Файл: Комов, А. Н. Физические основы микроэлектроники учеб. пособие.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 29.10.2024
Просмотров: 89
Скачиваний: 0
Температурная зависимость электропроводности полупроводни ков, которая выражена значительно сильнее, чем у металла, нашла применение в изготовлении термосопротивлений или термисторов, получивших широкое применение в приборах для измерения и р.егу-
*
Рис. 42. Изменение подвижности носителей заряда |
от темпе |
|
ратуры. |
|
|
лирования температуры, для измерения силы |
тока, |
темпера |
турной .компенсации элементов электрической |
цепи, |
измере |
ния мощности ультракоротких волн, в вакуумметрах, в болометрах и т. д.
§5. Эффект Ганна
Одним из существенных открытий в последние годы в полупро водниковой электронике является открытие возникновения электри
ческих колебаний в однородном полупроводнике |
при наложении |
||
постоянного электрического поля—эффект Ганна. |
|
|
|
В настоящее время уже работают диоды Ганна с полезной мощ |
|||
ностью порядка 1000 вт (импульсный |
режим), |
генераторы СВЧ- |
|
коле'баний на основе этого эффекта, |
усилители |
|
СВЧ-колебаний. |
Внедрение полупроводников в СВЧ-электронику |
должно привести |
||
в этой области к качественному скачку. |
|
|
однородного по |
Диоды Ганна, использующие явления в объеме |
|
||
лупроводника, имеют значительное преимущество |
перед такими |
||
диодами, как туннельные диоды, СВЧ-транзисторы, |
лавинопролет |
ные диоды, у которых используется только узкий слой полупровод-
98
ника, что усложняет проблему рассеяния тепла, а тем самым увели чение полезной мощности.
В основе действия диодов Ганна лежит убывание объемной про водимости полупроводника с ростом напряженности электрического поля, то есть наличие на вольтамперной характеристике участка с отрицательным дифференциальным сопротивлением.
Если в некоторой области токов (или электрических полей) па вольтамперной характеристике имеется участок с отрицательным дифференциальным сопротивлением, то состояние с равномерным распределением тока (или поля) можетоказаться неустойчивым. При этом вольтамперная характеристика имеет 5-образную форму, т. е. одному значению напряжения соответствуют несколько значений тока, и в системе появляются условия для образования шнуров-ка налов с повышенной плотностью тока. Если же характеристика N- образной формы (одному значению тока соответствуют несколько значений напряжения), то возникает тенденция к образованию до менов, то есть расслоению электрически однородного при малых полях образца на области с разным удельным сопротивлением и, следовательно, к образованию областей с существенно разной на пряженностью электрического поля. Домены и шнуры могут возни кать и исчезать, перемещаться по кристаллу или же колебаться около некоторого положения равновесия в зависимости от целого ряда внешних и внутренних факторов. Все это приводит к измене нию сопротивления кристалла между контактами и появлению электрических колебаний, В настоящее время показано, что тако го рода явления позволяют создавать твердотельные генераторы довольно большой мощности и с широким диапазоном частот. Рас смотрим один из методов создания отрицательного сопротивления в полупроводниковых кристаллах. Для этого воспользуемся неко торыми особенностями структуры энергетических зон, приводящи ми к возникновению отрицательной эффективной массы.
Зона проводимости и валентная зона в полупроводниках состо ят из некоторого числа подзон, причем для обычной проводимости существенны только подзоны с наименьшей энергией носителей.
Расстояние между ними может составлять значительную долю электроновольта.
Например, в германии зона проводимости имеет четыре семей ства эллипсоидальных поверхностей постоянной энергии в направ лении (111) в k — пространстве, тогда как валентная зона дважды вырождена при k = 0, причем эти две вырожденные зоны дают лег кие и тяжелые дырки.
Путем деформации кристаллов можно разделить семейство подзон. Так, при деформации кристалла Ge в зоне проводимости эти две долины снижаются и две поднимаются, а в ва лентной зоне вырождение снимается и появляются две подзоны, раз деленные по энергии. Тогда носители заряда в подзонах будут иметь разную эффективную массу соответственно кривизне зон и направлению приложенного электрического поля. Средняя эффек
7* 99
тивная масса, а, -следовательно, и проводимость кристалла будут зависеть от относительных заселенностей каждой подзоны, которые являются функциями температуры носителей. Внешнее электриче ское поле может повлиять на заселенность подзон, что при опреде ленных условиях приведет к получению отрицательного сопротив ления в полупроводниковом кристалле.
