Файл: Методы стабилизации параметров полупроводниковых приборов [сборник статей]..pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 30.10.2024
Просмотров: 28
Скачиваний: 0
ствия окружающей среды при частичной разгерметизации корпуса в процессе монтажа и эксплуатации.
Защитное покрытие траверс должно удовлетворять сле дующим требованиям:
1.Отсутствие компонентов, вступающих в реакцию с алюминием.
2.Паро- и влагонепроницаемость. -
3.Минимальная усадка пленки в диапазоне температур
—60+150°С, так как толщина проводника «25 мкм и неболь шие внутренние напряжения пленки могут привести к разры ву сварного соединения.
Для изоляции сварных соединений в производстве при меняют лак ЭП-96. Однако покрытие на его основе имеет недостаточно хорошие механические характеристики и весь ма невоспроизводимо по свойствам от партии к партии. Эти недостатки настолько существенны, что возник вопрос о за мене этого покрытия другим, более эффективным. Предла гаемое покрытие должно обеспечивать стабильные электри ческие параметры приборов после испытаний во влажной камере, термоциклировании. С этой целью была опробована
защита сварных соединений эмалью ЭП-91. Эмаль |
удобна |
в подготовке к нанесению (имеет меньшую вязкость) |
и об |
ладает лучшими механическими свойствами. |
|
L
|
|
|
Рис. 2. |
Гистограмма |
распределе |
О |
|
|
ния приборов по (3 после выдержки |
||
30 |
60 |
в камере |
влаги: |
ЭП-91 (1) и |
|
|
Время, |
сутки |
|
ЭП-96 (2) |
|
|
|
|
|
Для сравнения защитных качеств эмалевого и лакового покрытий были взяты две партии приборов — опытная и контрольная. О качестве покрытия судили по электрическим параметрам приборов, в частности, по коэффициенту усиле ния — наиболее чувствительному к состоянию поверхности.
Обе партии испытывали при |
100-кратном |
циклировании |
(цикл —60+130°С), проводили |
выдержку |
при комнатной |
температуре, а затем во влажной камере в течение 60 сут. Качество приборов характеризовалось изменением коэф
фициента усиления р при циклировании и испытании во влажной камере. Результаты испытаний представлены на гистограммах (см. рис. 1—3). Анализ полученных результа
тов показал, |
что качество опытных приборов |
выше конт |
рольных, что |
позволило провести расширенные |
испытания |
в производстве. |
|
|
|
Рис. 3. Гистограмма |
распределе |
||
30 |
60 |
ния |
приборов |
по Р после выдержки |
|
|
яремя, сутки |
при |
комнатной |
температуре: ЭП-91 |
|
|
|
(1) и ЭП-96 |
(2) |
||
|
|
|
ВЫВОДЫ
1. Изучена возможность применения эмали ЭП-91 вместо лака ЭП-96 для защиты траверс ножек кремниевых прибо ров.
2. Эмаль ЭП-91 можно рекомендовать к внедрению в производство.
ПРИМЕНЕНИЕ'ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ФЕНИЛОНА С-4 ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ ПРИБОРОВ
Л. Б. СОКОЛОВ, Т. В, КУДИМ, Л. А. ПАРХОМЕНКО, Г, Г. АФАНАСЬЕВ
Одной из основных проблем в производстве полупровод никовых приборов является разработка эффективных мето дов стабилизации и защиты поверхности полупроводника [1].
Полупроводниковые приборы должны надежно работать в условиях повышенных и пониженных температур, длитель ного воздействия вибрационных нагрузок, одиночных и мно гократных ударов, а также в условиях жестких электричес ких режимов. Все это определяет требования, которые предъ являются к защитным покрытиям.
В настоящее время для защиты полупроводниковых при боров применяются кремнийорганические покрытия [2], имею щие наряду с достоинствами ряд недостатков, самое значи тельное из них — нестойкость к циклическим изменениям температур.
Была поставлена задача найти новое защитное покры тие, удовлетворяющее всем техническим требованиям. С этой целью были опробованы следующие полимеры: фенилон С-2, фенилон С-4, сульфон ЗИ, полиарилат Д-4В, диэлектричес кие свойства которых (см. табл. 1) позволяли судить об их пригодности для защиты приборов.
После предварительных испытаний был выбран фенилон С-4. Приборы, защищенные этим полимером, имели наибо лее стабильные параметры. При покрытии остальными по лимерами наблюдалось ухудшение параметров и невоспроизводимость их от партии к партии. Изучение механических свойств фенилона С-4 (см. табл. 2) показало, что этот по лимер образует эластичную пленку с высокой прочностью.
