Файл: Сухвало, С. В. Структура и свойства магнитных пленок железо-никель-кобальтовых сплавов.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 15.10.2024

Просмотров: 85

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

взаимосвязь с термодинамическим пересыщением, им,и ооус-

‘ ловленным.

Температура подложки и степень переохлаждения. Темпе­ ратура подложки непосредственно связана со степенью пере­ охлаждения при кристаллизации. Поскольку различие между температурой плавления в равновесных условиях и темпера­ турой подложки бывает обычно значительным, то рассматри­ ваемый параметр в термодинамическом отношении имеет

важнейшее значение.

Температура кристаллизации пленок. Совпадение темпе­ ратуры подложки с температурой фронта кристаллизации зависит от многих причин, однако в наибольшей мере от харак­ тера отвода скрытой теплоты кристаллизации. Следует пола^ гать, что ввиду незначительного объема пленки и сильно раз­ витой по сравнению с объемом поверхностью, способной рас­ сеивать тепло, условия теплоотвода в данном случае весьма благоприятны. Естественным направлением наиболее интен­ сивного теплоотвода от поверхности пленки является направ­ ление падения пучка пара. Этот факт в известной мере под­ твержден теоретическими расчетами и рядом эксперименталь­ ных результатов.

В общем случае для нахождения температуры фронта кри­ сталлизации решается задача теплопроводности согласно

уравнению [9,

10]

 

 

dt

( 1.7)

 

dt2

где t — время;

£ — коэффициент температуропроводности.

При этом учитываются теплопроводность подложжи и кри­ сталлизующейся пленки, их геометрические размеры, свойст­ ва исходных фаз вблизи поверхности фазового раздела и дру­ гие условия теплоотвода.

В работе [10] для жидкой пленки железа на медной под­ ложке найдено следующее уравнение, описывающее измене­

ние температуры жидкого слоя:

 

Т = Тв + (Тж- Тп) ехр ( - М Д

(1.8)

VpCpd }

 

где Тп — начальная температура подложки; Тт — начальная температура жидкого слоя; р — плотность; d — толщина; ср — теплоемкость. Второе слагаемое в выражении (1.8) соот­ ветствует повышению температуры фронта кристаллизации сверх значений, заданных температурой подложки. Подобное повышение может быть обусловлено скрытой теплотой пре­ вращения, повышенной тепловой энергией молекул или ато­ мов, поступающих к фронту кристаллизации, и другими фак­ торами.

15


При введении некоторых упрощающих допущений повыше­ ние температуры подложки за счет теплоты превращения оце-' нено в [9] с помощью следующего приближенного соотно­ шения:

ATL = —

vL

cv JL

М

 

dp

где v — линейная скорость роста кристалла; М — молекуляр­ ный вес; L — теплота плавления; с — теплоемкость; %— ко­ эффициент теплопроводности; р — плотность материала плен­

ки; d — толщина жидкого слоя. При толщине

мкм и

£.'= 0,14 мкм/сек ДГ^лЛО-4 град.

 

Заметим, что были предприняты многочисленные попытки экспериментального определения температуры на фронте кри­ сталлизации или ощутимого повышения температуры подлож­ ки вследствие выделения скрытой теплоты превращения [11— 14]. Все эти попытки оказались безуспешными, частично, повидимому, из-за экспериментальных трудностей.

Наиболее перспективным для указанных целей может быть признан метод, основанный на измерении ослабления тепловых волн на границе кристаллической фазы [12].

