Файл: Методы стабилизации параметров полупроводниковых приборов [сборник статей]..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 30.10.2024

Просмотров: 37

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

ствия окружающей среды при частичной разгерметизации корпуса в процессе монтажа и эксплуатации.

Защитное покрытие траверс должно удовлетворять сле­ дующим требованиям:

1.Отсутствие компонентов, вступающих в реакцию с алюминием.

2.Паро- и влагонепроницаемость. -

3.Минимальная усадка пленки в диапазоне температур

—60+150°С, так как толщина проводника «25 мкм и неболь­ шие внутренние напряжения пленки могут привести к разры­ ву сварного соединения.

Для изоляции сварных соединений в производстве при­ меняют лак ЭП-96. Однако покрытие на его основе имеет недостаточно хорошие механические характеристики и весь­ ма невоспроизводимо по свойствам от партии к партии. Эти недостатки настолько существенны, что возник вопрос о за­ мене этого покрытия другим, более эффективным. Предла­ гаемое покрытие должно обеспечивать стабильные электри­ ческие параметры приборов после испытаний во влажной камере, термоциклировании. С этой целью была опробована

защита сварных соединений эмалью ЭП-91. Эмаль

удобна

в подготовке к нанесению (имеет меньшую вязкость)

и об­

ладает лучшими механическими свойствами.

 

L

 

 

 

Рис. 2.

Гистограмма

распределе­

О

 

 

ния приборов по (3 после выдержки

30

60

в камере

влаги:

ЭП-91 (1) и

 

Время,

сутки

 

ЭП-96 (2)

 

 

 

 

 


Для сравнения защитных качеств эмалевого и лакового покрытий были взяты две партии приборов — опытная и контрольная. О качестве покрытия судили по электрическим параметрам приборов, в частности, по коэффициенту усиле­ ния — наиболее чувствительному к состоянию поверхности.

Обе партии испытывали при

100-кратном

циклировании

(цикл —60+130°С), проводили

выдержку

при комнатной

температуре, а затем во влажной камере в течение 60 сут. Качество приборов характеризовалось изменением коэф­

фициента усиления р при циклировании и испытании во влажной камере. Результаты испытаний представлены на гистограммах (см. рис. 1—3). Анализ полученных результа­

тов показал,

что качество опытных приборов

выше конт­

рольных, что

позволило провести расширенные

испытания

в производстве.

 

 

 

Рис. 3. Гистограмма

распределе­

30

60

ния

приборов

по Р после выдержки

 

яремя, сутки

при

комнатной

температуре: ЭП-91

 

 

(1) и ЭП-96

(2)

 

 

 

ВЫВОДЫ

1. Изучена возможность применения эмали ЭП-91 вместо лака ЭП-96 для защиты траверс ножек кремниевых прибо­ ров.

2. Эмаль ЭП-91 можно рекомендовать к внедрению в производство.


ПРИМЕНЕНИЕ'ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ФЕНИЛОНА С-4 ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ ПРИБОРОВ

Л. Б. СОКОЛОВ, Т. В, КУДИМ, Л. А. ПАРХОМЕНКО, Г, Г. АФАНАСЬЕВ

Одной из основных проблем в производстве полупровод­ никовых приборов является разработка эффективных мето­ дов стабилизации и защиты поверхности полупроводника [1].

Полупроводниковые приборы должны надежно работать в условиях повышенных и пониженных температур, длитель­ ного воздействия вибрационных нагрузок, одиночных и мно­ гократных ударов, а также в условиях жестких электричес­ ких режимов. Все это определяет требования, которые предъ­ являются к защитным покрытиям.

В настоящее время для защиты полупроводниковых при­ боров применяются кремнийорганические покрытия [2], имею­ щие наряду с достоинствами ряд недостатков, самое значи­ тельное из них — нестойкость к циклическим изменениям температур.

Была поставлена задача найти новое защитное покры­ тие, удовлетворяющее всем техническим требованиям. С этой целью были опробованы следующие полимеры: фенилон С-2, фенилон С-4, сульфон ЗИ, полиарилат Д-4В, диэлектричес­ кие свойства которых (см. табл. 1) позволяли судить об их пригодности для защиты приборов.

После предварительных испытаний был выбран фенилон С-4. Приборы, защищенные этим полимером, имели наибо­ лее стабильные параметры. При покрытии остальными по­ лимерами наблюдалось ухудшение параметров и невоспроизводимость их от партии к партии. Изучение механических свойств фенилона С-4 (см. табл. 2) показало, что этот по­ лимер образует эластичную пленку с высокой прочностью.

32

Т а б л и ц а I

Диэлектрические свойства полимерных покрытий

Наименование

Фенилон С-2

Фенилон С-4

Сульфон ЗИ Полиарилат Д-4В

j

Удельное объем-

j

Электричес-

j

 

1

ное сопротивле-

кая проч-

j

 

tg а

j

ние при 20° С,

\

кость,

;

 

j

ом ■см

|

кв/мм

 

 

 

 

6,2-1015

 

77

 

 

3,5-10-2

 

1,4-1015

 

103,4

 

 

3-10-2

 

4,6-1015

 

83,8

 

 

2,3-10-2

 

7,7-1015

 

180

 

 

4-10-3

 

 

 

 

Таблица 2

 

Механические свойства пленки

 

 

 

Твердость по

Прочность на

■']' Прочность на

Наименование

маятниковому

удар, кгС’СМ,

I

изгиб, мм.