32
Т а б л и ц а I
Диэлектрические свойства полимерных покрытий
Наименование
Фенилон С-2
Фенилон С-4
Сульфон ЗИ Полиарилат Д-4В
j |
Удельное объем- |
j |
Электричес- |
j |
|
||
1 |
ное сопротивле- |
кая проч- |
j |
|
tg а |
||
j |
ние при 20° С, |
\ |
кость, |
; |
|||
|
|||||||
j |
ом ■см |
| |
кв/мм |
|
|
|
|
|
6,2-1015 |
|
77 |
|
|
3,5-10-2 |
|
|
1,4-1015 |
|
103,4 |
|
|
3-10-2 |
|
|
4,6-1015 |
|
83,8 |
|
|
2,3-10-2 |
|
|
7,7-1015 |
|
180 |
|
|
4-10-3 |
|
|
|
|
Таблица 2 |
|
Механические свойства пленки |
|
|
|
|
Твердость по |
Прочность на |
■']' Прочность на |
|
Наименование |
маятниковому |
удар, кгС’СМ, |
I |
изгиб, мм. |
|
прибору |
не менее |
j |
не более |
|
не менее |
|
i |
|
Фенилон С-4 |
0,8 |
50 |
|
1 |
Фенилон С-4 представляет собой ароматический поли амид — продукт поликонденсации ароматических диаминов (м- и н-фенилендиаминов) и производных ароматических дикарбоновых кислот (изофталевой и терефталевой):
Для фенилона характерны высокие |
температуры перехо |
||||
дов |
(стеклования |
и плавления) |
и, следовательно, |
достаточ |
|
но |
высокая (до |
260°С) температура длительной эксплуата |
|||
ции, повышенная |
радиационная |
и |
химическая |
стойкость. |
Электрические свойства лаковых покрытий из фенилона со храняются после выдержки в течение 5000 час при 250°С.
3. Заказ 12029, |
33 |
Для испытаний фенилона С-4 в качестве защитного по крытия кремниевых приборов были приготовлены растворы его в диметилформамиде. Все испытания проводились в сравнений с контрольными приборами, защищенными по крытием, применяемым в производстве.
Прежде всего необходимо было подобрать концентрацию связующего и режим термообработки. Контроль за качест вом покрытия вели по изменению коэффициента усиле ния а. Зависимость коэффициента усиления а от концентра ции полимера представлена на гистограммах (-ем. рис. 1—3), из которых видно, что оптимальной следует считать 5%-ную концентрацию. Эта концентрация позволяет получить плен ку, обеспечивающую повышение коэффициента усиления прибора, кроме того, лак 5%-ной концентрации наиболее технологичен.
Рис. I. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 3% вес\ 1 — до лаки
ровки; 2 — после лакировки
Для выбора условий получения качественной пленки бы ли запущены в технологический цикл несколько партий с различными режимами термообработки. Время термообра ботки (не менее 15 час) выбиралось с учетом того, чтобы после выдержки пленки при температуре 130°С потерь в ве се не наблюдалось (см. рис. 4), что указывает на полное удаление растворителя.
На гистограммах рис. 5, 6 представлено распределение приборов по коэффициенту усиления при различных режи-
34
Количество приборов, &
Рис. 2. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 5% вес: 1 — до лаки
ровки; 2 — после лакировки
Количество приборов, %
Рис. 3. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 7% вес: 1 — до лаки
ровки; 2 — после лакировки
мах термообработки. Из сравнения этих результатов видно, что коэффициент а практически не изменяется при режиме термообработки: 1 час на воздухе, 15 час при 130°С. В дру гих режимах отсутствует выдержка покрытия на воздухе и коэффициент усиления значительно ниже. Увеличение про должительности термообработки при этом не дает улучше ния качества. Выдержка на воздухе в течение часа предот
3' |
35 |
вращает стягивание пленки, а продолжительный нагрев и медленное снятие его обеспечивают полное удаление раство рителя и стабилизацию покрытия.
Таким образом, качественную пленку на поверхности крем ниевого прибора можно получить при 5%-ной концентрации
Врем* час
Рис. 4. Зависимость потери веса пленки от
времени при 130° С
Количество приборов, Т
Рис. 5. Гистограмма распределения приборов по а
при различных режимах термообработки пленки: до лакировки (1), в течение 15 час при 130°С 24 час при
180° С (2); 20 час при 130° С (3)
36
|
количество |
приборов, |
% |
|
Рис. 6. Гистограмма распределения |
приборов по |
а |
||
при режиме термообработки пленки 1 |
час на |
воздухе, |
||
15 час |
при 130°С: до лакировки (1): |
после |
термооб |
|
работки |
(2) |
|
|
|
фенилона С-4 в диметылформамиде и режиме термообработ ки: I час на воздухе, 15 час при 130°С.
Дальнейшие испытания исследуемого защитного покры тия проходили в соответствии с технологическим циклом в сравнении с контрольными партиями. Были сделаны .заме ры электрических параметров при Цитировании (—60; + 130°С), при 130°С и проверена стабильность при 20°С. Ре зультаты представлены на гистограммах рис. 7, 8. Приборы опытной партии имеют лучшее распределение по коэффи циенту усиления и более низкие уровни обратных токов.
После проведения технологических испытаний было вскрыто 10% опытных и Г0% контрольных приборов. Под микроскопом (х32) произведен осмотр внешнего вида плен ки. У опытных приборов лаковая пленка осталась без изме нения, на некоторых контрольных приборах видны трещины и отслаивание.
Для выяснения надежности приборов, защищенных фснилоном С-4, часть опытных и контрольных партий была по ставлена на факультативные испытания в течение 20 дней в режимах UK= 35 в, 1к = 330 ма и1!к = 40 в, 1к =300 ма.
Факультативные испытания дали положительные результаты, ни один прибор из строя не вышел.
л7