ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 112
Скачиваний: 0
ния окислительно-восстановительных реакций между хромом и окисляющими компонентами остаточной среды в вакуумной напылительной камере [53]. При этом была показана возможность оперативного прогнозиро вания старения и влагостойкости резистивных пленок по характеру изменения состава остаточной среды в про цессе их напыления. Обнаруженная немонотонность упо мянутых зависимостей позволила рекомендовать близ кий к оптимальному технологический режим процесса напыления резисторов, при котором обеспечивается ми нимум старения и необратимого изменения номинала пленочного резистора при выдержке его при повышен ной влажности и температуре.
В результате проведения обширных эксперименталь ных работ с помощью приборов КМ-1 и КМ-2 [54—66] по регистрации молекулярных потоков резистивных, ди электрических и проводящих материалов в вакуумных напылительных установках была определена связь и объяснено некоторое несоответствие между составом мо лекулярного потока и химическим и фазовым составами резистивных пленок из сплавов Сг—Fe—Si, Cr—Ni—Si и смеси Cr—Si, а также установлено, что при испарении CrSi2 происходит практически полная его диссоциация, причем состав молекулярного потока зависит от темпе ратуры испарителя и от способа подачи в испаритель испаряемого материала. Это, как и в случае с испаре нием моноокиси германия (см. § 36) свидетельствует о возможности однозначного и контролируемого варьи рования состава молекулярного потока и, следовательно, электрофизических свойств напыляемых пленок путем изменения температуры испарителя [67].
С помощью КМ-1 и КМ-2 было проведено детальное масс-спектрометрическое исследование различных ва куумных откачных систем, схемы которых представ лены на рис. 64 и 65, показавшее, насколько сильно раз нится в них состав остаточной газовой среды, влияюший на характер технологических' приЦесСШц—егеущсога- ляемых 5' вакуумном технологическом оборудовании [68, 69]. Об этом можно судить по спектрам масс оста точной среды в упомянутых откачных системах, пред ставленным на рис. 66—70. Результатами этих исследо ваний экспериментально подтверждается целесообраз ность организации систематического масс-спектрометри- ческого контроля-паспортизации каталогизации вакуум-
228
Рис. 64. Схемы испытывавшихся откачных средств на основе паромасляных насосов с различными ловушками.
Рис. 65. Схемы испытывавшихся откачных средств на ос нове геттерно-ионных, криогенных и турбомолекулярных насосов.
f i - 2 , 6 - 10 7м м pm .cm . |
л» |
клл TV
Р=374’10 нмрт.от:
_А
f
I
2а.е.и
к в
I
Р - 4,5-10 6ммрт.ст.
|
|
|
|
|
|
L j u w |
l\-тJL_____ |
|
Ш |
121 |
110 97 |
S1 |
716967 |
5755 |
---- 1------ 1u^ |
2 а.е.и |
|
40 56 28 |
201816 |
Рис. 67. Спектр остаточной среды в установке, изображенной на рис. 64 (нижняя правая схема).
Рис. 68. Спектр остаточной |
среды в установке, |
изображенной на рис. 64 (нижняя левая схе |
ма), |
после замены насоса |
Н-2Т на насос Н-5С. |
ного технологического оборудования, применяемого, в частности, в производстве изделий микроэлектроники,
а также масс-спектрометрической |
паспортизации самих |
технологических процессов 151J . |
---------------- ’---- |
р.-4'io1т рт.ста |
|
м |
иП л |
Пл_ |
|
|
|
44 40 36 28 |
18 16 |
2аЛМ. |
а
Рис. 69. Спектр остаточной среды в |
установках, |
||
|
изображенных на рис. 65: |
|
|
а — верхней |
левой и б — верхней |
правой |
схем рис. 65. |
С помощью |
приборов КМ-1 |
проводилось подробное |
|
исследование вакуумных свойств термостойкой резины ИРП-1345 — отечественный аналог резины типа Витон.
234
Эксперименты показали, что эта резина обладает высо кими вакуумными свойствами до температур меньше 300° С, причем эти свойства существенно улучшаются после операции вакуумного термостатирования и сохра няются, несмотря на длительное пребывание прокладок
3
9
0,з
|
|
18 16 Ц 12 .• |
0,03 |
4W1139 |
31 28 20 |
2 ct'e./f. |
|
Рис. 70. Спектр остаточной |
среды в установке, |
изображенной |
|
на |
рис. 65 |
(четвертая схема). |
|
из этой резины на воздухе после термовакуумных испы таний. Полученные данные позволили рекомендовать резину ИРП-1345 в качестве термически стойкого ва куумного уплотняющего материала для широкого ис пользования в вакуумном технологическом оборудова нии, в котором необходимость получения глубокого вакуума сопряжена с прогревом оборудования до 200— 250° С, вместо обычно употребляемых в таких случаях менее удобных на практике металлических уплотняющих материалов одноразового использования.
