Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 61

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

28 2. Термины, единицы измерения и обозначения

 

 

 

Продолжение

Обозначение

Единица

Термин

Определение и пояснения

измерения

а ст

a R

Р

V

Yi

Л

А

6

б

е

ео

рад град-1

град -1

град-1

град -1

%

%

%

Линейный коэффици­ ент теплового расши­ рения стали

Результирующий коэф­ фициент теплового рас­ ширения

Угол

Температурный коэф­ фициент сопротивления

Температурный коэф­ фициент сопротивления неприклеенного полу­ проводникового тензорезистора

a R ==a c T - a Si

6R/R

Y 60

Температурный коэф­ фициент полупровод­ никового тензорезистора, покрытого эпоксид­ ной смолой

Температурный коэф­ фициент полупроводни­ кового тензорезистора, приклеенного к стали эпоксидной смолой

Малое изменение (не зависящее от темпера­ туры)

Отклонение величины от заданного значения

Изменение, зависящее от температуры

Удельный угол скручи­ вания при кручении

Деформация, относи­ тельное изменение дли­ ны

Деформация тензоре­ зистора после наклейки

Деформация при номи­ нальной нагрузке

Удлинение твердого те­ ла на А1, отнесенное к его первоначальной дли­ не 1: е = М/1

Обозначение

Еа

Вф

El, II

■п

0

е*

XI

Я

И

V

V

1(0, V)

1макс

0

а, оп

ав

2. Термины,

единицы измерения и обозначения

29

 

 

 

 

 

 

 

Продолжение

Единица

Термин

 

 

Определение и пояснения

измерения

 

 

%

Деформация

в

нор­

 

 

 

мальном

направлении

 

 

 

при одноосном механи­

 

 

 

ческом напряжении

 

 

 

%

Деформация

под

уг­

 

 

 

лом ср

 

 

 

 

 

 

%

Главная деформация в

 

 

 

направлениях I,

II

 

 

 

град-1

Температурный

коэф­

 

 

 

фициент

модуля

упру­

 

 

 

гости

 

 

 

 

 

 

град

Температура

в

граду­

 

 

 

сах Цельсия

 

 

 

 

 

 

Коэффициент

затуха­

 

 

 

ния

 

 

 

 

 

 

град-1

Температурный

коэф­

 

бКг1Кг

 

фициент

коэффициента

 

60

 

тензочувствительности

 

 

 

Кг

 

 

 

 

 

 

 

Коэффициент

пропор­

 

 

 

циональности

 

 

 

 

 

 

Истинное

значение

из­

 

 

 

меряемой величины

 

 

 

 

Текущий индекс

 

 

 

 

 

Коэффициент Пуассона

v = (E/2G) — 1

ММПеремещение, сдвиг, амплитуда колебаний

ммНоминальное переме­ Измеряемое перемеще­ щение (у ИП переме­ ние, в пределах кото­

 

щений)

рого выдерживается га­

 

 

рантированная погреш­

 

 

ность ИП. Рассчиты­

 

 

вается от нулевой точки

мм

Измеряемое

перемеще­

ние от 0 до ограничи­ теля

Среднеквадратическое отклонение генераль­ ной совокупности

Н -М -2 Нормальное напряже­ ние

н - м - 2 Предел прочности


30

2. Термины, единицы измерения и обозначения

 

 

 

Продолжение

Обозначение

Единица

Термин

Определение и пояснения

измерения

Н - м - 2 Предел текучести

тН - м - 2 Сдвиговое напряжение

ф

рад

Угол поворота

 

•ф

рад

Угол скольжения

 

(0

С-1

Угловая частота

(0 = 2яf


3. ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ

В технике измерений неэлектрических величин электриче­ скими методами широко распространены измерения статических и статико-динамических процессов. Для измерения статических величин характерно постоянное повышение требований к точно­ сти измерений; так, например, в динамометрии часто уже тре­ буется класс точности 0,1 и выше. Поскольку повышение точно­ сти измерений связано со значительными затратами, необходи­ мы строгие определения допустимой погрешности. Эти вопросы будут рассмотрены в последующих разделах.

При анализе погрешностей измерения необходимо различать систематические и случайные погрешности. Систематические по­ грешности возникают в результате контролируемых причин; за­ висимость между причиной и следствием определяется однознач­ ной функциональной связью. В принципе систематическую погрешность можно устранить путем введения поправки, поль­ зуясь следующей формулой:

Измеренное значение -f- Поправка = Истинное значение.

Случайные погрешности возникают нерегулярно в результате неконтролируемых причин; для их математической оценки и описания можно использовать только статистические методы, и введение поправки здесь принципиально невозможно.

3.1.Количественная оценка погрешностей

идопустимые погрешности

Количественная оценка случайных погрешностей произво­ дится на основании следующих положений [1, 2].

Если некоторое измерение п раз повторяется с помощью од­ ного и того же прибора при совершенно одинаковых условиях эксперимента и для измеряемой величины при этом получаются значения Хг, то результатом измерений обычно считается сред­ неарифметическое значение

П

 

x = ~ ^ x t .

(3.1)

i= 1

Среднеквадратическое отклонение отдельных измерений от их среднеарифметического значения (среднеквадратическая

32

S. Погрешности измерений

погрешность отдельного измерения) образует среднеквадратиче­ ское отклонение выборки (эмпирическое среднеквадратическое отклонение)

/ d r i ' (Xi — X)2 .

