Файл: Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках пер. с англ.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 184

Скачиваний: 3

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

162

Глава 6. Излучательные переходы

сдвиг квазиуровыя Ферми х). Однако никакого сдвига не обна­ ружено!

Такое поведение ведет к изображенной на фиг. 6.44 модели, которая включает донорные состояния, обусловленные неконт­ ролируемыми остаточными примесями, вероятно Si, находящим­ ся на местах Ga. Донорные состояния близки к краю зоны про­ водимости и на диаграмме плотности состояний перекрываются с хвостом зоны проводимости. При уровнях возбуждения, доста­ точных для наблюдения излучения, электронный квэзиуровень Ферми выше донорных состояний. Если вероятность переходов

Ф и г . 6.43. Переходы «зона проводимости — валентная зона» и «зона про­ водимости — акцептор», а также соответствующие ожидаемые спектры излучения для GaAs р-типа.

Короткие стрелки указывают движение квазиуровней Ферми и максимумов излучения при увеличении возбуждения. QFLE — квазнуровень Ферми для электронов; QFLH

то же для дырок.

между донорами и акцепторами больше, чем вероятность перехо­ дов «зона проводимости — акцептор», то основной будет излуча­ тельная рекомбинация между донорами и акцепторами. Электро­ ны будут «утекать» из зоны проводимости через донорные состоя­ ния, и положение квазиуровня Ферми не будет влиять на спектр излучения.

Аналогичное заключение было сделано и для GaAs ;г-тина [52], где основное конечное состояние при излучательной рекомбина­ ции представляет собой остаточный акцептор,— вероятно, Si на местах As. Как показано на фиг. 6.45, в умеренно легирован­ ном GaAs гг-типа донорная зона перекрывается с хвостом зопы проводимости. Уровни акцептора расположены приблизительно на 30 мэВ выше валентной зоны. Если по мере возрастания воз­ буждения дырочный квазиуровень Ферми сдвигается глубже

х) На более современном уровне вопрос об образовании хвостов и харак­ тере спектров излучения сильно легированного GaAs разобран в работах [52*—54*].— Прим, перев.

§ 6. Донорно-акцепторные переходы

163

в валентную зону, то переходы «донор — валентная зона» давали бы спектр излучения с порогом при Е е Е в, положение макси­ мума которого сдвигалось бы к высоким энергиям. Хотя этот сдвиг из-за большей эффективной массы в валентной зоне был бы меньше, чем предполагалось для материала p-типа, тем не менее при создании 1,5 -ІО18 дырок в 1 см3 ожидался сдвиг на 7 мэВ. Но и в этом случае сдвига не было обнаружено, а максимум излучения в GaAs ?і-типа с умеренным легированием оказался

Ф и г. 6.44. Модель излучательпой рекомбинации для случая, когда допорно-акцепторные переходы являются доминирующими рекомбинационными процессами

в GaAs р-тппа.

Ф и г. 6.45. Модель излучательной ре­ комбинации между донорами и остаточными акцепторам в GaAs и-тнпа.

при энергии Eg — 30 мэВ = E g — ЕА. Такое поведение интер­ претируется опять как следствие донорно-акцепторных перехо­ дов, которые не зависят от положения квазиуровней Ферми.

Впротивоположность описанному выше поведению умеренно

исильно легированных образцов, спектр излучения сильно ком­ пенсированного GaAs сдвигается к более высоким энергиям при увеличении скорости возбуждения. Такой сдвиг наблюдается как при возбуждении электронным пучком х), так п при фотолюминес­ ценции [54, 54*, 59*]. Как показано на фиг. 6.46, энергия макси­ мума излучения для сильно компенсированного GaAs п-типа возрастает логарифмически при возрастании интенсивности излу­

чения

(и почти логарифмически со

скоростью

возбуждения).

В наблюдавшейся зависимости для сдвигающегося максимума,

L (ѵ) =

L0 exp (hv/E0), коэффициент

E0 зависит

от компенсации

х) / .

/. Pankove, неопубликованные

результаты.

