Файл: Кремниевые планарные транзисторы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 238

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.
^ / к 1

Глава пятая

М А Л О С И Г Н А Л Ь Н Ы Е ПАРАМЕТРЫ а И ß

5.1.Низкочастотные значения

Впредыдущих главах мы рассматривали интегральные пара­

метры ß, у, а и ß C T , которые можно определить из измерений на постоянном токе или из импульсных измерений, причем последнее позволяет исключить разогрев транзисторов протекающим током.

Эти параметры используются для изучения физических процессов

втранзисторах, например рекомбинации в базе и эмиттере. В мас­

совом производстве измерение коэффициента ß C T дает возможность производить простую разбраковку приборов на группы по усили­ тельным свойствам. Однако транзисторы очень часто используются

вусилительных схемах для усиления малых периодических сиг­

налов (AU э р . п

(t) <

ф г , где AUэр-п

(t) — переменное напряжение

на эмиттерной

р-п

переходе). Тогда

приходится вводить малоснг-

нальные или дифференциальные коэффициенты а, ß, у и В, завися­ щие от частоты переменного сигнала. Даже на низких частотах ин­ тегральные и дифференциальные параметры могут не совпадать [77]. Вычислим дифференциальные параметры ß, у, а и В.

Рассмотрим простейший случай низких частот, когда частот­

ная зависимость параметров практически отсутствует*'.

Ограни­

чимся случаем п-р-п транзисторов, поскольку для р-п-р

приборов

результаты аналогичны.

 

По определению, дифференциальный коэффициент переноса

носителей через базу равен

 

K = dIJdIm.

(5.1)

Этот параметр можно легко выразить через интегральный

циент переноса ß n . Действительно,

согласно (3.29) І п к

Дифференцируя это равенство по Іпэ,

получаем

ß n = ß n + / n 8 ( # n / < * / » a ) .

коэффи­

=ßn ^n8 -

(5-2)

Из выражения (5.2) следует, что если dfijdl 8 - > 0, то коэффициен­ ты ß„ и ß„ совпадают. Как было показано в § 4.2, величина ß n остает­ ся почти постоянной в области малых и средних токов вплоть до токов / к (4.44), когда транзистор входит в режим насыще-

*> На самом деле, для современных кремниевых планарных транзисторов низкими частотами можно считать частоты f < 1 МГц.

124


ния. При / к > / к 1 или / к 4 (4.46) происходит расширение квази» нейтральной базы в область коллекторного перехода с одновремен­ ным проявлением большого уровня инжекции носителей в базе вблизи границы (х = хка) металлургического перехода, что вызы­ вает быстрый спад коэффициента ß n .

Таким образом,

можно

считать,

что при / к

<

Іи1 или

/ к <

< І т n/dlna

« 0

и ß„

— ß n . Следовательно,

в

широком

диа­

пазоне токов /„

дифференциальный

коэффициент

переноса ß n

мож­

но рассчитать по той же формуле (3.38), что и интегральный коэффи­

циент

ß n .

Лишь при

токах / к > / к 1 или Ік > І к і d ßn/dlng

< О

и ß„

<

ß„.

 

 

Аналогично вводится дифференциальный коэффициент инжек­

ции эмиттерного р-п

перехода:

 

 

 

 

4n = dIn(xl)ldI3,

(5.3)

где / э = Іп(хэ)-\-Uрп +Ір(х'э) — полный эмиттерный ток. Из ра­ венства (3.46) имеем Іп{х"э) ynIa. Дифференцируя по / э , находим связь между дифференциальным и интегральным коэффициентом инжекции:

 

 

Ѵп =

Ѵп + /

э ^ -

(5.4)

 

 

 

 

 

dig

 

 

В §

4.2,

указывалось,

что

при

малых токах

(/ э ^ 100

-f-

— 10 ООО мкА,

в зависимости

от площади эмиттера)

коэффициент

инжекции

убывает из-за влияния

рекомбинации в эмиттерной

р-п

переходе. Однако экспериментально [54, 55] установлено, что ско­

рость спада коэффициента усиления Всг

в области малых токов не

очень велика: ß C T

убывает менее чем на 30%

при уменьшении тока

на 2

порядка. Следовательно,

 

 

 

 

 

 

 

/э

dBCT/dI3

w / э

0,3 ВJ100

/ 8

< 0,03

 

при

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ß C T =10,

а

/ э (dyjdlj

=

Іэ ( l / ß n ßc 2 T ) ( d ß 0 T / d / e ) < 0,0003.

 

С другой

стороны, обычно у п >

0,90.