 

прибору

не менее

j

не более

 

не менее

 

i

 

Фенилон С-4

0,8

50

 

1

Фенилон С-4 представляет собой ароматический поли­ амид — продукт поликонденсации ароматических диаминов (м- и н-фенилендиаминов) и производных ароматических дикарбоновых кислот (изофталевой и терефталевой):

Для фенилона характерны высокие

температуры перехо­

дов

(стеклования

и плавления)

и, следовательно,

достаточ­

но

высокая (до

260°С) температура длительной эксплуата­

ции, повышенная

радиационная

и

химическая

стойкость.

Электрические свойства лаковых покрытий из фенилона со храняются после выдержки в течение 5000 час при 250°С.

3. Заказ 12029,

33


Для испытаний фенилона С-4 в качестве защитного по­ крытия кремниевых приборов были приготовлены растворы его в диметилформамиде. Все испытания проводились в сравнений с контрольными приборами, защищенными по­ крытием, применяемым в производстве.

Прежде всего необходимо было подобрать концентрацию связующего и режим термообработки. Контроль за качест­ вом покрытия вели по изменению коэффициента усиле­ ния а. Зависимость коэффициента усиления а от концентра­ ции полимера представлена на гистограммах (-ем. рис. 1—3), из которых видно, что оптимальной следует считать 5%-ную концентрацию. Эта концентрация позволяет получить плен­ ку, обеспечивающую повышение коэффициента усиления прибора, кроме того, лак 5%-ной концентрации наиболее технологичен.

Рис. I. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 3% вес\ 1 — до лаки­

ровки; 2 — после лакировки

Для выбора условий получения качественной пленки бы­ ли запущены в технологический цикл несколько партий с различными режимами термообработки. Время термообра­ ботки (не менее 15 час) выбиралось с учетом того, чтобы после выдержки пленки при температуре 130°С потерь в ве­ се не наблюдалось (см. рис. 4), что указывает на полное удаление растворителя.

На гистограммах рис. 5, 6 представлено распределение приборов по коэффициенту усиления при различных режи-

34

Количество приборов, &

Рис. 2. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 5% вес: 1 — до лаки­

ровки; 2 — после лакировки

Количество приборов, %

Рис. 3. Гистограмма распределения приборов по а при концентрации связующего 7% вес: 1 — до лаки­

ровки; 2 — после лакировки

мах термообработки. Из сравнения этих результатов видно, что коэффициент а практически не изменяется при режиме термообработки: 1 час на воздухе, 15 час при 130°С. В дру­ гих режимах отсутствует выдержка покрытия на воздухе и коэффициент усиления значительно ниже. Увеличение про­ должительности термообработки при этом не дает улучше­ ния качества. Выдержка на воздухе в течение часа предот­

3'

35


вращает стягивание пленки, а продолжительный нагрев и медленное снятие его обеспечивают полное удаление раство­ рителя и стабилизацию покрытия.

Таким образом, качественную пленку на поверхности крем­ ниевого прибора можно получить при 5%-ной концентрации

Врем* час

Рис. 4. Зависимость потери веса пленки от

времени при 130° С

Количество приборов, Т

Рис. 5. Гистограмма распределения приборов по а

при различных режимах термообработки пленки: до лакировки (1), в течение 15 час при 130°С 24 час при

180° С (2); 20 час при 130° С (3)

36

 

количество

приборов,

%

Рис. 6. Гистограмма распределения

приборов по

а

при режиме термообработки пленки 1

час на

воздухе,

15 час

при 130°С: до лакировки (1):

после

термооб­

работки

(2)

 

 

 

фенилона С-4 в диметылформамиде и режиме термообработ­ ки: I час на воздухе, 15 час при 130°С.

Дальнейшие испытания исследуемого защитного покры­ тия проходили в соответствии с технологическим циклом в сравнении с контрольными партиями. Были сделаны .заме­ ры электрических параметров при Цитировании (—60; + 130°С), при 130°С и проверена стабильность при 20°С. Ре­ зультаты представлены на гистограммах рис. 7, 8. Приборы опытной партии имеют лучшее распределение по коэффи­ циенту усиления и более низкие уровни обратных токов.

После проведения технологических испытаний было вскрыто 10% опытных и Г0% контрольных приборов. Под микроскопом (х32) произведен осмотр внешнего вида плен­ ки. У опытных приборов лаковая пленка осталась без изме­ нения, на некоторых контрольных приборах видны трещины и отслаивание.

Для выяснения надежности приборов, защищенных фснилоном С-4, часть опытных и контрольных партий была по­ ставлена на факультативные испытания в течение 20 дней в режимах UK= 35 в, 1к = 330 ма и1!к = 40 в, 1к =300 ма.

Факультативные испытания дали положительные результаты, ни один прибор из строя не вышел.

л7