Файл: Сухвало, С. В. Структура и свойства магнитных пленок железо-никель-кобальтовых сплавов.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 132
Скачиваний: 0
У полиморфных веществ превращения модификаций могут совершаться обратимо (энаптиотропно) и необратимо (моиотропно). Подразделение полиморфизма на'обратимые и не-, обратимые превращения иногда затруднительно, так как они зависят от условии, при которых осуществляется изменение состояния. Поэтому любые полиморфные переходы наиболее удобно рассматривать с учетом устойчивости фаз. Далее мы будем иметь в виду главным образом энантнотропные поли морфные переходы.
Полиморфное превращение, как и любое другое фазовое превращение, происходящее в твердом состоянии и являющее ся обратимым, в равновесных условиях должно происходить при вполне определенной температуре. В реальных условиях нагрева или охлаждения превращение совершается не при постоянной температуре, а в некотором интервале температур, которые оказываются выше или ниже равновесной темпера туры. Величина перегрева или переохлаждения относительно равновесной температуры, т. е. величина гистерезиса, зависит от скорости протекания фазового превращения. Чем больше скорость превращения, тем меньше величина гистерезиса.
Обзор экспериментальных и теоретических исследований фазовых аллотропных переходов дан Смолуховскмм [305]. Простейшими превращениями являются обратимые аллотроп ные переходы. Пример таких переходов — полиморфное пре вращение в пленках кобальта и некоторых железо-никель-ко- бальтовых сплавов с гексагональной структурой, происходя щее без изменения химического состава. Ряд теоретических и экспериментальных исследований полиморфизма в железе вы полнен в работах [306, 307].
Тенденция к полиморфизму в тонких пленках получает значительное развитие в связи с высокой степенью структур ной разупорядоченности, обусловливающей существование метастабильных структур и фаз.
По законам термодинамики явление обратимого полимор физма происходит в том случае, когда кривая свободной энер гии низкотемпературной модификации с большей энергией ре шетки в функции температуры пересекает кривую свободной энергии другой кристаллической модификации с меньшей энергией решетки (рис. 48, а). Исходя из определения сво бодной энергии, можно показать, что ее температурный ход для данной модификации (например, а) определяется темпе
ратурной зависимостью теплоемкости: |
|
|
т |
|||
т |
т |
|
J |
dT |
||
- Е „ |
т |
dT = — Е а + Т |
J |
|||
|
||||||
cv |
|
|
|
(5.5)
182
где Ea.= U0a — энергия решетки модификации а при абсолют ном нуле; су — теплоемкость a -фазы при постоянном объеме.
Как известно, мерой скорости нарастания свободной энер гии с температурой является энтропия, зависящая исключи тельно от теплоемкости:
|
т |
|
|
= — S = |
— f - ^ - d r . |
(5.6> |
|
dT |
J |
T |
|
|
о |
|
|
Из сказанного следует, что низкотемпературная модифи кация вплоть до температуры равновесного фазового пере-
Рнс. 48. Температурная зависимость свободной энергии (а) и энтропии (б) при полиморфном превращении
хода характеризуется меньшей абсолютной величиной энтро пии по сравнению с высокотемпературной модификацией
(рис. 48, б ).
О соотношении различных термодинамических характери стик в точке полиморфного перехода дает представление рис. 49, на котором изображена их температурная зависи мость.
Привлекая для анализа полиморфных переходов в тонких пленках приведенные выше представления, необходимо от метить следующее. В тонких пленках вследствие неравновес ное™ условий и высоких термодинамических пересыщений при их кристаллизации существенному изменению подверже ны все термодинамические функции, определяющие свобод ную энергию. Как было показано, в пленках данные характе ристики испытывают сложную зависимость от степени переохлаждения и пересыщения при кристаллизации, а в усло виях влияния газовых примесей определяются еще и кристал
183
лохимической природой образующихся при этом новых фаз. В связи с этим ход кривых температурной зависимости сво бодной энергии F каждой из полиморфных модификаций и то чек их пересечения в зависимости от условий кристаллизации и отжига может претерпевать бесконечные изменения по срав нению с равновесным ходом. Это обстоятельство обусловли вает наблюдаемые экспериментально особенности процессов полиморфных превращений в пленках.
