Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 70
Скачиваний: 0
|
СПЕЦИАЛЬНЫЕ ФУНКЦИИ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ |
Специальная функция |
1 . у = а „х (1 + a 2x2i |
Признак |
Только искажения 3-го порядка |
Диапазон преобразования |
—х%S i S i j |
Аппроксимирующая прямая |
|
О-го порядка |
|
1 -го порядка
2 -го порядка
3-го порядка
Функция погрешностей
А0УМ
Д,!/(*)
А2У (X)
Максимальное отклонение Думакс, * макс
Точка пересечения характеристики преобразо вания и аппроксимирующих прямых 1-, 2 - и
3-го порядков
Максимальная погрешность
в(,)“ V ( ' + V o)
^(2,==V (1+ V s 2)
XS2= 0,865
Как 2-го порядка
А„у—ааагх3
v |
- w |
C * |
2- * ! ) |
|
||
V |
= |
°o V Р |
- ^ 2) |
|
||
V |
« |
“ |
aOe 2 * 2 |
*0m=X2 |
|
|
Al ^ |
— |
3/3 |
W 2 |
Xl m - y |
||
|
|
|
|
3/ 3 ao V 52 |
X2m |
|
* 5 1 , 2= |
* |
*2 |
|
|
||
" f l U ” |
* |
0,865^ |
|
|||
s |
|
|
2S |
|
|
|
II « |
H |
|
|
|
||
|
w |
|
|
|
F |
ш |
|
|
F |
ss — CL |
v2 |
|
|
|
|
|
От |
2 V 2 |
|
|
||
|
1т |
|
|
K, |
-------4 |
— E |
Ora |
—0,385A. |
|
|
|
I hi |
3 |
/ 3 |
Om |
||
F |
|
= F |
зт |
P гш- l p |
0m |
|
|
|
* ш |
|
2m |
4 |
|
|
С АППРОКСИМАЦИЯМИ И ПОГРЕШНОСТЯМИ |
|
Таблица 3.2 |
|
|
|
||
2. у=ацХ(1 —atx) |
|
3. у = а ах (1 + a,x) |
|
Только искажения 2-го порядка |
|
Только искажения 2-го порядка |
|
—х3s х s ; |
|
ОS х й X, |
|
y(0 ) = a 0x |
|
pl°)=a(|X |
|
|
|
0 (1)= |
аох (I + а ,х 2) |
p<2 ) = a 0 (x + a ix2 2) |
|
yW =aQx (I + a [JCi |
|
1 |
|
|
2 |
Xs 2 = / 2 * 2 |
|
V |
1 + / 2 Л 2 |
Нулевая прямая пересекает характеристику |
Как 2-го порядка |
||
преобразования в точке х — ± |
I |
|
|
* 2 |
|
|
Ацу^а^х1
А,у—а„а, (х — х,) (х — х2)
V = a Oa l ( x2~ Xs2)
V m = W 2 |
|
|
*0m"*2 |
|||||
V |
m |
" - |
V l * 2 |
|
Xlm~ 0 |
|||
A2^m= ~ ~2 V |
|
i z |
* 2 m= ° |
|||||
v(l) |
= + * |
|
|
|
|
|
||
*51,2 |
± X 2 |
|
|
|
|
|
||
v(2) |
-= i_____ v |
|
|
|
||||
si, 2 |
* |
/ 2 |
*2 |
|
|
|||
*(2)=x(3) |
|
|
|
|
|
|
||
S |
|
5 |
|
|
|
|
|
|
^ |
= ¥ |
“ 1 * 2 |
|
|
|
|
|
|
F |
1 т |
= _ — х |
2 |
= — F |
От |
|||
|
|
2 |
|
|
|
|||
F |
2 т |
= — i . F |
От |
|
|
|||
|
|
2 |
|
|
До!/=а(|а,ха
AiK=ao<iiX {x— x2)
v = v i * |
(*- *52) |
|
|||
Vm “ aOal i |
X0m=X2 |
||||
. |
(XoCti |
9 |
|
#5 |
|
Aiym= — |
|
*2 |
*lm= — |
||
|
|
®Oa i |
9 |
-^co |
|
|
|
|
|
|
*2m— £ |
x(J)b Q *(!)=* |
|
|
|||
si |
s 2 |
* 2 |
|
||
*^ 2 “ ± TT7f*2“ |
±0’83*2 |
||||
*(2) = |
JC(3) |
|
|
|
|
s |
s |
|
|
|
|
F . |
= а . х 0 |
|
|
|
|
От |
I |
2 |
|
|
|
|
_ |
a ix 2 |
_ |
^от |
|
1 т |
|
|
4 |
|
4 |
„ |
|
^ о т |
|
|
|
f l « |
" -----6 “ |
|
|
/vopafticpucTHKa нелинейного преобразователя у (x) с аппроксими
рующими прямыми у101 {х), у{1)(х),
(/ ^(х) и функциями погрешностей &1У(х) (слева) и А2у (х) (справа).
a -общ ий |
случай у = а „х |
|
б-частный |
случай |
у |
{\ + a ix + a.1x1)i
=щх i + a J
в - т о |
же |
у = а 0* ( 1 + |
а,л;); |
2 Л |
г - т о |
же |
y= atx (I + |
а {х). |
|
5
3.2. Погрешность нелинейности |
47 |
Среди частных случаев наиболее важен случай 1 (фиг. 3.2,6), учитывающий только искажения третьей степени. Этот случай наиболее характерен для полупроводниковых тензорезисторов, работающих во всех четырех или двух смежных плечах мостовой схемы. (В разд. 4.2 также рассматривается работа мостовой схемы с тензорезистором в одном плече, искажения которой полностью компенсируются.)
