Файл: Волчкевич, А. И. Высоковакуумные адсорбционные насосы.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 29.10.2024

Просмотров: 79

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

ный нагрев слоя адсорбента излучением, проникающим через полированную входную ловушку, привел к по­ лучению более низких значений измеренной теплоты адсорбции, чем в условиях полного охлаждения актив­ ного угля при использовании черненой ловушки (рис. 18).

Из-за градиента температур по толщине слоя ад­ сорбента в насосе с полированными ловушками полно­ ценно участвует в процессе адсорбции лишь часть слоя активного угля, непосредственно соприкасающегося с охлажденной поверхностью насоса. Поэтому действи­ тельное значение адсорбции в наиболее холодной части слоя значительно выше значения, вычисленного с уче­ том всего количества адсорбента. Измеряемое давление соответствует действительному значению адсорбции в наиболее холодной части слоя активного угля. Под­ тверждением этому служит хорошее согласование за­ висимостей теплоты адсорбции от давления, полученных при различных условиях охлаждения адсорбента.

Г л а в а V. СКОРОСТЬ ОТКАЧКИ

Экспериментальных данных по кинетике адсорбции газов в высоком вакууме и скорости откачки адсорб­ ционных насосов значительно меньше, чем по статиче­

ским характеристикам

(изотермы адсорбции), причем

большей частью результаты плохо согласуются.

Скорость откачки

— важнейшая

характеристика

любого вакуумного насоса, определяющая давление в динамической вакуумной системе. По мере увеличения количества откачанного газа предельное давление ад­ сорбционного насоса повышается. Если в вакуумной системе имеется натекание, то давление над адсорбен­

том

(см. гл. II) значительно

превышает

равновесное

при одинаковой величине адсорбции.

 

Так как давление, создаваемое адсорбционным на­

сосом, возрастает с увеличением количества

откачанно­

го

газа, то скорость откачки

насоса сложно измерять

методами постоянного давления и, особенно, постоян­ ного объема. Наиболее правильным является метод постоянного потока, который позволяет изучить скоро­ стную характеристику насоса, а также изменение ее во времени и с увеличением количества откачанного газа; кроме того, этот метод позволяет экспериментально получить критериальные данные по кинетике адсорбции газов. Это дает возможность рассчитать давление и скорость откачки насоса, если известна величина нате­ кания газа [17]. Методика определения основных кине­ тических характеристик адсорбции газов при постоян­ ном натекании рассмотрена в гл. I I I .

При использовании метода постоянного давления фактически измеряют максимальную скорость откачки насоса при данном натекании, в то время как следует изучать стабильность скорости откачки при длительной работе насоса в динамической вакуумной системе.

ДАВЛЕНИЕ НА ВХОДЕ НАСОСА ПРИ ПОСТОЯННОМ НАТЕКАНИИ

На рис. 19—22 приведены зависимости, построенные по данным экспериментов [13] на установке, которая

91



изображена на рис. 6. Для наглядности при построе­ нии кинетических кривых на оси ординат откладывали отношение давления к натеканию 0 — это начальное давление в установке перед созданием постоянного на­ тека ния).

£~Р£Юз1Сек/л

« I

— — •

 

Рис. 19. Кинетические кривые адсорбции азота актив­ ным углем СКТ у входного патрубка насоса (а) и за адсорбционным патроном (б) {Q — в л-мм рт. ст./с; р — в мм рт. ст.]:

/—Q-=4,8 • 10-',p=10-e ;

2 — Q=7,5-10

-s ,

p =

10-'; 3 Q-6,5.10—6

,

P~W-'; 4— Q=4,65-10

-«,

р~10-<;

5 — Q=3,4-10-3 , p = 10-6

;

6 Q=4,3

-IQ-3 , p ~ 1 0

- '

мм

рт. ст.

 

Сразу после создания постоянного натекания давле­

ние

на входе

насоса

скачкообразно возрастает

(см.

рис.

19—21)

на практически постоянную величину

Pbx—Q/FB\> определяемую входной

проводимостью насо­

са

(входная ловушка,

сетка для

поддержания

адсор­

бента и,др.). Скорость увеличения давления достигает максимального значения сразу после создания натека­ ния, затем постепенно уменьшается и через 1,0—1,5 ч становится постоянной. С этого времени устанавливает­ ся квазистационарный режим непрерывной адсорбции, характеризующийся параболическим распределением давления по толщине зерна сорбента с линейным воз-

92


О 1 2 3 * 5 t,4

Рис. 20. Кинетические

кривые адсорбции

азота цеолитом NaX

 

 

(Q — в л-мм рт. ст./с; р — в мм рт. ст.):

 

j — Q=3 - Ю —

7 .

p « I 0 - 9 ; 2 — Q=3,5-10-e ,

p » I 0 - B ;

3 — Q=3.7.10-5 ,

p « 1 0 - 7 ;

4 — Q = I,5

10-4 , p = 10-6 ;

5 — Q = l • 10-a ,

p>=10-6;

6 — Q = l,15 • 10-=,

p « 1 0 - 4

0

/

2

3

t,4

Рис. 21.

