Файл: Волчкевич, А. И. Высоковакуумные адсорбционные насосы.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 29.10.2024
Просмотров: 79
Скачиваний: 0
ный нагрев слоя адсорбента излучением, проникающим через полированную входную ловушку, привел к по лучению более низких значений измеренной теплоты адсорбции, чем в условиях полного охлаждения актив ного угля при использовании черненой ловушки (рис. 18).
Из-за градиента температур по толщине слоя ад сорбента в насосе с полированными ловушками полно ценно участвует в процессе адсорбции лишь часть слоя активного угля, непосредственно соприкасающегося с охлажденной поверхностью насоса. Поэтому действи тельное значение адсорбции в наиболее холодной части слоя значительно выше значения, вычисленного с уче том всего количества адсорбента. Измеряемое давление соответствует действительному значению адсорбции в наиболее холодной части слоя активного угля. Под тверждением этому служит хорошее согласование за висимостей теплоты адсорбции от давления, полученных при различных условиях охлаждения адсорбента.
Г л а в а V. СКОРОСТЬ ОТКАЧКИ
Экспериментальных данных по кинетике адсорбции газов в высоком вакууме и скорости откачки адсорб ционных насосов значительно меньше, чем по статиче
ским характеристикам |
(изотермы адсорбции), причем |
|
большей частью результаты плохо согласуются. |
||
Скорость откачки |
— важнейшая |
характеристика |
любого вакуумного насоса, определяющая давление в динамической вакуумной системе. По мере увеличения количества откачанного газа предельное давление ад сорбционного насоса повышается. Если в вакуумной системе имеется натекание, то давление над адсорбен
том |
(см. гл. II) значительно |
превышает |
равновесное |
при одинаковой величине адсорбции. |
|
||
Так как давление, создаваемое адсорбционным на |
|||
сосом, возрастает с увеличением количества |
откачанно |
||
го |
газа, то скорость откачки |
насоса сложно измерять |
методами постоянного давления и, особенно, постоян ного объема. Наиболее правильным является метод постоянного потока, который позволяет изучить скоро стную характеристику насоса, а также изменение ее во времени и с увеличением количества откачанного газа; кроме того, этот метод позволяет экспериментально получить критериальные данные по кинетике адсорбции газов. Это дает возможность рассчитать давление и скорость откачки насоса, если известна величина нате кания газа [17]. Методика определения основных кине тических характеристик адсорбции газов при постоян ном натекании рассмотрена в гл. I I I .
При использовании метода постоянного давления фактически измеряют максимальную скорость откачки насоса при данном натекании, в то время как следует изучать стабильность скорости откачки при длительной работе насоса в динамической вакуумной системе.
ДАВЛЕНИЕ НА ВХОДЕ НАСОСА ПРИ ПОСТОЯННОМ НАТЕКАНИИ
На рис. 19—22 приведены зависимости, построенные по данным экспериментов [13] на установке, которая
91
изображена на рис. 6. Для наглядности при построе нии кинетических кривых на оси ординат откладывали отношение давления к натеканию (р0 — это начальное давление в установке перед созданием постоянного на тека ния).
£~Р£Юз1Сек/л
« I |
— — • |
|
Рис. 19. Кинетические кривые адсорбции азота актив ным углем СКТ у входного патрубка насоса (а) и за адсорбционным патроном (б) {Q — в л-мм рт. ст./с; р — в мм рт. ст.]:
/—Q-=4,8 • 10-',p=10-e ; |
2 — Q=7,5-10 |
-s , |
p = |
10-'; 3 — Q-6,5.10—6 |
, |
|
P~W-'; 4— Q=4,65-10 |
-«, |
р~10-<; |
5 — Q=3,4-10-3 , p = 10-6 |
; |
||
6 — Q=4,3 |
-IQ-3 , p ~ 1 0 |
- ' |
мм |
рт. ст. |
|
Сразу после создания постоянного натекания давле
ние |
на входе |
насоса |
скачкообразно возрастает |
(см. |
|
рис. |
19—21) |
на практически постоянную величину |
|||
Pbx—Q/FB\> определяемую входной |
проводимостью насо |
||||
са |
(входная ловушка, |
сетка для |
поддержания |
адсор |