Поэтому

во всем диапа­

зоне

рабочих

токов вплоть

до

/ э «

/ к і

и л

и

можно считать

дифференциальный и интегральный коэффициенты инжекции оди­ наковыми Уп = Уп-

Дифференциальный коэффициент усиления по току или коэффи­ циент передачи тока в схеме с общей базой по определению равен

a = dlnjdlg.

(5.5)

Поскольку Іпк = al э , то, дифференцируя по / э ,

получаем

а = а + / э - # - .

(5.6)

125


В

области

малых

токов

/,, <

100

10 ООО

мкА

коэффициент

а =

Рп

Уп убывает

вследствие

уменьшения коэффициента

инжек­

ции

уп.

Но

поскольку Iada/dl0

 

=

п /а сгу,г /с?/а g 0,0003 и

а ^ І ,

то

при

малых токах коэффициенты

усиления — интегральный а и

дифференциальный

а—совпадают:

 

а =-- а.

 

 

 

 

При больших токах

/ а 2 & / к 1

или / К 4 коэффициент а убывает

вследствие

уменьшения

 

коэффициента

переноса

fin(Iя).

Теперь

I э (da/dl

э) =

ynI 3d$JdI э

<

0.

Следовательно,

когда

транзистор

вошел в режим насыщения, дифференциальный коэффициент уси­ ления по току становится меньше интегрального.

Остается рассмотреть дифференциальный коэффициент усиле­ ния по току в схеме с общим эмиттером:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

B=rdIK/dIß,

 

 

 

 

 

 

 

(5.7)

где

/ б

= / б

 

a +

/ös + Л Р - П

+

/ р ( % э ) —

полный

базовый

ток.

 

 

Поскольку

/ к

=--• ß C T /б ,

то,

дифференцируя

по

/ б ,

получаем

ß = - - ß C T + / 6 ( d ß 0 T / d / 6 ) .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Но

/ ѳ

=

/ к

/ й с т

и dBCT/dIg

= (dBCT/dIK)

(dlJdl5)

= (dB0Jd/K)

B.

Тогда

ß =

ß C T + ß ( / K / ß C T ) ( d ß C T / d / K ) .

 

 

 

 

окончательно

 

Решив последнее уравнение относительно ß ,

имеем

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Я =

 

 

 

 

Ё£т

 

 

.

 

 

 

 

(5.8)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

l-(IK/BCT)(dBCTJdIIt)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Как показывает

эксперимент

[55],

интегральный коэффициент

ß C T

остается

почти

постоянным

в

области

средних

токов

1 ма <

< /э

< Ік1.

Поэтому

(dBCT/dIK)(IK/BCT)

 

 

» 0

и ß =

ß „ .

 

 

 

В

области малых

токов

/ к

^

 

100 -f- 1000

мкА,

где

параметр

ß C T

убывает,

величина

(/ K C T )

(dBCJ/dIK)

S

0,003.

Следователь­

но, и при малых токах ß

=

ß C T .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

При больших

токах

коллектора

( / к

>

/ к

1

или / к >

/ І ( 4 )

ß C T

убывает, dBcJdIv

<

 

0

и ß

<

ß C T .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Найдем в

явном

виде

производную dBcJd/K

при

/ к

>

/ к 1

с помощью формулы (4.59), в которой / К 5 Э

=

 

Ік:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dBCT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dIK

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вст Be

дгРп

 

In

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4т г,

 

 

 

 

 

 

 

 

X

 

С Л

MrfK

Sa

(5.9а)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

In

 

UK

с л

^<ік

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4т„

Фп

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

При

/ к > / к

і

выражение

(5.9а)

упрощается:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dBcJdIK\j

 

 

>/

= —ßC T 2/K ,//f{ .

 

 

(5.06)

126


Следовательно, в области больших токов коллектора дифферен­ циальный коэффициент усиления В равен, согласно (5.8) и (5.96),

''«- К 1

і + 2 / й 1 / / к

Таким образом, при больших токах дифференциальный и интеграль­ ный коэффициенты усиления по току снова могут совпадать.

5.2. Частотная зависимость коэффициентов а и В

Как показывает практика, коэффициенты усиления а(со) и ß(co) кремниевых планарных транзисторов (как и транзисторов других типов) обнаруживают плавный спад при увеличении частоты пере­ менного сигнала A U э б ( / ) = сУэ б 7 П ехр (/со/).

На некоторой характеристической частоте fr (или ©г = 2я/у) модуль коэффициента усиления по току в схеме с общим эмиттером

B(<Ù)

становится равным 1, \В(ат)\ = 1. Очевидно,

на

частотах

со >

со7- транзистор уже не дает усиления по току. Поэтому

частота

fr (или (ÙT = 2я/Ѵ) называется предельной частотой

усиления по

току или частотой отсечки. Таким образом, частота /V является одним из важнейших параметров транзисторов. Экспериментально установлено, что /г существенным образом зависит от толщины базы W6, емкости эмиттерного С э и коллекторного Ск р-п переходов. В ВЧ и СВЧ приборах приходится создавать базовые области очень малой толщины W60 = 1,5 ~ 0,15 мкм, чтобы получить значения fr = 100 ~ 10 000 МГц.