|
Рассмотрим |
|
зону прово |
|||||
|
димости, состоящую из двух |
|||||||
|
подзон, которые представле |
|||||||
|
ны на диаграмме |
(Е, k) так, |
||||||
|
как |
показано |
на |
фиг. 43. |
||||
*7' |
Энергия одного минимума р |
|||||||
превышает энергию |
другого |
|||||||
m J |
минимума L на ЬЕ. При ну |
|||||||
и У |
левом |
электрическом |
иоле |
|||||
|
носители |
заряда |
распреде |
|||||
\ |
ляются |
между |
этими |
двумя |
||||
областями |
зоны |
проводимо |
||||||
сти. В этом случае распреде |
||||||||
ление |
|
будет |
определяться |
|||||
величиной öE, температур |
||||||||
ной решетки Го и относитель |
||||||||
ными |
|
плотностями |
состоя |
|||||
|
ний. |
|
|
|
|
|
|
|
|
При -включении поля про |
|||||||
Рис. 43. Две подзоны в полупроводнике. |
исходит |
перераспределение |
||||||
|
носителей. |
эффективная |
||||||
Если верхнему минимуму р соответствует |
большая |
|||||||
масса, а в нижнем минимуме L ее |
величина |
заметно |
меньше, то |
электрон, энергия которого (отсчитываемая от дна зоны проводи мости) будет превышать 6Е, очевидно, перейдет в минимум р, где ^его подвижность будет низкой. Таким образом, при увеличении по ля проводимость кристалла будет уменьшаться. Это указывает на возможность отрицательного сопротивления. Пусть в области L электроны характеризуются эффективной массой т*, подвиж ностью ип и концентрацией п, а плотность состояний равна Nc. Со
ответствующие величины для верхней области |
р обозначим |
через |
||
т*\ ип' и /V/. Тогда, |
если о—іправодимо-сть, |
aN — общая |
кон |
|
центрация электронов, получим: |
|
|
||
а=-е (иГіп + п'ип'), |
(VI — 14) |
|||
п |
TU |
0Е |
(VI — 15) |
|
п' |
-Лр- |
. ектО |
||
Nt.' |
|
|
|
|
|
п -фп' == N, |
(V I-1 6 ) |
100
|
Nc |
|
НЕ |
(VI — 17) |
п |
|
NekTo, |
||
Nc' |
|
|||
|
1+ |
kTо |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
n’ =--N |
|
6Е |
(VI — 18) |
|
|
1+ |
екП |
|
|
|
|
|
Для полупроводникового кристалла с площадью поперечного се
чения 5 и длиной |
I |
зависимость тока от напряжения |
V имеет вид |
||
|
|
|
VoS |
|
(VI — 19) |
|
|
|
|
|
|
и |
|
Sa |
SV |
d? |
|
d l |
(V I—20) |
||||
~ W |
|
I |
dV ’ |
||
|
|
||||
а если -]-= E —- |
напряженность поля, то |
|
|||
|
dl |
|
|
|
(V I—21) |
|
dV |
|
|
||
|
|
|
|
||
Приращение-проводимости равно |
|
|
|||
|
8з ---^еЬп (ип—ип'). |
(V I—22) |
|||
Полагая, что ип и ип>не зависят от поля, получим |
|
||||
|
da |
, |
|
dn |
(V I—23) |
|
~Ж |
~~ип )дПТ' |
|||
|
|
Выражения (VI—17) и (VI—18) определяют распределение концентрации электронов в равновесном состоянии. Чтобы вычис-
лить величину dn сделаем некоторые предположения относитель
но распределения между минимумами р и L при значительном от клонении от теплового равновесия. Предположим, что
1)распределение электронов по энергиям характеризуется элек тронной температурой Т, которая может быть в несколько раз больше То;
2)распределение электронов между минимумами р и L описы вается теми же формулами, что и для теплового равновесия
(VI—17), (VI—18), заменив Т0 на Т.
Из уравнений (VI—21 и VI—23) можно определить -^ r, пред-
dn |
dn |
dT |
|
|
|
|
ставив -пт как |
-г=- ■—тгг. |
|
|
|
|
|
da |
dT |
d h |
|
|
|
|
Это дает |
|
|
|
|
|
|
da |
е (ип — ип’) п |
ЬЕ |
1 |
dT |
(V I—24) |
|
|
|
|
|
|
dE ’ |
|
|
|
|
|
|
|
101