Файл: Сухвало, С. В. Структура и свойства магнитных пленок железо-никель-кобальтовых сплавов.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 85
Скачиваний: 0
взаимосвязь с термодинамическим пересыщением, им,и ооус-
‘ ловленным.
Температура подложки и степень переохлаждения. Темпе ратура подложки непосредственно связана со степенью пере охлаждения при кристаллизации. Поскольку различие между температурой плавления в равновесных условиях и темпера турой подложки бывает обычно значительным, то рассматри ваемый параметр в термодинамическом отношении имеет
важнейшее значение.
Температура кристаллизации пленок. Совпадение темпе ратуры подложки с температурой фронта кристаллизации зависит от многих причин, однако в наибольшей мере от харак тера отвода скрытой теплоты кристаллизации. Следует пола^ гать, что ввиду незначительного объема пленки и сильно раз витой по сравнению с объемом поверхностью, способной рас сеивать тепло, условия теплоотвода в данном случае весьма благоприятны. Естественным направлением наиболее интен сивного теплоотвода от поверхности пленки является направ ление падения пучка пара. Этот факт в известной мере под твержден теоретическими расчетами и рядом эксперименталь ных результатов.
В общем случае для нахождения температуры фронта кри сталлизации решается задача теплопроводности согласно
уравнению [9, |
10] |
|
|
dt |
( 1.7) |
|
dt2 |
|
где t — время; |
£ — коэффициент температуропроводности. |
При этом учитываются теплопроводность подложжи и кри сталлизующейся пленки, их геометрические размеры, свойст ва исходных фаз вблизи поверхности фазового раздела и дру гие условия теплоотвода.
В работе [10] для жидкой пленки железа на медной под ложке найдено следующее уравнение, описывающее измене
ние температуры жидкого слоя: |
|
Т = Тв + (Тж- Тп) ехр ( - М Д |
(1.8) |
VpCpd } |
|
где Тп — начальная температура подложки; Тт — начальная температура жидкого слоя; р — плотность; d — толщина; ср — теплоемкость. Второе слагаемое в выражении (1.8) соот ветствует повышению температуры фронта кристаллизации сверх значений, заданных температурой подложки. Подобное повышение может быть обусловлено скрытой теплотой пре вращения, повышенной тепловой энергией молекул или ато мов, поступающих к фронту кристаллизации, и другими фак торами.
15
При введении некоторых упрощающих допущений повыше ние температуры подложки за счет теплоты превращения оце-' нено в [9] с помощью следующего приближенного соотно шения:
ATL = — |
vL |
|
cv JL |
||
М |
||
|
dp |
где v — линейная скорость роста кристалла; М — молекуляр ный вес; L — теплота плавления; с — теплоемкость; %— ко эффициент теплопроводности; р — плотность материала плен
ки; d — толщина жидкого слоя. При толщине |
мкм и |
£.'= 0,14 мкм/сек ДГ^лЛО-4 град. |
|
Заметим, что были предприняты многочисленные попытки экспериментального определения температуры на фронте кри сталлизации или ощутимого повышения температуры подлож ки вследствие выделения скрытой теплоты превращения [11— 14]. Все эти попытки оказались безуспешными, частично, повидимому, из-за экспериментальных трудностей.
Наиболее перспективным для указанных целей может быть признан метод, основанный на измерении ослабления тепловых волн на границе кристаллической фазы [12].
