Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 89
Скачиваний: 0
102 5. Техническое применение тензорезисторов
Из 6-й колонки таблицы видно, что, за исключением примеров 1 и 2, каждый раз измеряется лишь один вид нагружения, что всегда желательно при измерении определенной величины уси лия. Если же нас интересует не нагружение, а общее напряжен ное состояние в определенной точке поверхности элемента конструкции, то следует применять схемы и размещение тензоре зисторов в соответствии с разд. 5.2.2 и 5.3. В этом случае охва тывается полная деформация, вызванная всеми приложенными видами нагружения.
Из данных табл. 5.1 можно также сделать вывод, что как с помощью полумостовой схемы, так и схемы полного моста можно измерить одну и ту же величину нагружения. Правда, эти ва рианты, помимо коэффициента чувствительности B's = Unn/Un^ измерительного моста, заметно отличаются также и затратами на проведение измерений. Нагружения на растяжение и сжатие должны измеряться с помощью полумоста (примеры 1 и 2) лишь в том случае, когда с самого начала исключается наложение за счет изгибающего нагружения (как, например, у элементов кон струкций на карданной опоре, у тросов, очень тонких раскосов решеток металлоконструкций и т. д.).
Кроме того, в измерениях, где предъявляются высокие тре бования к точности, при выборе соответствующего варианта не обходимо учитывать также сделанные в разд. 4.2 замечания относительно линейности коэффициента чувствительности моста.
5.5.Особые случаи схем включения
иприменения тензорезисторов
Вданном разделе рассматриваются особые варианты схем включения и особые случаи применения, взятые из практики работы с тензорезисторами. Раздел не претендует на полноту изложения, а показывает лишь необходимость критического под хода к решению практических задач измерения.
5.5.1.Компенсация неравномерного распределения механического напряжения
Как при изгибающей нагрузке, так и при нагрузке на рас тяжение распределение напряжения во внешнем волокне в слу чае, когда размеры элемента конструкции не отвечают требова нию «продольные размеры намного больше размеров попереч ного сечения», может быть неравномерным. Для компенсации случайных отклонений в зависимости нагрузка — механическое напряжение, возникающих в результате произвольного выбора точки измерения, в подобных случаях рекомендуется последова тельно-параллельное соединение нескольких тензорезисторов.
5.5. Особые случаи применения |
103 |
Поясним это на практическом примере. Пусть требуется по очередно измерить силы F, действующие на опоры различных машин. Поскольку положение опоры относительно динамомет рического чувствительного элемента может в известных преде лах колебаться, последний должен иметь достаточно большую поверхность. Были выбраны конструкция и схема, представлен ные на фиг. 5.12.
В таком |
устройстве |
коэффициент |
чувствительности |
В'е = |
= и т и и пе в |
известных |
пределах не зависит от смещения |
точки |
|
приложения |
нагрузки в направлении х |
или у и, следовательно, |
от пространственного соответствия между точками измерения и точкой приложения силы.
Напряжение питания моста Un не изменилось, так как в представленной схеме не меняется сопротивление моста.
5.5.2. Применение тензорезисторов на вращающихся элементах конструкций
Измерение деформаций на вращающихся элементах кон струкций в обычном случае исключает возможность непосред ственного соединения источника питания, тензорезисторов и уси лителей или тензорезисторов и измерительного моста с помощью экранированных кабелей. Если не удается закрепить стабилизи рованный источник постоянного напряжения, весь измеритель ный мост и регистрирующий прибор (а тем самым и все изме рительное устройство) на вращающемся элементе конструкции или бесконтактно передать результат измерения на показываю щий измерительный или регистрирующий прибор (например, с помощью передатчика с частотной модуляцией) [4, 10], то пи тающее напряжение к тензорезисторам и электрическое напря жение измерительной диагонали моста должны коммутироваться через вращающийся измерительный коллектор.
104 |
5. Техническое применение тензорезисторов |
Простейшие вращающиеся коллекторы с контактными коль цами обладают тем недостатком, что их переходное сопротивле ние изменяется в зависимости от температуры и давления щетки на контактные кольца [2, 8, 11]. Если коммутатор с контактными кольцами включается в полумост (фиг. 5.13,а), то при измерении с проволочными тензорезисторами возможны погрешности по рядка 10% и выше, так как контактное изменение сопротивле ния коммутатора ДRK накладывается на незначительное измене ние сопротивления тензорезистора АЯмех- В таких случаях при менение полупроводниковых тензорезисторов значительно более
Вращающаяся |
Вращающаяся |
часть |
часть |
а) Полумост 5) Полный мост
Фиг. 5.13. Схема вращающегося коллектора в измерительном мосте.
выгодно, так как их изменение сопротивления Д^мех под влия нием механической деформации в 50—100 раз выше (коэффи циент К в 50—100 раз выше, чем у проволочных тензорезисто ров).
