Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 89

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

102 5. Техническое применение тензорезисторов

Из 6-й колонки таблицы видно, что, за исключением примеров 1 и 2, каждый раз измеряется лишь один вид нагружения, что всегда желательно при измерении определенной величины уси­ лия. Если же нас интересует не нагружение, а общее напряжен­ ное состояние в определенной точке поверхности элемента конструкции, то следует применять схемы и размещение тензоре­ зисторов в соответствии с разд. 5.2.2 и 5.3. В этом случае охва­ тывается полная деформация, вызванная всеми приложенными видами нагружения.

Из данных табл. 5.1 можно также сделать вывод, что как с помощью полумостовой схемы, так и схемы полного моста можно измерить одну и ту же величину нагружения. Правда, эти ва­ рианты, помимо коэффициента чувствительности B's = Unn/Un^ измерительного моста, заметно отличаются также и затратами на проведение измерений. Нагружения на растяжение и сжатие должны измеряться с помощью полумоста (примеры 1 и 2) лишь в том случае, когда с самого начала исключается наложение за счет изгибающего нагружения (как, например, у элементов кон­ струкций на карданной опоре, у тросов, очень тонких раскосов решеток металлоконструкций и т. д.).

Кроме того, в измерениях, где предъявляются высокие тре­ бования к точности, при выборе соответствующего варианта не­ обходимо учитывать также сделанные в разд. 4.2 замечания относительно линейности коэффициента чувствительности моста.

5.5.Особые случаи схем включения

иприменения тензорезисторов

Вданном разделе рассматриваются особые варианты схем включения и особые случаи применения, взятые из практики работы с тензорезисторами. Раздел не претендует на полноту изложения, а показывает лишь необходимость критического под­ хода к решению практических задач измерения.

5.5.1.Компенсация неравномерного распределения механического напряжения

Как при изгибающей нагрузке, так и при нагрузке на рас­ тяжение распределение напряжения во внешнем волокне в слу­ чае, когда размеры элемента конструкции не отвечают требова­ нию «продольные размеры намного больше размеров попереч­ ного сечения», может быть неравномерным. Для компенсации случайных отклонений в зависимости нагрузка — механическое напряжение, возникающих в результате произвольного выбора точки измерения, в подобных случаях рекомендуется последова­ тельно-параллельное соединение нескольких тензорезисторов.


5.5. Особые случаи применения

103

Поясним это на практическом примере. Пусть требуется по­ очередно измерить силы F, действующие на опоры различных машин. Поскольку положение опоры относительно динамомет­ рического чувствительного элемента может в известных преде­ лах колебаться, последний должен иметь достаточно большую поверхность. Были выбраны конструкция и схема, представлен­ ные на фиг. 5.12.

В таком

устройстве

коэффициент

чувствительности

В'е =

= и т и и пе в

известных

пределах не зависит от смещения

точки

приложения

нагрузки в направлении х

или у и, следовательно,

от пространственного соответствия между точками измерения и точкой приложения силы.

Напряжение питания моста Un не изменилось, так как в представленной схеме не меняется сопротивление моста.

5.5.2. Применение тензорезисторов на вращающихся элементах конструкций

Измерение деформаций на вращающихся элементах кон­ струкций в обычном случае исключает возможность непосред­ ственного соединения источника питания, тензорезисторов и уси­ лителей или тензорезисторов и измерительного моста с помощью экранированных кабелей. Если не удается закрепить стабилизи­ рованный источник постоянного напряжения, весь измеритель­ ный мост и регистрирующий прибор (а тем самым и все изме­ рительное устройство) на вращающемся элементе конструкции или бесконтактно передать результат измерения на показываю­ щий измерительный или регистрирующий прибор (например, с помощью передатчика с частотной модуляцией) [4, 10], то пи­ тающее напряжение к тензорезисторам и электрическое напря­ жение измерительной диагонали моста должны коммутироваться через вращающийся измерительный коллектор.


104

5. Техническое применение тензорезисторов

Простейшие вращающиеся коллекторы с контактными коль­ цами обладают тем недостатком, что их переходное сопротивле­ ние изменяется в зависимости от температуры и давления щетки на контактные кольца [2, 8, 11]. Если коммутатор с контактными кольцами включается в полумост (фиг. 5.13,а), то при измерении с проволочными тензорезисторами возможны погрешности по­ рядка 10% и выше, так как контактное изменение сопротивле­ ния коммутатора ДRK накладывается на незначительное измене­ ние сопротивления тензорезистора АЯмех- В таких случаях при­ менение полупроводниковых тензорезисторов значительно более

Вращающаяся

Вращающаяся

часть

часть

а) Полумост 5) Полный мост

Фиг. 5.13. Схема вращающегося коллектора в измерительном мосте.

выгодно, так как их изменение сопротивления Д^мех под влия­ нием механической деформации в 50—100 раз выше (коэффи­ циент К в 50—100 раз выше, чем у проволочных тензорезисто­ ров).