Из приведенных примеров однозначно следует, что при дву сторонней регулировке характеристика нелинейного преобразо вателя не может проходить через нулевую точку. Погрешность во всем диапазоне преобразователя будет меньше, когда допу скается ошибка также и в нулевой точке. При двусторонней регулировке в соответствии с определением, согласно которому для измерительного прибора
Относительная погрешность =
__ Действительное значение минус Заданное значение |
|
Номинальное значение диапазона измерения |
’ |
погрешность распространяется на весь диапазон преобразова теля (равный сумме модулей частичных диапазонов). Лишь та кое определение здесь целесообразно, ибо при односторонней регулировке аппроксимирующие прямые можно провести и подругому, что приводит к меньшим погрешностям. При совмест ном использовании как положительного, так и отрицательного диапазонов определяемая сумма будет представлять конечное значение.
Рассмотренные частные случаи (фиг. 3.2, 6—г) указывают на то, что оптимальные аппроксимирующие прямые пересекают ха рактеристику нелинейного преобразователя при х = +0,85 х2.
Оптимальные аппроксимирующие прямые для частных слу чаев должны удовлетворять требованию
[ ^ 2 У (-^)]макс = = ^ 2 У (-'-г)'
Из приведенных примеров следует, что можно, не прибегая к специальной оптимизации каждой отдельной функции преоб разователя, добиться очень хорошей аппроксимации, если вы брать две опорные точки, кратные 0,85 конечного значения. Вы ходные величины в этих точках при одинаковой регулировке по обе стороны и соответствующем выборе компенсирующего на пряжения нулевой точки должны быть одинаковыми (фиг. 3.2, а).
В заключение рассмотрим еще один числовой пример. Со отношения мостовой схемы с двумя смежными рабочими пле чами определяются уравнением (4.27) (учитывающим лишь искажения третьей степени), при этом а 2 — —К2. Для типов
48 |
3. Погрешности измерений |
WDH101 и WDH111 /(г = 8000. При 8 = 0,5-10_3 соответственно червой специальной функции получаем
^ = - 4 /С2-(°.5)2- 10-6 |
1,° • Ю"3 |
и
F2m= + 0,2510"3.
Когда характеристика преобразователя с этими данными регу лируется только односторонне, погрешности соответствуют половине конечных значений; при этом заданные числовые вели чины удваиваются. Следует отметить также, что при деформа ции до 0,05% погрешность нелинейности, отнесенная к конеч ному значению диапазона измерения, во всех случаях остается ниже 0,05%.
ЛИТЕРАТУРА
1. Baule В., Die Mathematik des Naturforschers und Ingenieurs, Band 2: Ausgleichsund Naherungsberechnung, Leipzig, Hirzel-Verlag, 1956.
2. DDR-Standard TGL 0-1319 MeBtechnik— Grundbegriffe, Apr. 1963.
3.DDR-Standard TGL 19472 Elektrische MeSinstrumente — Technische Forderungen, Bl. 2, Dez. 1964.
4.Fachbereichsstandard TGL 14283, Bl. 6: Elektronische Mefigerate — Bedingungen fur die Fehlerermittlung und -angabe, Jan. 1968.
4. МОСТ УИТСТОНА — ОСНОВНАЯ СХЕМА ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
Для аналоговых электрических измерений механических ве личин преимущественно используют изменение сопротивления, емкости или индуктивности, особенно в тех случаях, когда необ ходимо одновременное измерение статических величин.
Чтобы получить выходной электрический сигнал, пропорцио нальный сопротивлению, изменяющемуся под воздействием ме ханической величины, через это сопротивление должен быть пропущен электрический ток или к нему должно быть подведено электрическое напряжение. Если, например, запитывать сопротивление постоянным то ком, при изменении сопротивления будет изменяться падение напряжения на нем.
Это изменение происходит относительно не которой начальной постоянной величины. Поскольку механической величине соответ ствует только изменение электрического напряжения, его начальная постоянная ве личина должна быть сведена к нулю. Это достигается путем компенсации, например, с помощью так называемой мостовой схемы
(фиг. 4.1). Подобные мостовые схемы могут быть в принципе запитаны как постоянным, так и переменным напряжением.
При изменяющемся реактансе возможно питание только пе ременным напряжением, при изменении омического сопротивле ния могут быть применены оба вида питания.
У мостов переменного напряжения для компенсации началь ной постоянной величины должна быть проведена балансировка по модулю и по фазе, в результате чего возрастают затраты на подготовку измерения.
