Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 61
Скачиваний: 0
28 2. Термины, единицы измерения и обозначения
|
|
|
Продолжение |
Обозначение |
Единица |
Термин |
Определение и пояснения |
измерения |
а ст
a R
Р
V
Yi
Л
А
6
б
е
ео
рад град-1
град -1
град-1
град -1
%
%
%
Линейный коэффици ент теплового расши рения стали
Результирующий коэф фициент теплового рас ширения
Угол
Температурный коэф фициент сопротивления
Температурный коэф фициент сопротивления неприклеенного полу проводникового тензорезистора
a R ==a c T - a Si
6R/R
Y 60
Температурный коэф фициент полупровод никового тензорезистора, покрытого эпоксид ной смолой
Температурный коэф фициент полупроводни кового тензорезистора, приклеенного к стали эпоксидной смолой
Малое изменение (не зависящее от темпера туры)
Отклонение величины от заданного значения
Изменение, зависящее от температуры
Удельный угол скручи вания при кручении
Деформация, относи тельное изменение дли ны
Деформация тензоре зистора после наклейки
Деформация при номи нальной нагрузке
Удлинение твердого те ла на А1, отнесенное к его первоначальной дли не 1: е = М/1
Обозначение
Еа
Вф
El, II
■п
0
е*
XI
Я
И
V
V
1(0, V)
1макс
0
а, оп
ав
2. Термины, |
единицы измерения и обозначения |
29 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Продолжение |
Единица |
Термин |
|
|
Определение и пояснения |
|||
измерения |
|
|
|||||
% |
Деформация |
в |
нор |
|
|
||
|
мальном |
направлении |
|
|
|||
|
при одноосном механи |
|
|
||||
|
ческом напряжении |
|
|
|
|||
% |
Деформация |
под |
уг |
|
|
||
|
лом ср |
|
|
|
|
|
|
% |
Главная деформация в |
|
|
||||
|
направлениях I, |
II |
|
|
|
||
град-1 |
Температурный |
коэф |
|
|
|||
|
фициент |
модуля |
упру |
|
|
||
|
гости |
|
|
|
|
|
|
град |
Температура |
в |
граду |
|
|
||
|
сах Цельсия |
|
|
|
|
|
|
|
Коэффициент |
затуха |
|
|
|||
|
ния |
|
|
|
|
|
|
град-1 |
Температурный |
коэф |
|
бКг1Кг |
|||
|
фициент |
коэффициента |
|
60 |
|||
|
тензочувствительности |
|
|
||||
|
Кг |
|
|
|
|
|
|
|
Коэффициент |
пропор |
|
|
|||
|
циональности |
|
|
|
|
|
|
|
Истинное |
значение |
из |
|
|
||
|
меряемой величины |
|
|
|
|||
|
Текущий индекс |
|
|
|
|
||
|
Коэффициент Пуассона |
v = (E/2G) — 1 |
ММПеремещение, сдвиг, амплитуда колебаний
ммНоминальное переме Измеряемое перемеще щение (у ИП переме ние, в пределах кото
|
щений) |
рого выдерживается га |
|
|
рантированная погреш |
|
|
ность ИП. Рассчиты |
|
|
вается от нулевой точки |
мм |
Измеряемое |
перемеще |
ние от 0 до ограничи теля
Среднеквадратическое отклонение генераль ной совокупности
Н -М -2 Нормальное напряже ние
н - м - 2 Предел прочности
30 |
2. Термины, единицы измерения и обозначения |
||
|
|
|
Продолжение |
Обозначение |
Единица |
Термин |
Определение и пояснения |
измерения |
Н - м - 2 Предел текучести
тН - м - 2 Сдвиговое напряжение
ф |
рад |
Угол поворота |
|
•ф |
рад |
Угол скольжения |
|
(0 |
С-1 |
Угловая частота |
(0 = 2яf |
3. ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ
В технике измерений неэлектрических величин электриче скими методами широко распространены измерения статических и статико-динамических процессов. Для измерения статических величин характерно постоянное повышение требований к точно сти измерений; так, например, в динамометрии часто уже тре буется класс точности 0,1 и выше. Поскольку повышение точно сти измерений связано со значительными затратами, необходи мы строгие определения допустимой погрешности. Эти вопросы будут рассмотрены в последующих разделах.
При анализе погрешностей измерения необходимо различать систематические и случайные погрешности. Систематические по грешности возникают в результате контролируемых причин; за висимость между причиной и следствием определяется однознач ной функциональной связью. В принципе систематическую погрешность можно устранить путем введения поправки, поль зуясь следующей формулой:
Измеренное значение -f- Поправка = Истинное значение.
Случайные погрешности возникают нерегулярно в результате неконтролируемых причин; для их математической оценки и описания можно использовать только статистические методы, и введение поправки здесь принципиально невозможно.
3.1.Количественная оценка погрешностей
идопустимые погрешности
Количественная оценка случайных погрешностей произво дится на основании следующих положений [1, 2].
Если некоторое измерение п раз повторяется с помощью од ного и того же прибора при совершенно одинаковых условиях эксперимента и для измеряемой величины при этом получаются значения Хг, то результатом измерений обычно считается сред неарифметическое значение
П |
|
x = ~ ^ x t . |
(3.1) |
i= 1
Среднеквадратическое отклонение отдельных измерений от их среднеарифметического значения (среднеквадратическая
32 |
S. Погрешности измерений |
погрешность отдельного измерения) образует среднеквадратиче ское отклонение выборки (эмпирическое среднеквадратическое отклонение)
/ d r i ' (Xi — X)2 . |
(3.2) |
г= 1 |
|
При достаточно большом количестве отдельных измерений сред неквадратическое отклонение s приближается к величине, кото рая называется среднеквадратическим отклонением а генераль ной совокупности.