Особый интерес представляет оценка времени, необходи мого для отвода скрытой теплоты кристаллизации при затвер девании слоя металла различной толщины [15]. Согласно по лученным данным [15], это время, например, для толщины слоя металла около 0,01 см на металлической подложке со ставляет 10~5—10-4 сек. Характерно, что затвердевание слоя с аналогичными параметрами происходит за более продолжи тельное время [16]. Подобная информация содержится также в [17]. Из этого следует, что в тонких пленках теплота кри сталлизации отводится настолько быстро [15, 17], что не успе вает разогреть участвующие в превращении фазы. По-видимо му, именно такого рода эффект лежит в основе неудач опреде ления изменения температуры подложки вследствие влияния скрытой теплоты кристаллизации в ^гонких пленках или их разогрева под действием падающих атомов пара. Естественно, для пленок на подложках с плохой теплопроводностью в усло виях вакуума скорость отвода тепла может быть снижена. Однако, несмотря на это, тепловой режим на фронте кристал лизации пленок будет определяться в основном постоянно поддерживаемой температурой подложки. Любой избыток теп лоты, подводимой каким-либо образом к пленке, будет, оче видно, мгновенно рассеиваться, если ее источник не стационарный. Как будет показано, большое значение в этом случае имеет чрезвычайно высокая скорость охлаждения пле нок небольших толщин.
Отмеченное выше позволяет считать, что температура под ложки хотя бы в первом приближении должна соответство вать температуре кристаллизации пленок.
Температура плавления тонких пленок. Для оценки пере охлаждения при кристаллизации, определяемого приблизи тельно как разность между температурами плавления ТПЛ и подложки Та, необходимо знание Гпл. Исходя из общих сооб ражений, следует принять, что температура плавления тонких пленок закономерным образом отличается от Гпл соответст вующего сплава в равновесных условиях. Проанализируем возможные факторы, снижающие температуру плавления ве щества в тонких пленках.
Согласно уравнению Гиббса—Томсона |
|
|
|||
Ts = Гпл ехр |
2оМ |
= Т„ |
2оМ |
(1.9) |
|
Lrp |
Lrp |
||||
|
|
|
|||
или в виде |
АТ _ |
2оМ |
|
|
|
|
|
( 1. 10) |
|||
|
|
|
|
Ф ’
точка плавления вещества должна понижаться с уменьшени ем его объема. В уравнениях (1.9) и (1.10) Ts — температура плавления вещества в малых объемах; о —1поверхностная энергия; М — молекулярный вес; р — плотность; L — теплота плавления; г — радиус кристалла сферической формы; Гпл — температура плавления вещества в макрообъеме. Заметим, что в рассматриваемом случае в отношении Гпл и Ts имеются в виду равновесные условия, т. е. предполагается плавление при медленном изменении температуры. Далее будет показа но, что Ts изменяется также и вследствие неравновесное™ условий кристаллизации.
Полученные из уравнения (1.9) расчетные данные для не которых веществ приведены в табл. 1 [3]. Ожидаемые большие понижения температуры плавления с уменьшением объема вещества многократно подтверждены эксперимен тально [18—21]. На каплях никеля диаметром 100—250 мкм подобное снижение достигает 470 град [22]. Для железа по лученное снижение Гпл больше 300 град [23]. Приведенные значения, по-видимому, не предельны. При кристаллизации пленок металлов из паровой фазы ввиду крайне малых объ емов возможно весьма значительное, практически предельное снижение Гпл [24].
Скорость охлаждения вещества в пленках. Эксперимен тально установлена [10, 15, 25] весьма—*ысокдя_^скорлсть охлаждения жидких пленок металлов.иг^лШ оф :. р а б о т е
2. С. В. Сухвало |
17 |
Т а б л и ц а 1
Изменение температуры плавления Тпл (°К) кристаллов в зависимости от их объема (радиуса}*
Калий (Гпл=330) Серебро (7’пл=1233) Платина (Гпл=2046)
о |
|
|
г, А |
тг, °К |
АТ, град |
|
||
200 |
50 |
286 |
300 |
164 |
192 |
400 |
193 |
143 |
500 |
222 |
114 |
1000 |
279 |
57 |
о .V
593
800
910
973
1110
АТ, град |
тг, °к |
АТ, град |
640 |
907 |
1230 |
433 |
1226 |
820 |
323 |
1431 |
615 |
260 |
1556 |
490 |
123 |
1801 |
245 |
* Тпл— нормальная (равновесная) температура плавления; Тг — темпе ратура плавления кристалла с радиусом г.