Рассмотрим подробнее все факторы, влияющие на частотную зависимость коэффициентов усиления а(со) и В(со).

Зависимость коэффициента инжекции от частоты. Поскольку а(со) = Т;г(С 0 )Рп(0 ) ( Д л я п-р-п прибора), то прежде всего проана­ лизируем частотную зависимость коэффициента инжекции уп((и) эмиттерного р-п перехода. Предположим, что на клеммы эмиттер —-

база помимо постоянного смещения

UАБ подан малый синусоидаль­

ный сигнал A U эб(і) = U э б т ехр

(/со/) ( ( 7 э б 7 П < срг), а на клеммы

коллектор — база или коллектор — эмиттер подано обратное на­ пряжение смещения UK = UK6 или сУк э . Под влиянием перемен­ ного входного напряжения А(Уэ б (/) появляется переменное напря­

жение па эмиттерной р-п переходе AUBP.n(t)

U э р . п т

ехр

(/со/).

Это

напряжение вызывает протекание

через

р-п

переход наряду

с инжекционными составляющими

переменного

эмиттерного

тока

АІп(х'э,

t) = Іпт'э) ехр (/со/) и

АІр(х'э,

/)

=

Ірт(х'э)

exp

(/со/)

новой составляющей тока •— тока заряда барьерной емкости эмит­

терного р-п

перехода А/сэ (/) =

Ісдт

ехр (/со/).

Действительно,

переменное

напряжение AUgp.n(t)

приводит к периодическому из­

менению ширины

р-п перехода в очень небольших пределах, по­

скольку подается

малый сигнал

AU3P.n(t)

< UB6.

Следовательно,

в эмиттерной слое

«-типа электроны будут то притекать из контакта

127


к р-п переходу, то оттекать в контакт в зависимости от увеличения или уменьшения переменным сигналом мгновенного значения прямого смещения Ùар.п + с / я р . п т е х р (/со/) в данный полупе­ риод времени. Аналогичным образом ведут себя дырки — основные носители в базе.

Очевидно, что емкостный

ток ат exp (/со/) протекает лишь во

входной цепи эмиттер — база

и не попадает в выходную коллек­

торную цепь. Тем самым эта составляющая эмиттерного тока яв­ ляется нежелательной, паразитной составляющей, ухудшающей усилительные свойства транзистора. Дифференциальный коэффи­ циент инжекции теперь примет вид

уп =

ішпѴ^)

( 5 Л 0 )

Inm{xl)+IVm(X's)+Irp-nm

+ I>Cr.

где I,p-nm — переменная

составляющая тока рекомбинации в эмит­

терном р-п переходе, существенная лишь при малых постоянных смещениях Uэб = Uар.п 0,5 В. Для вычисления амплитуд пе­ ременных токов в формуле (5.10) удобно рассмотреть эквивалент­ ную схему (рис. 5.1) эмиттерного р-п перехода на малом переменном сигнале, построенную на основе развитых выше соображений. На

этой

схеме С э —- барьерная

емкость эмиттерного р-п

перехода,

определяемая по формуле

 

 

 

 

C'a = Б80

S.Jjß3 р.п (U3

р.п),

(5-И)

где 5

g • полная площадь эмиттерного

р-п перехода (сумма пло­

щадей плоской части и боковых стенок эмиттерного диффузионного

слоя), % а Р - п

ширина эмиттерного р-п перехода. При

обычных

смещениях Uэ р . п

^

0,5 В эмиттерный р-п переход можно

считать

линейным. Тогда

величину Хар.п

находим

из соотношения

(3.16):

^ v ^ - V f ? ' ? , * " * ? * -

 

<5-,2>

Строго говоря,

ширина перехода Xap.n(Uар.п)

в плоской

части

эмиттерного слоя больше, чем в местах боковых закруглений эмит­

тера, поскольку

в плоской части концентрация Na(xa0)

обычно рав­

на

(1 —-5)

1017

см - 3 ,

а на

поверхности пассивной

базы Nsn ~

=

(1 — 10)

101 8

с м - 3 .

Однако

в реальных ВЧ и СВЧ

транзисторах

AT,

AI,.

AU,зр-п зр-п

Рис. 5.1. Эквивалентная схема эмит­ терного р-п перехода на малом сиг­ нале.

128