П Р И Л О Ж Е Н И Е 1
Функции Матье целого порядка [20]
Уравнение |
(1.16) при а и q, соответствующих |
собственным |
зна |
||||
чениям, имеет |
частные |
периодические решения |
с |
периодом л |
или |
||
2л. Эти решения называются |
функциями Матье целого порядка. |
||||||
Их удобно представить в виде |
следующих |
тригонометрических |
|||||
рядов: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
СО |
|
|
|
|
|
се2п(%, q) = |
y ) |
ЛS,2n> cos 2л| |
|
|
|
|
|
|
|
r=Q |
|
|
|
|
(собственное значение а2п, период равен я), |
|
||||||
|
|
<30 |
|
|
|
|
|
ce2„+i (I, |
q) = |
|
cos (2r + |
|
!) I |
|
|
|
|
r —0 |
|
|
|
|
|
(собственное значение a2n± г , период равен 2я ), |
|
||||||
|
|
оо |
5^+'> sin (2л + |
1) I |
V 1 ) |
||
se2n+i (g, q) = Т) |
|
||||||
|
|
7=о |
|
|
|
|
|
(собственное значение Ь2п+ г » период равен 2 л ), |
|
||||||
se2n+2 (|, |
со |
B(2^+2)sin(2r-f2)| |
|
||||
q) = У] |
|
||||||
|
|
л = 0 |
|
|
|
|
|
(собственное |
значение Ь2п+2, период равен л), |
|
|||||
где коэффициенты разложения Л и В, а также собственные зна чения а и Ь являются функциями q. Нас в дальнейшем будут инте ресовать зависимости собственных значений в ближайших к началу
координат |
(a, |
q) |
областях |
стабильности, |
|
т. е. |
при п= 0: |
|||
|
1 |
|
|
|
29 |
|
|
68 687 |
|
|
fl0 = • |
2 |
<?г + |
128 |
|
2304 |
qe + |
18 874 368 ?e + |
0(91»); (2) |
||
h |
|
|
1 |
|
1 |
1 |
|
94 — |
11 |
96 + |
1 — 9 — — q' |
— q' |
1536 |
36 864 |
|||||||
|
|
|
8 |
4 |
64 |
|
|
|||
|
|
|
49 |
|
55 |
q7 — 0 (qs); |
|
|||
|
|
+ 589 824 |
9 437 184 |
(3) |
||||||
|
|
|
|
|
|
|||||
236
|
я |
|
i |
|
|
11 |
g5 + |
a i = i + |
|
64 |
1536 <?“ + 36 864 |
||||
|
|
49 |
|
55 |
Ц1— 0 (qa); |
(4) |
|
|
589 824 |
|
|
||||
|
9 437 184 |
|
|
||||
-4 — ---- G2 |
5 |
. |
289 |
|
|
||
13 824 |
94 — 79 626 240 |
‘4- |
|
||||
|
12 |
1 |
|
||||
|
|
21 391 |
■7 s + |
0 ( ? io ) ; |
|
(5) |
|
|
458 647 142 400 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|||
a, = |
5 |
|
763 |
r4 + |
1 002 401 |
|
|
4 |
02 _ |
■ |
------------ |
<?6 — |
|||
|
12 |
13 824 |
|
79 626 240 |
|||
|
|
1 669 068 401 |
98 + |
0 (q10). |
|
(6) |
|
|
|
458 647 142 400 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
||
П Р И Л О Ж Е Н И Е 2
Общий вид функций Матье действительного дробного порядка [20]
Вобщем случае функции Матье действительного дробного
порядка ( т + 13) |
при |
q>0, 0 < Р < 1 |
и действительном |
(1 |
по |
опреде |
|||||||||
лению имеют вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ОО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
се2 п + р (Е, |
? ) = |
2 |
|
4 r n+P>c o s ( 2 r + |
Р) Е; |
(1) |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
Г——00 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ОО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
se2„+p (I, q) |
= |
2 |
А2гПШ sin (2r 4- P) £• |
|
(2) |
||||||||||
|
|
|
|
|
r |
— — oo |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В формулах |
(1) |
и |
|
(2) |
точка |
(a, |
q) |
лежит |
между |
значениями |
|||||
а2п и Ь2п+2 (см. |
рис. 2). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
ОО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
се2я+1+р (£, |
q) = |
2 |
Л ^ге+1+Р)соз(2л + |
1 4 -0) |
|
(3) |
|||||||||
|
|
|
|
|
Г ~ — ОО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
со |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
se2n+i+p |
(I. |
9) = |
2 |
4 r " +1+P) sin(2r + |
1 + Р ) | . |
(4) |
|||||||||
|
|
|
|
|
Г = - — |
ОО |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В формулах |
(3) |
и (4) точки (a, q) |
лежат |
между |
значениями |
||||||||||
«2П+1 и &2П+2 (см. рис. 1, 2). |
канонического |
уравнения Матье |
(1.16) |
||||||||||||
Если q < 0, |
то решением |
||||||||||||||
будет функция Матье |
аргумента |
£ i= n /2 —|, |
т. е. |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
СО |
|
|
|
|
|
|
|
|
ce2n+ p ( - f - “ 6, ‘;) = со5'? ~ 2 ( - 1)'4 ? л+Р)со8(2/' + Р)Б +
Т = — оо
237