[10] найдена зависимость скорости охлаждения от толщины жидкой пленки железа на медной подложке
vx — ad~b, |
(1.11) |
где а — коэффициент пропорциональности; |
b — показатель |
степени, равный 2 в случае идеального контакта жидкости на границе с подложкой и 1 при неполном контакте с подложкой. Некоторые результаты представлены в табл. 2. Приведенные данные свидетельствуют о сверхвысоких скоростях охлажде ния в диапазоне толщин пленок 10-4—10-5 см даже при пло хом контакте подложки и пленки. В тончайшие пленках ско рость охлаждения максимальна. Подобные скорости охлаж дения практически не достижимы при самой тщательной закалке массивных образцов.
Предельно возможные скорости охлаждения в пленках за висят не только от их объема, но и от соотношения темпера туры плавления, материала, теплоемкости пленки и подложки, а также некоторых других факторов.
Увеличение скорости охлаждения отражается, с одной сто роны, на снижении температуры плавления пленок, с другой— на снижении предельной температуры затвердевания жидкой фазы. Физический аспект влияния сверхвысокой скорости охлаждения на температуру плавления связан с изменением разности энтропии смешения (упорядочения) AS жидкой и твердой фаз. При сверхвысоких скоростях охлаждения ука занная разность будет минимальной из-за недостаточной упо рядоченности возникающей кристаллической фазы. Подобная ситуация, как известно, благоприятствует плавлению при по ниженных температурах.
18
d, см
ю - 1 1 0 - 2 1 0 - 3 1 0 - 4 I Q " 6
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а 2 |
Зависимость скорости охлаждения пленок железа |
||||||||
|
на медной подложке от их толщины d [10]* |
|
||||||
|
Скорость охлаждения (град/сек) при контакте с подложкой |
|||||||
идеальном |
|
плохом при |
|
промежуточном при |
||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
( s = ° ° ) |
li • |
о |
|
s = i |
|
|= 1 0 0 0 |
1=100 |
|
|
мл |
|
|
||||
8 , Ы 0 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
, М О 5 |
0 , 3 - 1 0 ° |
|
5 . 8 - |
Ю 4 |
8 , 1 - 1 0 ° |
7 , 2 - 105 |
|
8 |
, 1 - 1 0 7 |
5 . 8 - |
|
10° |
6 , 9 • 105 |
|
7 , 2 - 107 |
3 - 1 0 7 |
8 |
, М О 9 |
6 . 9 - |
|
107 |
6 . 9 - |
10° |
3 - 1 0 9 |
5 , 8 - Ю 8 |
8 |
, 1 - 10 й |
|
|
|
|
|
|
|
* £ — коэффициент температуропроводности (кал/см2-сек2-°С).
Снижение температуры затвердевания жидкой фазы при увеличении скорости охлаждения обусловлено скачкообраз ным уменьшением подвижности атомов вследствие сверх быстрого снижения температуры и, следовательно, временно го подавления зародышеобразования.
Уточним, что разность между температурой плавления пленки и температурой подложки соответствует истинному переохлаждению на поверхности роста пленки АТ. Разность же между температурой плавления пленки и критической температурой затвердевания Тк представляет собой пере охлаждение АТк жидкой фазы при данных условиях кристал лизации. В зависимости от скорости охлаждения изменяются и АТ и АТК.
Переохлаждение жидкой фазы. Предельная температура затвердевания жидкой фазы Тк в пленках является темпера турной координатой, в общем смысле соответствующей так называемой тройной точке, в которой возможно сосущество вание парообразной, жидкой и кристаллической фаз. Так как вокруг равновесной тройной точки существует некоторый тем пературный интервал, обусловленный гистерезисом превра щения в неравновесных условиях, то рассматриваемая нами величина Тк имеет смысл нижней неравновесной тройной точки.
Если в веществе отсутствует полиморфизм, то Тк разделяет диапазон возможных температур кристаллизации пленок из паровой фазы на две области. В первой области — от темпе ратуры плавления Ts до Тк— на подложке может существо вать жидкая фаза. Кристаллизация пленки в этом случае про исходит по законам, в известном смысле аналогичным законам кристаллизации из расплава.
2* |
19 |