 

11*


164

Глава

6. Излучательные переходы

п

становится очень

малым в некомпенсированных образцах,

в спектре которых практически нет сдвига максимума излучения. Если бы сдвиг максимума был обусловлен простым заполнением хвостов зоны, то низкоэнергетический край спектра излучения был бы результатом излучательных переходов между всеми состоя­ ниями в хвостах, энергетический зазор между которыми одинаков, и потому нпзкоэнергетическпй спад описывался бы экспонентой. Это согласуется с экспериментом. Однако высокоэнергетический край спектра излучения при низкой температуре должен был

Интенсивность, произв. ед.

Ф п г. 6.46. Зависимость энергии фотонов в максимуме полосы от ос интен­ сивности для образца компенсированного GaAs [54].

SD — ХА = 3,7 -10■0 см-3; ND - ЛТА = 2,5-10" см-3.

бы резко обрезаться при энергии фотонов, соответствующей рас­ стоянию между двумя квазиуровиями Ферми.

Излучательные переходы в акцепторную зону обеспечивали бы такое же поведение спектра до тех пор, пока дырочный квази­ уровень Ферми проходит через акцепторную зону. Когда акцеп­ торная зона полностью заполняется дырками, спектр излучения должен был бы приблизительно воспроизводить форму акцептор­ ной зоны. Эта форма оставалась бы постоянной, в то время как максимум излучения сдвигался бы к высоким энергиям с возраста­ нием возбуждения, так как электронный квазиуровень Ферми уходит глубже в зону проводимости.

Эксперимент, однако, показывает, что с возрастанием возбуж­ дения спектр меняется: хотя низкоэнергетический край спектра и сохраняет одинаковую форму, высокоэнергетический край ста­ новится более резким. Это наблюдение приводит к заключению, что излучательные переходы в данном случае — не просто пространственно локализованная рекомбинация через акцептор­ ный центр.

Приемлемая модель состоит в том, что излучение обусловлено переходами, сопровождающимися туннелированием между прост­ ранственно разделенными верхним и нижним состояниями. На фиг.

$ 6. Доиорпо-ащепторные переходы

165

6.47 показана зависящая от координаты энергетическая диаг­ рамма зонной структуры, возмущенной сильным легированием. Когда квазиуровни Ферми проходят через верхние и нижние

Ф и г. 6.47. Излучение, сопровождающееся туннелированием в компенсиро­ ванном GaAs при низких и высоких скоростях возбуждения.

QFLE — квазнуровень Ферми для электронов; QFL1I — то же для дырок.

состояния, первыми получают возможность принять участие в излучательной рекомбинации наиболее удаленныр группы состоя­ ний, причем эта рекомбинация сопровождается туннелировани­ ем на большие расстояния. За­ тем с увеличением уровня воз­ буждения при туннелировании на более короткое расстояние начинают излучаться более вы­ сокоэнергетические фотоны. При еще более высоком уровне воз­ буждения может происходить локализованная рекомбинация (без туннелирования). Так как туннелирование менее важно при переходах, генерирующих

Фиг . 6.48. Логарифмическая за­ пись спектра GaAs p-типа при 4,2 К [36].

Примечателен крутой спад на высокоэнер­ гетическом краю спектра вблизи уровня Ферми, где акцепторная зона сливается

с валентной зоной.

высокоэнергетические фотоны, то высокоэиергетический край спек­ тра излучения становится значительно более крутым.


166

Глава 6. Излучательные переходы

Отметим, что переходы происходят между донорами и акцепто­ рами, так что наиболее крутой, высокоэнергетический край спект­ ра определяется характером тех краев донорной и акцепторной зон, которые более удалены от середины запрещенной зоны. Только когда примесная зона сливается с краем собственной зоны (например, акцепторная зона сливается с хвостом валентной зоны), спектр излучения резко обрывается на высокоэнергетическом крае (фиг. 6.48). Резкий обрыв исчезает при увеличении температуры, и затем высокоэнергетический край постепенно сглаживается.

3. Временная зависимость донорно-акцепторных переходов

Вероятность перехода выражается через обратное время жиз­ ни пары. Вероятность перехода экспоненциально уменьшается с возрастанием расстояния между донором и акцептором. Следо­ вательно, рекомбинация при низких энергиях фотонов будет происходить медленнее, чем высокоэнергетические переходы,— более удаленные пары живут дольше.