(3.2)

г= 1

 

При достаточно большом количестве отдельных измерений сред­ неквадратическое отклонение s приближается к величине, кото­ рая называется среднеквадратическим отклонением а генераль­ ной совокупности.

Доверительная вероятность Р указывает, какой процент от очень большого числа результатов измерений можно ожидать найти внутри определенной области около среднего значения, например внутри области х ± 1 ,0 а . В случае нормального за­ кона распределения 1000 независимых результатов измерений в среднем распределяются по областям следующим образом:

683

внутри области

 

х ±

1,0а

 

(доверительная

вероятность

Р — 68,3%)

954

внутри области

 

х ±

2,0<т

 

(доверительная

вероятность

Р =

95,4%)

997

внутри области

 

х ±

3,0а

 

(доверительная

вероятность

Р== 99,73%)

Для экспериментальной оценки среднеквадратического откло­ нения а генеральной совокупности необходимо сначала на основе по меньшей мере 100 отдельных измерений рассчитать средне­ квадратическое отклонение выборки s. Чем больше проведено отдельных измерений, тем ближе будет рассчитанное значение s к среднеквадратическому отклонению а генеральной совокуп­ ности.

Полученное в результате ряда измерений среднее значение х не соответствует «истинному значению» ц измеряемой величины. Однако можно указать границы по обе стороны от х, внутри которых можно ожидать найти истинное значение. Такая дове­ рительная область (или доверительный интервал) q определяет­ ся через известное среднеквадратическое отклонение о генераль­ ной совокупности следующим образом:

<7а =

, 1,96а

Q 1,9бо

Y H

при доверительной вероятности Р—68,3%,

(3.3)

при доверительной вероятности Р—95%,

(3.4)

За

Язо при доверительной вероятности Р =99,73%. (3.5)

V


3.1. Количественная оценка погрешностей '

33

Если среднеквадратическое отклонение о генеральной сово­ купности неизвестно, доверительная область определяется по формуле

t

(3.6)

Qs Y п S,

где t — величина, зависящая от выбранной доверительной ве­ роятности Р и числа п отдельных измерений. Так, например:

 

 

 

Р — 68,3%

при п =

10

/ =

1,06

при

гг =

100

t — 1,00

при

п >

200

t =

1,0

Р = 95 %

Р =

99,73%

t — 2,3

/ =

4,1

t = 2,0

t =

3,1

t — 1,96

/ =

3,0

Окончательный результат измерений можно тогда предста­ вить как

х ± —L- s.

(3.7)

Yn

 

Для пояснения рассмотренных понятий предположим, что из­ мерительным прибором, систематическая погрешность которого может быть учтена и скорректирована, проведено последова­ тельное десятикратное измерение перемещения при одинаковых условиях эксперимента. Пусть при этом получены отдельные из­ меренные значения (с коррекцией систематической погрешно­ сти) :

Измерение

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

•Перемещение, мм 10,02 10,03 9,99 10,01 9,99 9,97 10,02 10,00 10,04 10,01

Среднее значение тогда равно

10

10,008 мм,

i=l

а среднеквадратическое отклонение

: =

10’008)2= ± 0,021 мм.

 

i=l

Доверительный интервал при доверительной вероятности 95% получается равным

qs — ± -р==- X 0,021 мм = ± 0 ,0 1 5 мм.

Наконец, результат измерения выражается в виде

| = 10,008 мм ± 0,015 мм.

2 Зак. 845


34 3. Погрешности измерений

Если результат измерения является функцией одной или не­ скольких измеряемых величин, то погрешность определяется на основе закона суммирования погрешностей. Этот закон не оди­ наков для систематических и случайных погрешностей.

Если измеряемая величина у является функцией

величин

Хь х2, • • •, xv, которые измерены с достаточно малыми

погреш­

ностями Длгь Ах2, ... , Дху, то систематическая погрешность Ау определяется как сумма погрешностей отдельно измеряемых ве­ личин (частных погрешностей):

V

В случае когда у является функцией одной-единственной вели­ чины х, закон суммирования погрешностей упрощается и при­ нимает вид

Ау = ^ А х .

(3.9)

Для случайной погрешности среднеквадратическое отклоне­

ние, т.

е. средняя погрешность Ду результата измерений у —

= F (xu

Х2 ,

xv), рассчитывается из среднеквадратических

отклонений Si, s2, . . . , sv последовательности независимых из­ меряемых величин Х\, х2, .. , xv, причем Si, s2, . . . , sv опреде­ ляются из рядов измерений с одинаковым числом измеренных значений в ряду:

ky = sy (для Si < xt). (3.10)

Если же известны среднеквадратические отклонения аггене­ ральных совокупностей, то в формуле (3.10) sv и s, заменяются на ау и Oi соответственно. Например, для линейной функции

y = a lxl + a2x2+ . . . + a vx:v

(3.11)

среднеквадратическое отклонение sy результата измерений у запишется в виде

sy= V (а д )2 + (а д )2 + • • • + (avsv)2.

(3.12)

В предельной погрешности измерений, которая задается для приборов или методов измерения, частично содержатся система­ тические погрешности (например, погрешность частотной ха­ рактеристики, погрешность от искажений формы питающего на­ пряжения, погрешность нелинейности, погрешность утечки, тем­ пературная погрешность), частично же погрешности, причины которых или направления действия неизвестны для каждого эк­