Учитывая все изложенное, а также недостаточное развитие теории полиморфизма на уровне электронной структуры, наи более реальным путем выясне ния закономерностей поли морфных переходов в тонких пленках следует считать термо-
Рис. 49. Температурная зависимость различных функций состояния термо
динамической системы |
ДGlb |
А Нп, |
|
TASn. При |
AG= 0 развивается |
поли |
|
морфное |
превращение. |
ДОп, |
ДНп, |
ASп — изменения свободной энергии, энтальпии и энтропии при полиморф ном превращении
динамический анализ, основанный на экспериментальных данных. Важные сведения в этом плане может дать изучение скорости и кинетики полиморфных превращений.
С помощью просвечивающей электронной микроскопии Вотовой [308] было изучено превращение плотноупакованной гексагональной фазы в гранецентрнрованную кубическую и обратно в пленках кобальта. В изученных пленках наблюда лось значительное понижение точки перехода от высокотем пературной. гранецентрированной кубической фазы к низко температурной гексагональной.
Рядом исследователей наблюдалась зависимость количе ства каждой из модификаций фаз кобальта от условий кри сталлизации {24]. Конденсация пленок кобальта на неподогретые подложки приводит к значительному содержанию ку бической модификации кобальта и ее высокой дисперсности. При этом именно дисперсность кубической гранецентрнрованной фазы задерживает фазовое превращение Сок-^Сог. При более высокой температуре подложки (~700°К ) кубическая фаза менее дисперсна, благодаря чему ее содержание стано вится меньше, чем при более низких Тп. Согласно же равно весному протеканию процесса, кубическая фаза в этом интер вале температур должна быть более стабильной. Напомним,
181
что температура полиморфного перехода в массивном кобаль те находится вблизи 670 °К- В пленках кобальта наблюдается не только значительное снижение температуры перехода, но и стабильное существование его высокотемпературной фазы при комнатной температуре. Сдвиг температуры полиморфно го перехода, как и дисперсность возникающей высокотемпе ратурной фазы, определяется степенью термодинамического пересыщения. Интенсивность же полиморфного превращения возникающей высокотемпературной фазы зависит от Тп, дли тельности процесса кристаллизации и скорости последующего охлаждения. '
§ 3. Кинетика полиморфных превращений
Степень завершенности процесса'полиморфного превраще ния, а следовательно, и количество каждой из фаз в свеженапыленной пленке можно оценить исходя из кинетики рас сматриваемого процесса.
При полиморфных превращениях рост зародышей стабиль ной фазы происходит путем перехода атомов через границу раздела фаз. Потенциальная энергия в узлах кристалличе ской решетки стабильной фазы больше, чем для менее ста бильной. Переход атомов, однако, возможен в обоих направ лениях, и рост новой фазы определяется повышением потока атомов в сторону более стабильной фазы. Если плотности ато мов у границы раздела, частоты колебаний атомов и величи ны потенциального барьера в соответствующих фазах выра зить через iii и по, ^ и у-ь Ui и и%, то потоки атомов можно опи сать с помощью следующих уравнений:
|
Ьг = « Л exp ( ----- |
|
|
|
|||
|
J2l = п2у., exp |
|
а.2 |
|
|
||
|
|
kT |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||
Принимая /ij = |
л2s n |
или |
£ |
у, запишем |
уравнение ре |
||
зультирующего потока атомов [296] |
|
|
|
||||
J — J12 = /21 |
= п*у |
ехр |
«г |
— ехр |
ш - |
(5.7) |
|
kT |
kT |
||||||
|
|
|
|
|
Если ввести среднюю величину преодолеваемого потенциального барьера и = — (пх -{- щ), то, используя разложение показателя
функции'и переходя к величинам Д« = щ — и и и, можно полу чить следующее выражение для потока атомов:
185
J = /1*7 exp | — |
exp |
Aи |
— exp |
Aи |
|
2kT |
2 kT |
||||
|
kT |
|
|||
|
n*yexp |
и |
Aи |
(5.8) |
|
|
kT |
kT ' |
|||
|
|
|
|||
Изменение потенциальной |
энергии |
при переходе через |
границу раздела фаз одного атома может быть выражено че рез соответствующее изменение свободной энергии системы.