Временную зависимость процессов рекомбинации прекрасно демонстрирует фпг. 6.49. Эта фигура показывает спектр излуче­ ния GaP в различное время после возбуждения. Высокоэнергети­ ческий край спектра излучения спадает гораздо быстрее, чем низкоэнергетпческпй край. Скорость спада была рассчитана на основе модели туннелирования. Согласие между теорией и экс­ периментом для временной зависимости спектрального спада столь же хорошее, как и прп расчете тонкой структуры спектра. «Тун­ нельное послесвечение» при донорно-акцепторных переходах наблюдалось в ZnS [56], ІпР [57] и Si [58].

В GaAs, самокомпенсированном Si, обнаружена временная зависимость фотолюминесценции с такими же свойствами, как н при туннельном послесвечении; относительно же того, что в этом случае имеет место туннельная донорно-акцепторная рекомбина­ ция с излучением фотонов, нет других независимых доказательств1) . В GaAs, легированном Si до концентрации около 5 'ІО18 Si «см-3, как время нарастания фотолюминесценции, так и время ее спада монотонно увеличиваются по мере того, как энергия фотона умень­ шается вдоль широкой полосы излучения с максимумом при 1,37 эВ . Так, при 1,45 эВ постоянная времени нарастания и спада равна 20 нс, а при 1,32 эВ время нарастания 0,7 мкс, а время спада около 2 мкс. Спектры излучения при временном разрешении пока­ зывают соответствующий сдвиг максимума к низким энергиям при больших временах. Аналогичные результаты получены

М Такие доказательства приведены, например, в работе [59*].


Фи г . 6.49. Сравнение теоретических расчетов и экспериментальных изме­ рений для спектров D А -пар в GaP при временнбм разрешении [55].

Теоретические кривые построены с использованием только двух параметров п вида функ­ ции для фононного вклада, полученной из формы спектра при очень больших временах.

168

Глава 6. Излучательные переходы

в легированных Si образцах со значительным избытком электро­ нов или дырок. С другой стороны, некомпенсированный GaAs, содержащий только доноры или акцепторы, всегда имеет быстрые времена ответа (меньшие чем 10-наносекундный эксперименталь­ ный порог).

§ 7. ВНУТРПЗОННЫЕ ПЕРЕХОДЫ

Излучательные переходы внутри валентной зоны были обнару­ жены в германии [60]. Эти переходы были названы «излучением горячих легких дырок», поскольку требуется электрическое поле,

Ф II г. 6.50. Зависимость энергии от координаты и Е (Іс)-диаграмм'а, иллю­

стрирующая возбуждение легких дырок.

чтобы создать неравновесное распределение между легкими и тя­ желыми дырками.

На поверхности германия re-типа имеется инверсионный слой (фиг. 6.50). Толщина этого слоя порядка ІО-5 см; поверхностный потенциал может составлять около 0,3 эВ. Это дает среднее элект­ рическое поле 3 -104 В/см. Когда дырки инжектируются в поле инверсионного слоя, тяжелые дырки подзоны Ѵх приобретают скорость около ІО6 см/с. Следовательно, они пересекают инверси­ онный слой за 10-11 с, что обеспечивает в среднем 10 столкновений с решеткой. Легкие же дырки, которые в 8 раз более подвижны,


§ 7. Внутризонные переходы

169

чем тяжелые дырки [61], испытывают меньше столкновений. Следо­ вательно, легкие дырки ускоряются до больших кинетических энергий, чем тяжелые дырки. Фиг. 6.50 соответствует случаю, когда легкая дырка не претерпела столкновений: легкая дырка сохраняет свою общую энергию относительно уровня Ферми в инверсионном слое. Из-за кривиз­ ны зоны (т. е. из-за внутреннего поля) легкая дырка эффективно уве­ личивает свою кинетическую энер­ гию по отношению к потолку вален­ тной зоны. Электрон из подзоны тяжелых дырок может совершить излучательный прямой переход на горячую легкую дырку. Результи­ рующий спектр излучения (фиг.

6.51) имеет максимум около 6,6 мкм

(0,19 эВ), что соответствует перехо­ дам в области ^^-пространства, где две подзоны, Ух и Ѵ2, стано­ вятся параллельными.

Чтобы различить поверхностные и объемные процессы, было приме­ нено несколько методов:

Ф и г. 6.51. Спектр излучения внутрпзонных переходов па поверхности кристалла Ge [60].