При использовании схем полного моста на вращающемся элементе конструкции (согласно примерам 6 и 8 табл. 5.1, это возможно для всех практически интересных случаев нагруже­ ния) коммутаторы с контактными кольцами включаются после­ довательно с внутренним сопротивлением источника питающего напряжения и с включенным в диагональ моста для преобразо­ вания напряжения UmL усилителем или вольтметром с высоко­ омным входом (фиг. 5.13,6). Поэтому незначительное изменение переходного сопротивления контактов практически не влияет на результат измерения.

Конструкции коммутаторов с контактными кольцами или соответственно варианты схем, у которых изменение переходного сопротивления компенсируется полностью или находится в ма­ лых пределах, описаны в упомянутых выше литературных источ­ никах.

По той же причине, по какой применение коммутаторов с контактными кольцами в полумостовых схемах нежелательно, следует также избегать применения в измерительном мосте про­ стейших штепсельных разъемов (например, однополюсных штеп­


5.5. Особые случаи применения

105

сельных вилок с пружинящим контактом). Стабильность обес­ печивается лишь тогда, когда все соединения выполнены на пайке или имеют особенно надежные штепсельные разъемы (на­ пример, с резьбовым соединением).

5.5.3. Тензорезисторы специального назначения

Для специальных случаев нагружения различными фирмами выпускаются тензорезисторы специального назначения или ком­ бинированные тензорезисторы. Разумеется, эти устройства можно без труда сконструировать из отдельных тензорезисторов.

Широко распространены тензорезисторы, размещенные на об­ щей подложке под углом 90°, которые могут применяться в слу­ чаях 2, 4, 7 и 8 табл. 5.1. Кроме того, имеются тензорезисторы в виде розеток треугольной формы и под углом 45° для измере­ ния деформаций в случае плосконапряженного состояния

(разд. 5.2.2).

Другие специальные комбинации используются для измере­ ния и анализа деформаций в круглых мембранах [1, 11].

Для определения внутреннего напряжения в плоских эле­ ментах конструкций или по крайней мере в элементах, ограни­ ченных равноотстоящими поверхностями, измеряют радиальные или тангенциальные механические напряжения по краям сделан­ ных в элементе небольших отверстий [6]. Для этих целей пред­ лагаются также тензорезисторы розеточной формы.

5.5.4. Согласование динамометрических чувствительных элементов

Если измеряют силу, действующую на рабочий элемент ма­ шины (например, на токарный резец станка или поршень двига­ теля внутреннего сгорания), путем измерения деформации эле­ мента простой формы внутри машины (случай 2, а в разд. 5.1), то следует иметь в виду также возможность возникновения по­ грешности, на которую часто не обращают должного внимания.

Для создания деформаций в элементе конструкции, достаточ­ ных для точного измерения (порядка е = 0,02 ... 0,2%), часто ослабляют закрепление элемента конструкции. Однако при этом надо обеспечить, чтобы собственная частота колебаний детали машины, расположенной между точкой приложения силы и точ­ кой измерения, оставалась бы еще достаточно большой по сравнению с максимальной измеряемой частотой.

В примере, представленном на фиг. 5.14, действующую на

поршень силу (сила давления газов и инерционная сила)

мож­

но представить рядом Фурье

 

П

 

F (0 = 4 г + ]У] Fy cos (vat — Pv).

(5.28)

у—1


106

5.

Техническое применение тензорезисторов

Масса

поршня

и масса штока поршня выше кольцевого паза

(= места измерения) обозначены через т , а модуль упругости ослабленного элемента штока поршня через с. Тогда максималь­ ная измеряемая круговая частота может быть получена из сле-

-Л И 11 iff

тP I

 

IFU)

Поршень

 

 

'Л " 7 I

Шток

Тс" ,'(М

поршня

т -*■ оо

Тензорезисторы

 

Крейцкопф

 

Шатун

Фиг. 5.14. Изменение силы на штоке поршня с помощью тензорезисторов.

дующего уравнения колебательного движения, накладываю­ щегося на ход поршня:

т х +

сх =

Fneimtr

 

(5.29)

Если положить

 

 

 

 

х = х0eiwt,

~ =

bj§, — =

Л

(5.30)

и

 

 

 

 

=

 

 

 

(5-31)

то измеряемая вместо силы Fn сила Fc = сх

вдеформируемой

детали (ослабленное сечение) может быть представлена в виде

 

Fc =

PnT ± W ei™t.

 

(5.32)

Следовательно,

измерение

без искажения(Fc «

Fn)

возможно

только тогда,

когда выполняется

указанное

выше

требование

г) <С 1 (см. также [10]).

 

только что возможности по­

С точки зрения рассмотренной

грешности полупроводниковые тензорезисторы снова ведут себя лучше, чем проволочные или фольговые. Более высокий коэффи­ циент К позволяет измерять меньшие уровни деформации, в связи с чем требуется и меньшее ослабление поперечного сече­ ния. В результате получается более высокая собственная круго­ вая частота по уравнению (5.30).

Те же трудности, разумеется, остаются и при измерении силы с помощью измерительных преобразователей силы (на­ пример, динамометров, расположенных под машинами). Поэ­ тому изготовители таких динамометрических измерительных