Особый интерес представляет оценка времени, необходи­ мого для отвода скрытой теплоты кристаллизации при затвер­ девании слоя металла различной толщины [15]. Согласно по­ лученным данным [15], это время, например, для толщины слоя металла около 0,01 см на металлической подложке со­ ставляет 10~5—10-4 сек. Характерно, что затвердевание слоя с аналогичными параметрами происходит за более продолжи­ тельное время [16]. Подобная информация содержится также в [17]. Из этого следует, что в тонких пленках теплота кри­ сталлизации отводится настолько быстро [15, 17], что не успе­ вает разогреть участвующие в превращении фазы. По-видимо­ му, именно такого рода эффект лежит в основе неудач опреде­ ления изменения температуры подложки вследствие влияния скрытой теплоты кристаллизации в ^гонких пленках или их разогрева под действием падающих атомов пара. Естественно, для пленок на подложках с плохой теплопроводностью в усло­ виях вакуума скорость отвода тепла может быть снижена. Однако, несмотря на это, тепловой режим на фронте кристал­ лизации пленок будет определяться в основном постоянно поддерживаемой температурой подложки. Любой избыток теп­ лоты, подводимой каким-либо образом к пленке, будет, оче­ видно, мгновенно рассеиваться, если ее источник не стационарный. Как будет показано, большое значение в этом случае имеет чрезвычайно высокая скорость охлаждения пле­ нок небольших толщин.


Отмеченное выше позволяет считать, что температура под­ ложки хотя бы в первом приближении должна соответство­ вать температуре кристаллизации пленок.

Температура плавления тонких пленок. Для оценки пере­ охлаждения при кристаллизации, определяемого приблизи­ тельно как разность между температурами плавления ТПЛ и подложки Та, необходимо знание Гпл. Исходя из общих сооб­ ражений, следует принять, что температура плавления тонких пленок закономерным образом отличается от Гпл соответст­ вующего сплава в равновесных условиях. Проанализируем возможные факторы, снижающие температуру плавления ве­ щества в тонких пленках.

Согласно уравнению Гиббса—Томсона

 

 

Ts = Гпл ехр

2оМ

= Т„

2оМ

(1.9)

Lrp

Lrp

 

 

 

или в виде

АТ _

2оМ

 

 

 

 

( 1. 10)

 

 

 

 

Ф ’

точка плавления вещества должна понижаться с уменьшени­ ем его объема. В уравнениях (1.9) и (1.10) Ts — температура плавления вещества в малых объемах; о —1поверхностная энергия; М — молекулярный вес; р — плотность; L — теплота плавления; г — радиус кристалла сферической формы; Гпл — температура плавления вещества в макрообъеме. Заметим, что в рассматриваемом случае в отношении Гпл и Ts имеются в виду равновесные условия, т. е. предполагается плавление при медленном изменении температуры. Далее будет показа­ но, что Ts изменяется также и вследствие неравновесное™ условий кристаллизации.

Полученные из уравнения (1.9) расчетные данные для не­ которых веществ приведены в табл. 1 [3]. Ожидаемые большие понижения температуры плавления с уменьшением объема вещества многократно подтверждены эксперимен­ тально [18—21]. На каплях никеля диаметром 100—250 мкм подобное снижение достигает 470 град [22]. Для железа по­ лученное снижение Гпл больше 300 град [23]. Приведенные значения, по-видимому, не предельны. При кристаллизации пленок металлов из паровой фазы ввиду крайне малых объ­ емов возможно весьма значительное, практически предельное снижение Гпл [24].

Скорость охлаждения вещества в пленках. Эксперимен­ тально установлена [10, 15, 25] весьма—*ысокдя_^скорлсть охлаждения жидких пленок металлов.иг^лШ оф :. р а б о т е

2. С. В. Сухвало

17


Т а б л и ц а 1

Изменение температуры плавления Тпл (°К) кристаллов в зависимости от их объема (радиуса}*

Калий (Гпл=330) Серебро (7’пл=1233) Платина (Гпл=2046)

о

 

 

г, А

тг, °К

АТ, град

 

200

50

286

300

164

192

400

193

143

500

222

114

1000

279

57

о .V

593

800

910

973

1110

АТ, град

тг, °к

АТ, град

640

907

1230

433

1226

820

323

1431

615

260

1556

490

123

1801

245

* Тпл— нормальная (равновесная) температура плавления; Тг — темпе­ ратура плавления кристалла с радиусом г.