Так как для зародыша |
новой |
фазы |
радиусом р можно на |
|||||
писать |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
AF = -Z np2AF0-|- 4лр2сг, |
|
(5.9) |
|||
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
то Аи |
dAF |
dF |
dp |
При этом Ап определяется на ос- |
||||
|
dn |
dp |
dn |
|||||
нове связи |
|
|
|
|
||||
п и р [229]: |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
Р2 |
|
|
|
|
|
где гя— радиус атома. |
новой фазы путем перестройки крис |
|||||||
Учитывая |
рост центра |
|||||||
таллической решетки, запишем скорость его роста [229] |
|
|||||||
v = |
|
dp |
ШлГаА/7,, |
1 — Р н р |
ехр — |
kT |
. (5.10) |
|
|
|
dt |
9/Г |
|
р |
|
|
Полагаем среднюю частоту колебаний атомов у границы раздела
фаз |
kQD |
(~)D — характеристическая температура |
|||
у = угаах = ------ , где |
|||||
|
h |
Любовым |
[229] |
было показано, что |
|
Дебая. Для T = QD Б. Я- |
|||||
формула (5.10) справедлива при условии |
|
|
|||
|
AFn |
1 — Р к р |
« 1. |
|
(5.11) |
|
2RT |
|
|||
|
Р |
|
|
|
|
При |
оо скорость роста центра |
|
|
|
|
|
dp |
16n/-gAF0 |
exp |
kT |
(5.12) |
|
dt |
9h |
|
|
|
Так |
как объем одного атома — nr\ — V0/N, |
при плоской грани- |
|||
|
|
3 |
|
|
|
це раздела фаз для скорости перемещения границы получаем [295]
dx |
AFn |
Zo |
exp — |
(5.13) |
|
dt |
nhri |
N |
|||
|
kT |
186-
(x — координата границы раздела фаз: V0— удельный объем; N — число Авогадро).
Приведенные температурные зависимости для скорости роста зародышей стабильной фазы позволяют определить ки нетические соотношения для времени и степени превращения, которые могут завершиться за время кристаллизации и охлаждения пленок до комнатной температуры.
|
Переходя |
к |
молярным величинам |
U='Nu, |
lF = Nco= N/e |
|||||||
(N — число Авогадро) |
и |
ограничиваясь |
случаем |
достаточно |
||||||||
больших р, используем (5.12) |
и выражение |
|
|
|
||||||||
|
|
|
L |
RT |
exp |
|
|
|
|
|
(5.14) |
|
|
|
|
Vn |
h |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
1 |
С |
О |
и |
2 |
|
2а |
|
|
|
|
где со = — aS,.p; 5кр = 4пркр; рнр = |
—— ; а — поверхностное |
|||||||||||
|
|
о |
|
|
раздела |
|
Дг q |
|
|
|
||
натяжение на границе |
фаз; AF0— изменение свободной |
|||||||||||
энергии |
при |
образовании |
единицы |
объема; рь.р — радиус кри |
||||||||
тического |
зародыша; |
R — газовая постоянная; |
значение |
L оп |
||||||||
ределяет характер структуры и меняется от 1 до |
10. |
позво |
||||||||||
|
Соответствующие |
преобразования |
(5.12) |
и (5.14) |
||||||||
ляют получить следующее соотношение: |
|
|
|
|
||||||||
11 |
V(t) |
1 — exp |
|
л4//12(AFa)3 RT |
exp |
W-RAU |
R |
|||||
|
|
|
|
37/i'1 |
|
|
RT |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.15) |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где d = 2ra; r |— доля превратившегося исходного объема. Выражение для времени превращения доли объема
имеет вид [296]
|
3/1 |
|
27 In (1 — т)) AF0a |
1/4 |
[ - W + U |
'п = |
|
•exp 1 |
|||
|
|
|
|
||
8nr3aAF0 |
' |
RTV0 |
|
RT |
|
|
|
(5.16)
Полученные выражения позволяют оценить долю превра тившегося исходного объема в процессе кристаллизации и охлаждения. Следовательно, с помощью указанных расчетов молено описать предысторию свеженапылеиных пленок, кото рая должна учитываться при дальнейшем изотермическом и изоморфном отжигах полиморфных пленок. Характер кинети ческих процессов при таких отлсигах будет определяться сте пенью завершенности полиморфного превращения во время получения пленок.
Соотношения (5.15) и (5.16) могут быть использованы и при изучении процессов превращения гранецентрированиой кубической фазы в объемноцеитрированную кубическую
187