексом)

.Линейный коэффици­ ент теплового расшире­ ния объекта измерения

Линейный коэффици­ ент теплового расшире­ ния кремния

Напряжение на клем­ мах питания прибора с полупроводниковыми тензорезисторами

Напряжение питания ИП, требуемое для того, чтобы при номи­ нальном отклонении по­ лучить UrnN — 100 мВ

 

*1

 

1

/ ? ! + / ? * •

2

Ri + R 2 ’

3

Rз

 

Rs +

R i ’

4

R3 +

Я4