[10] найдена зависимость скорости охлаждения от толщины жидкой пленки железа на медной подложке

vx — ad~b,

(1.11)

где а — коэффициент пропорциональности;

b — показатель

степени, равный 2 в случае идеального контакта жидкости на границе с подложкой и 1 при неполном контакте с подложкой. Некоторые результаты представлены в табл. 2. Приведенные данные свидетельствуют о сверхвысоких скоростях охлажде­ ния в диапазоне толщин пленок 10-4—10-5 см даже при пло­ хом контакте подложки и пленки. В тончайшие пленках ско­ рость охлаждения максимальна. Подобные скорости охлаж­ дения практически не достижимы при самой тщательной закалке массивных образцов.

Предельно возможные скорости охлаждения в пленках за­ висят не только от их объема, но и от соотношения темпера­ туры плавления, материала, теплоемкости пленки и подложки, а также некоторых других факторов.

Увеличение скорости охлаждения отражается, с одной сто­ роны, на снижении температуры плавления пленок, с другой— на снижении предельной температуры затвердевания жидкой фазы. Физический аспект влияния сверхвысокой скорости охлаждения на температуру плавления связан с изменением разности энтропии смешения (упорядочения) AS жидкой и твердой фаз. При сверхвысоких скоростях охлаждения ука­ занная разность будет минимальной из-за недостаточной упо­ рядоченности возникающей кристаллической фазы. Подобная ситуация, как известно, благоприятствует плавлению при по­ ниженных температурах.

18


d, см

ю - 1 1 0 - 2 1 0 - 3 1 0 - 4 I Q " 6

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а 2

Зависимость скорости охлаждения пленок железа

 

на медной подложке от их толщины d [10]*

 

 

Скорость охлаждения (град/сек) при контакте с подложкой

идеальном

 

плохом при

 

промежуточном при

 

 

 

 

 

 

 

 

( s = ° ° )

li •

о

 

s = i

 

|= 1 0 0 0

1=100

 

 

мл

 

 

8 , Ы 0 3

 

 

 

 

 

 

 

8

, М О 5

0 , 3 - 1 0 °

 

5 . 8 -

Ю 4

8 , 1 - 1 0 °

7 , 2 - 105

8

, 1 - 1 0 7

5 . 8 -

 

10°

6 , 9 • 105

 

7 , 2 - 107

3 - 1 0 7

8

, М О 9

6 . 9 -

 

107

6 . 9 -

10°

3 - 1 0 9

5 , 8 - Ю 8

8

, 1 - 10 й

 

 

 

 

 

 

 

* £ — коэффициент температуропроводности (кал/см2-сек2-°С).

Снижение температуры затвердевания жидкой фазы при увеличении скорости охлаждения обусловлено скачкообраз­ ным уменьшением подвижности атомов вследствие сверх­ быстрого снижения температуры и, следовательно, временно­ го подавления зародышеобразования.

Уточним, что разность между температурой плавления пленки и температурой подложки соответствует истинному переохлаждению на поверхности роста пленки АТ. Разность же между температурой плавления пленки и критической температурой затвердевания Тк представляет собой пере­ охлаждение АТк жидкой фазы при данных условиях кристал­ лизации. В зависимости от скорости охлаждения изменяются и АТ и АТК.

Переохлаждение жидкой фазы. Предельная температура затвердевания жидкой фазы Тк в пленках является темпера­ турной координатой, в общем смысле соответствующей так называемой тройной точке, в которой возможно сосущество­ вание парообразной, жидкой и кристаллической фаз. Так как вокруг равновесной тройной точки существует некоторый тем­ пературный интервал, обусловленный гистерезисом превра­ щения в неравновесных условиях, то рассматриваемая нами величина Тк имеет смысл нижней неравновесной тройной точки.

Если в веществе отсутствует полиморфизм, то Тк разделяет диапазон возможных температур кристаллизации пленок из паровой фазы на две области. В первой области — от темпе­ ратуры плавления Ts до Тк— на подложке может существо­ вать жидкая фаза. Кристаллизация пленки в этом случае про­ исходит по законам, в известном смысле аналогичным законам кристаллизации из расплава.

2*

19