Однако сравнительно легко можно создать усилители пере менного напряжения с высоким коэффициентом усиления и с до статочной стабильностью, хотя при этом возникают трудности, связанные с необходимостью синфазного выпрямления.
Усилители переменного напряжения и выпрямители ограни чивают точность измерений, определяемую главным образом погрешностью от нелинейности. Погрешность от нелинейности у новейших прецизионных усилителей составляет около 0,1%.
Средствами современной полупроводниковой электроники в настоящее время удается создать высокостабильные усилители
50 |
4. Мост Уитстона |
постоянного напряжения. В связи с этим для высокочувствитель ных прецизионных измерений с помощью металлических или по лупроводниковых тензорезисторов большой интерес приобретают мосты постоянного напряжения. Они не требуют фазовой балан сировки и последующего выпрямления, что уменьшает затраты и повышает точность. При питании постоянным напряжением, кроме того, значительно проще получить высокостабильное и обладающее малым уровнем пульсаций питающее напряжение, чем при питании несущей частотой. Эти преимущества способ ствуют все более широкому применению мостов постоянного на пряжения, и в первую очередь при использовании полупровод никовых тензорезисторов, которые во многих случаях позволяют проводить измерения без усиления.
4.1. Полупроводниковые тензорезисторы (П П Т) в мостовых схемах постоянного напряжения
Устройство, приведенное на фиг. 4.1 и состоящее из четырех сопротивлений, принято называть мостовой схемой Уитстона. К зажимам 1 и 3 моста подключается напряжение питания Ua; на зажимах 2 и 4, если мост не сбалансирован, т. е. не нахо дится в состоянии равновесия, появляется напряжение UmL. Ме жду этими двумя напряжениями существует следующая зави симость:
Um/ R. R.
R1+ R 2 ~ Дз + #4 • |
(4Л ) |
При Z\ = Ri/(Ri + R2) и 2 4 = R4 KR3 + .R 4 )
UmL |
21 — |
24. |
(4.2) |
- 77-^ = |
Сопротивление моста можно представить себе состоящим из постоянной и переменной составляющих, т. е.
Rv = Rv0+ ARv = R Vо (1 + |
= Rvо (1 + rv), |
(4.3) |
где
Если все сопротивления моста равны, мост при ARv — 0 урав новешен, а в этом случае при рассогласовании моста имеет ме сто соотношение
иmL |
+ Г1 |
|
+ ri |
Uп |
2 |
2 |
(4.4) |
|
1+ Т Г1 + 2 Лг |
1+ У Лз + Т Г4 |
4.1. Полупроводниковые тензорезисторы |
51 |
Для малых значений rv в первом приближении можно записать
mL |
г2+ 53 — Г4]: |
ЛЯ, |
д/г, |
д/г. |
• (4.5) |
Uп |
R20 |
|
/?40 |
Отсюда следует, что выходное напряжение моста UmL пропор ционально напряжению питания Uu и алгебраической сумме от носительных изменений сопротивлений. Коэффициент пропорцио нальности равен 1/4. При достаточно больших относительных из менениях сопротивлений отношение UmL/Ua моста нелинейно, т. е. выходное напряжение зависит не только от значений в пер вой степени, но и от rv с более высокими степенями.
Преимущество мостовых устройств можно пояснить на ряде
специальных примеров: |
активным |
плечом |
гуФ 0, г2 = г3 = г4 = О |
||||
1. |
Мост с одним |
||||||
{четвертьмост). |
|
|
|
|
|
|
|
В этом случае |
|
|
1 |
|
|
|
|
|
U mL _ |
1Г |
1+П |
|
|
(4.6) |
|
|
иа |
2 |
1+ г,/2 |
Т |
+ |
Гl/2 |
|
|
|
После разложения в степенной ряд и ограничения этого ряда квадратичным или линейным членом получим следующее вы ражение:
|
|
|
1 |
ДR I - |
-I |
(4.7) |
|
|
|
4 |
М |
и |
|
|
|
|
|
|||
При достаточно большом разбалансе у четвертьмоста наблю |
||||||
дается нелинейность отношения UmLHJn. |
|
|
|
|||
2. |
Мост с двумя активными, |
одинаково изменяющимися пле |
||||
чами (так называемый чистый полумост). |
—r2, |
г2 — г4 = 0. |
||||
Полумост характеризуется тем, |
что Гу = |
|||||
Для него действительно условие |
|
|
|
|
|
|
|
UmL |
1 |
А/?, |
|
|
(4.8) |
|
Uп |
2 |
Мо |
|
|
|
|
|
|
|
Выходное напряжение такого моста при одинаковых rv в два раза выше, чем у четвертьмоста; чистый полумост не обнару
живает нелинейности. |
|
изменяющимися |
|
3. |
Мост с четырьмя активными, одинаково |
||
плечами (так называемый чистый полный мост). |
—г2 — —г4. |
||
Полный мост характеризуется тем, что г, = г3 = |
|||
Для него справедливо следующее отношение: |
|
||
|
иmL |
д/г. |
(4.9) |
|
|
п |
и П
Выходное напряжение этого моста при равных rv в четыре раза больше, чем у четвертьмоста, к тому же отсутствует нелиней ность моста.