1)Использовался эффект Суля: магнитное поле, параллельное поверхности и перпендикулярное току, может отклонять носители

кповерхности или от нее, т. е. в объем, в зависимости от полярно­ сти магнитного поля.

2)Так как рассматриваемый процесс излучения требует для ускорения легких дырок сильного локального поля, то создающий поле поверхностный обедненный слой может быть заменен обед­

ненным слоем р — л-перехода (см. § 1 гл. 8).

3) При получении оптического изображения удается различить две области: а) область, куда инжектируются дырки и где гене­ рируется сильное основное излучение, а излучение горячих лег­ ких дырок слабо из-за малого локального поля; б) примыкающая поверхностная область или область р — 72-перехода, где преобла­ дает излучение горячих легких дырок.

Задача 1. Совершенный кристалл Ge толщиной в 1 мм освещается при 0 К фотонами с энергией 0,82 эВ = 10 см-1). Поток света составляет

170

Глава 6. Излучательные переходы

ІО13 фотон/см2-с. Предположим, что вероятность перехода не зависит от энер­ гии и что процесс излучения представляет собой непрямые переходы с уча­ стием фононов (-Ёфонона = 0,03 эВ);] время излучательной рекомбинации

0,1 с. Ширина запрещенной зоны Eg = 0,72 эВ; эффективные массы: т* = = 0,2 т (4 долпиы) и = 0,3 т\ коэффицпент преломленпя п = 4.

Найти:

1.Начальную и стационарную величину потока света, проходящего сквозь кристалл.

2.Форму спектра излучения в стационарном режиме.

Задача 2. С точкизрения взаимосвязи между поглощением и излуче­ нием объясните, почему в сильно легированных полупроводниках п- и р-тнпа не наблюдается поглощения, обусловленного переходами «акцептор — донор», хотя прп излучении донорно-акцепторные переходы являются доминирую­ щими.

Задача 3. Соединения GaAs и GaP образуют непрерывный ряд твердых растворов, запрещенная зона у которых меняется от зпачения, соответствую­ щего GaAs, до значения, характерного для GaP. В то время как GaAs — полупроводник с прямой запрещенной зоной, у которого самый нижний минимум зоны проводимости находится при /с = <000), GaP — непрямой полупроводник с самым нижним минимумом при к = (100). В обоих полу­ проводниках максимум валентной зоны расположен при к — (000). При 77 К

прямой минимум зоны проводимости для системы GaAsi-j-P^ меняет свою энергию от 1,5 эВ при х = 0 до 2,9 эВ при х = 1. Долины (100), располо­

женные внутри зоны Бриллюэна, имеют значения энергии в диапазоне от 1,9 эВ (в GaAs) до 2,2 эВ (в GaP).

а) Наппшпте общее выражение для концентрации электронов в соеди­ нении л-тппа, предполагая: 1) зоны параболпческпмн с эффективными массами плотности состояний го$00 = 0,07 и т%00 = 0.34; 2) зазор

между двумя типами зон не зависящим от температуры.

б) Прп инжекции дырок в GaAsi^P,. и-тппа имеет место излучательная и безызлучательная рекомбинации. Опишите зависимость эффектив­ ности излучения от состава твердого раствора (х), когда излучательное

время для электронов в прямом минимуме равно ІО-9 с, для электро­ нов в непрямом минимуме — ІО-0 с, а время жпзнп, определяемое безызлучательной рекомбинацией, составляет 10-8 с.

Задача 4. Рассмотрим два дискретных уровня энергии Et и Ер таких, что

ЕіEf=h<a.

Вероятность того, что за единицу времени электрон из состояния фг совершит переход в состояние фу с испусканием (или поглощением f —у і) излучения

с энергией йсо, дается выражением

£Р—

 

е

Ті

<фі

me А -P I

где А — векторный потенциал

для

излучения и Р — оператор импульса.

Этот результат можно найти в любой книге по квантовой механике. Приме­ ните его к полупроводнику и покажите, что матричный элемент исчезает, если не выполнено условие: кг = -{- q, где q — волновой вектор излуче­ ния, к; и kf — волновые векторы соответственно для начального и конечного

блоховских состояний и

гк; • г

фг=^к; (Г)«

Ь = ик / Г)*ікг 1