бента и,др.). Скорость увеличения давления достигает максимального значения сразу после создания натека ния, затем постепенно уменьшается и через 1,0—1,5 ч становится постоянной. С этого времени устанавливает ся квазистационарный режим непрерывной адсорбции, характеризующийся параболическим распределением давления по толщине зерна сорбента с линейным воз-
92
О 1 2 3 * 5 t,4
Рис. 20. Кинетические |
кривые адсорбции |
азота цеолитом NaX |
||||
|
|
(Q — в л-мм рт. ст./с; р — в мм рт. ст.): |
|
|||
j — Q=3 - Ю — |
7 . |
p « I 0 - 9 ; 2 — Q=3,5-10-e , |
p » I 0 - B ; |
3 — Q=3.7.10-5 , |
p « 1 0 - 7 ; |
|
4 — Q = I,5 |
• |
10-4 , p = 10-6 ; |
5 — Q = l • 10-a , |
p>=10-6; |
6 — Q = l,15 • 10-=, |
p « 1 0 - 4 |
0 |
/ |
2 |
3 |
t,4 |
Рис. 21. |
Кинетические |
кривые |
адсорбции арго |
на цеолитом NaX (Q — в л-мм рт. ст./с, р — на чальное давление в мм рт. ст.):
Q=6,9- |
Ю - |
8 , р = 1 0 - в ; 2 — Q=>4,3 • Ю - 7 , р « 1 0 - в ; |
3 |
— Q = |
= 4 , 3 - 1 0 - ° , |
р>=10-7 ; 4 — Q=2 - 10—s. р>»10-6 ; |
5 |
— Q = |
|
= 1,5 • 1 0 |
- V p » 1 0 - S ; 5 — Q = 8 , 5 - 1 0 - « , p~10-< |
|
Рис. 22. |
Зависимость Рд, |
Г д |
и sT от удельного |
натекания |
газов |
|||
q=Q/M |
при |
адсорбции |
при |
78°К |
активным углем |
СКТ |
(кри |
|
вые 1, |
2, 3) и цеолитом NaX |
(кривые 4, |
5) |
газов: |
|
|||
|
|
/ — СО; 2, |
4 — Nj; |
3, 5 — Аг |
|
|
|
растанием давления во времени, т. е. увеличением ко личества откачанного газа. Продлив линейный участок кинетической кривой до пересечения с осью ординат (штриховая линия на рис. 19—21), можно определить величину рл. Кинетические кривые, записанные по по казаниям манометра, который расположен за адсорб ционным патроном (см. рис. 6, позиция 13), не имеют начального скачка давления (см. рис. 19,6). Таким образом, сразу после создания натекания достигается чрезвычайно высокая начальная скорость откачки, ли-
94
Котированная объемной скоростью подйода газа к адсорбенту. По мере увеличения количества откачан ного газа концентрация (и соответствующее ей давле ние) газа на поверхности зерен адсорбента возрастает, так как лимитирующей стадией процесса адсорбции яв ляется диффузия газа внутрь зерна.
После установления квазистационарного режима вследствие избытка адсорбированного газа на поверх ности адсорбента давление газа над адсорбентом пре вышает интегрально усредненное (по сечению зерна)
давление на |
величину рл |
которую |
можно эксперимен |
|
тально определить по кинетической |
кривой. |
|
||
Основные |
зависимости, |
характеризующие |
кинетику |
|
адсорбции некоторых газов на угле СКТ |
и цеолите |
|||
NaX и полученные в результате обработки |
кинетиче |
|||
ских кривых, |
приведены на рис. 22. Статические и ди |
|||
намические изотермы адсорбции, полученные |
в процес |
се определения кинетических характеристик, были при
ведены |
на |
рис. 8. • Эта серия |
экспериментов была |
|||
проведена |
при использовании в насосе (см. рис. 6) жа- |
|||||
люзных |
полированных |
ловушек, |
благодаря |
которым |
||
испаряемость |
азота в |
насосе составляла 0,05—0,10 л/ч. |
||||
Давление |
р д почти |
линейно возрастает с |
увеличени |
ем натекания. Динамическая адсорбируемость газов Г д
монотонно уменьшается с увеличением |
потока газа, |
|
т. е. наибольшая стабильность |
давления |
и скоростной |
характеристики адсорбционного |
насоса, как это не па |
радоксально на первый взгляд, наблюдается в области
сверхвысокого вакуума (ниже |
Ю - 7 мм рт. ст.). Наи |
|||||
большая |
скорость |
снижения Г д |
характерна |
для |
нате |
|
кания Ю - 5 л - мм |
рт. ст./(сек-ч) |
(давление |
Ю - 5 |
мм |
||
рт. ст.] и |
выше. В |
соответствии |
с |
результатами экспе |
риментов данной серии, проведенных при одинаковых условиях, относительная адсорбируемость газов Г д при непрерывной адсорбции значительно выше для угля СКТ, чем для цеолита NaX.
Удельная теоретическая скорость откачки s T = - ^ - ,
Рд
обеспечиваемая 1 г адсорбента, в предположении, что квазистационарный режим устанавливается сразу после создания натекания, является удельной диффузионной проводимостью единицы массы адсорбента. Величина sT монотонно и слабо уменьшается с увеличением натека ния и количества адсорбированного газа, поэтому ад-
95