При использовании схем полного моста на вращающемся элементе конструкции (согласно примерам 6 и 8 табл. 5.1, это возможно для всех практически интересных случаев нагруже ния) коммутаторы с контактными кольцами включаются после довательно с внутренним сопротивлением источника питающего напряжения и с включенным в диагональ моста для преобразо вания напряжения UmL усилителем или вольтметром с высоко омным входом (фиг. 5.13,6). Поэтому незначительное изменение переходного сопротивления контактов практически не влияет на результат измерения.
Конструкции коммутаторов с контактными кольцами или соответственно варианты схем, у которых изменение переходного сопротивления компенсируется полностью или находится в ма лых пределах, описаны в упомянутых выше литературных источ никах.
По той же причине, по какой применение коммутаторов с контактными кольцами в полумостовых схемах нежелательно, следует также избегать применения в измерительном мосте про стейших штепсельных разъемов (например, однополюсных штеп
5.5. Особые случаи применения |
105 |
сельных вилок с пружинящим контактом). Стабильность обес печивается лишь тогда, когда все соединения выполнены на пайке или имеют особенно надежные штепсельные разъемы (на пример, с резьбовым соединением).
5.5.3. Тензорезисторы специального назначения
Для специальных случаев нагружения различными фирмами выпускаются тензорезисторы специального назначения или ком бинированные тензорезисторы. Разумеется, эти устройства можно без труда сконструировать из отдельных тензорезисторов.
Широко распространены тензорезисторы, размещенные на об щей подложке под углом 90°, которые могут применяться в слу чаях 2, 4, 7 и 8 табл. 5.1. Кроме того, имеются тензорезисторы в виде розеток треугольной формы и под углом 45° для измере ния деформаций в случае плосконапряженного состояния
(разд. 5.2.2).
Другие специальные комбинации используются для измере ния и анализа деформаций в круглых мембранах [1, 11].
Для определения внутреннего напряжения в плоских эле ментах конструкций или по крайней мере в элементах, ограни ченных равноотстоящими поверхностями, измеряют радиальные или тангенциальные механические напряжения по краям сделан ных в элементе небольших отверстий [6]. Для этих целей пред лагаются также тензорезисторы розеточной формы.
5.5.4. Согласование динамометрических чувствительных элементов
Если измеряют силу, действующую на рабочий элемент ма шины (например, на токарный резец станка или поршень двига теля внутреннего сгорания), путем измерения деформации эле мента простой формы внутри машины (случай 2, а в разд. 5.1), то следует иметь в виду также возможность возникновения по грешности, на которую часто не обращают должного внимания.
Для создания деформаций в элементе конструкции, достаточ ных для точного измерения (порядка е = 0,02 ... 0,2%), часто ослабляют закрепление элемента конструкции. Однако при этом надо обеспечить, чтобы собственная частота колебаний детали машины, расположенной между точкой приложения силы и точ кой измерения, оставалась бы еще достаточно большой по сравнению с максимальной измеряемой частотой.
В примере, представленном на фиг. 5.14, действующую на
поршень силу (сила давления газов и инерционная сила) |
мож |
но представить рядом Фурье |
|
П |
|
F (0 = 4 г + ]У] Fy cos (vat — Pv). |
(5.28) |
у—1
106 |
5. |
Техническое применение тензорезисторов |
Масса |
поршня |
и масса штока поршня выше кольцевого паза |
(= места измерения) обозначены через т , а модуль упругости ослабленного элемента штока поршня через с. Тогда максималь ная измеряемая круговая частота может быть получена из сле-
-Л И 11 iff
тP I
|
IFU) |
Поршень |
|
|
'Л " 7 I |
Шток |
Тс" ,'(М |
поршня |
т -*■ оо |
|
Тензорезисторы |
||
|
||
Крейцкопф |
|
Шатун
Фиг. 5.14. Изменение силы на штоке поршня с помощью тензорезисторов.
дующего уравнения колебательного движения, накладываю щегося на ход поршня:
т х + |
сх = |
Fneimtr |
|
(5.29) |
Если положить |
|
|
|
|
х = х0eiwt, |
~ = |
bj§, — = |
Л |
(5.30) |
и |
|
|
|
|
= |
|
|
|
(5-31) |
то измеряемая вместо силы Fn сила Fc = сх |
вдеформируемой |
детали (ослабленное сечение) может быть представлена в виде
|
Fc = |
PnT ± W ei™t. |
|
(5.32) |
|
Следовательно, |
измерение |
без искажения(Fc « |
Fn) |
возможно |
|
только тогда, |
когда выполняется |
указанное |
выше |
требование |
|
г) <С 1 (см. также [10]). |
|
только что возможности по |
|||
С точки зрения рассмотренной |
грешности полупроводниковые тензорезисторы снова ведут себя лучше, чем проволочные или фольговые. Более высокий коэффи циент К позволяет измерять меньшие уровни деформации, в связи с чем требуется и меньшее ослабление поперечного сече ния. В результате получается более высокая собственная круго вая частота по уравнению (5.30).
Те же трудности, разумеется, остаются и при измерении силы с помощью измерительных преобразователей силы (на пример, динамометров, расположенных под машинами). Поэ тому изготовители таких динамометрических измерительных