Доверительная вероятность Р указывает, какой процент от очень большого числа результатов измерений можно ожидать найти внутри определенной области около среднего значения, например внутри области х ± 1 ,0 а . В случае нормального за кона распределения 1000 независимых результатов измерений в среднем распределяются по областям следующим образом:
683 |
внутри области |
|
х ± |
1,0а |
|
(доверительная |
вероятность |
Р — 68,3%) |
|
954 |
внутри области |
|
х ± |
2,0<т |
|
(доверительная |
вероятность |
Р = |
95,4%) |
997 |
внутри области |
|
х ± |
3,0а |
|
(доверительная |
вероятность |
Р== 99,73%) |
Для экспериментальной оценки среднеквадратического откло нения а генеральной совокупности необходимо сначала на основе по меньшей мере 100 отдельных измерений рассчитать средне квадратическое отклонение выборки s. Чем больше проведено отдельных измерений, тем ближе будет рассчитанное значение s к среднеквадратическому отклонению а генеральной совокуп ности.
Полученное в результате ряда измерений среднее значение х не соответствует «истинному значению» ц измеряемой величины. Однако можно указать границы по обе стороны от х, внутри которых можно ожидать найти истинное значение. Такая дове рительная область (или доверительный интервал) q определяет ся через известное среднеквадратическое отклонение о генераль ной совокупности следующим образом:
<7а =
, 1,96а
Q 1,9бо |
Y H |
при доверительной вероятности Р—68,3%, |
(3.3) |
при доверительной вероятности Р—95%, |
(3.4) |
За
Язо — при доверительной вероятности Р =99,73%. (3.5)
V
3.1. Количественная оценка погрешностей ' |
33 |
Если среднеквадратическое отклонение о генеральной сово купности неизвестно, доверительная область определяется по формуле
t |
(3.6) |
Qs Y п S, |
где t — величина, зависящая от выбранной доверительной ве роятности Р и числа п отдельных измерений. Так, например:
|
|
|
Р — 68,3% |
|
при п = |
10 |
/ = |
1,06 |
|
при |
гг = |
100 |
t — 1,00 |
|
при |
п > |
200 |
t = |
1,0 |
Р = 95 % |
Р = |
99,73% |
t — 2,3 |
/ = |
4,1 |
t = 2,0 |
t = |
3,1 |
t — 1,96 |
/ = |
3,0 |
Окончательный результат измерений можно тогда предста вить как
х ± —L- s. |
(3.7) |
Yn |
|
Для пояснения рассмотренных понятий предположим, что из мерительным прибором, систематическая погрешность которого может быть учтена и скорректирована, проведено последова тельное десятикратное измерение перемещения при одинаковых условиях эксперимента. Пусть при этом получены отдельные из меренные значения (с коррекцией систематической погрешно сти) :
Измерение |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
•Перемещение, мм 10,02 10,03 9,99 10,01 9,99 9,97 10,02 10,00 10,04 10,01
Среднее значение тогда равно
10
10,008 мм,
i=l
а среднеквадратическое отклонение
: = |
10’008)2= ± 0,021 мм. |
|
i=l |
Доверительный интервал при доверительной вероятности 95% получается равным
qs — ± -р==- X 0,021 мм = ± 0 ,0 1 5 мм.
Наконец, результат измерения выражается в виде
| = 10,008 мм ± 0,015 мм.
2 Зак. 845
34 3. Погрешности измерений
Если результат измерения является функцией одной или не скольких измеряемых величин, то погрешность определяется на основе закона суммирования погрешностей. Этот закон не оди наков для систематических и случайных погрешностей.
Если измеряемая величина у является функцией |
величин |
Хь х2, • • •, xv, которые измерены с достаточно малыми |
погреш |
ностями Длгь Ах2, ... , Дху, то систематическая погрешность Ау определяется как сумма погрешностей отдельно измеряемых ве личин (частных погрешностей):
V
В случае когда у является функцией одной-единственной вели чины х, закон суммирования погрешностей упрощается и при нимает вид
Ау = ^ А х . |
(3.9) |
Для случайной погрешности среднеквадратическое отклоне
ние, т. |
е. средняя погрешность Ду результата измерений у — |
|
= F (xu |
Х2 , |
xv), рассчитывается из среднеквадратических |
отклонений Si, s2, . . . , sv последовательности независимых из меряемых величин Х\, х2, .. , xv, причем Si, s2, . . . , sv опреде ляются из рядов измерений с одинаковым числом измеренных значений в ряду:
ky = sy (для Si < xt). (3.10)
Если же известны среднеквадратические отклонения аггене ральных совокупностей, то в формуле (3.10) sv и s, заменяются на ау и Oi соответственно. Например, для линейной функции
y = a lxl + a2x2+ . . . + a vx:v |
(3.11) |
среднеквадратическое отклонение sy результата измерений у запишется в виде
sy= V (а д )2 + (а д )2 + • • • + (avsv)2. |
(3.12) |
В предельной погрешности измерений, которая задается для приборов или методов измерения, частично содержатся система тические погрешности (например, погрешность частотной ха рактеристики, погрешность от искажений формы питающего на пряжения, погрешность нелинейности, погрешность утечки, тем пературная погрешность), частично же погрешности, причины которых или направления действия неизвестны для каждого эк