Кинетические

кривые

адсорбции арго­

на цеолитом NaX (Q — в л-мм рт. ст./с, р — на­ чальное давление в мм рт. ст.):

Q=6,9-

Ю -

8 , р = 1 0 - в ; 2 — Q=>4,3 • Ю - 7 , р « 1 0 - в ;

3

— Q =

= 4 , 3 - 1 0 - ° ,

р>=10-7 ; 4 Q=2 - 10—s. р>»10-6 ;

5

— Q =

= 1,5 • 1 0

- V p » 1 0 - S ; 5 — Q = 8 , 5 - 1 0 - « , p~10-<

 

Рис. 22.

Зависимость Рд,

Г д

и sT от удельного

натекания

газов

q=Q/M

при

адсорбции

при

78°К

активным углем

СКТ

(кри­

вые 1,

2, 3) и цеолитом NaX

(кривые 4,

5)

газов:

 

 

 

/ — СО; 2,

4 — Nj;

3, 5 — Аг

 

 

 

растанием давления во времени, т. е. увеличением ко­ личества откачанного газа. Продлив линейный участок кинетической кривой до пересечения с осью ординат (штриховая линия на рис. 19—21), можно определить величину рл. Кинетические кривые, записанные по по­ казаниям манометра, который расположен за адсорб­ ционным патроном (см. рис. 6, позиция 13), не имеют начального скачка давления (см. рис. 19,6). Таким образом, сразу после создания натекания достигается чрезвычайно высокая начальная скорость откачки, ли-

94


Котированная объемной скоростью подйода газа к адсорбенту. По мере увеличения количества откачан­ ного газа концентрация (и соответствующее ей давле­ ние) газа на поверхности зерен адсорбента возрастает, так как лимитирующей стадией процесса адсорбции яв­ ляется диффузия газа внутрь зерна.

После установления квазистационарного режима вследствие избытка адсорбированного газа на поверх­ ности адсорбента давление газа над адсорбентом пре­ вышает интегрально усредненное (по сечению зерна)

давление на

величину рл

которую

можно эксперимен­

тально определить по кинетической

кривой.

 

Основные

зависимости,

характеризующие

кинетику

адсорбции некоторых газов на угле СКТ

и цеолите

NaX и полученные в результате обработки

кинетиче­

ских кривых,

приведены на рис. 22. Статические и ди­

намические изотермы адсорбции, полученные

в процес­

се определения кинетических характеристик, были при­

ведены

на

рис. 8. • Эта серия

экспериментов была

проведена

при использовании в насосе (см. рис. 6) жа-

люзных

полированных

ловушек,

благодаря

которым

испаряемость

азота в

насосе составляла 0,05—0,10 л/ч.

Давление

р д почти

линейно возрастает с

увеличени­

ем натекания. Динамическая адсорбируемость газов Г д

монотонно уменьшается с увеличением

потока газа,

т. е. наибольшая стабильность

давления

и скоростной

характеристики адсорбционного

насоса, как это не па­

радоксально на первый взгляд, наблюдается в области

сверхвысокого вакуума (ниже

Ю - 7 мм рт. ст.). Наи­

большая

скорость

снижения Г д

характерна

для

нате­

кания Ю - 5 л - мм

рт. ст./(сек-ч)

(давление

Ю - 5

мм

рт. ст.] и

выше. В

соответствии

с

результатами экспе­

риментов данной серии, проведенных при одинаковых условиях, относительная адсорбируемость газов Г д при непрерывной адсорбции значительно выше для угля СКТ, чем для цеолита NaX.

Удельная теоретическая скорость откачки s T = - ^ - ,

Рд

обеспечиваемая 1 г адсорбента, в предположении, что квазистационарный режим устанавливается сразу после создания натекания, является удельной диффузионной проводимостью единицы массы адсорбента. Величина sT монотонно и слабо уменьшается с увеличением натека­ ния и количества адсорбированного газа, поэтому ад-

95