Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 70

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

 

СПЕЦИАЛЬНЫЕ ФУНКЦИИ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ

Специальная функция

1 . у = а „х (1 + a 2x2i

Признак

Только искажения 3-го порядка

Диапазон преобразования

х%S i S i j

Аппроксимирующая прямая

 

О-го порядка

 

1 -го порядка

2 -го порядка

3-го порядка

Функция погрешностей

А0УМ

Д,!/(*)

А2У (X)

Максимальное отклонение Думакс, * макс

Точка пересечения характеристики преобразо­ вания и аппроксимирующих прямых 1-, 2 - и

3-го порядков

Максимальная погрешность

в(,)“ V ( ' + V o)

^(2,==V (1+ V s 2)

XS2= 0,865

Как 2-го порядка

А„у—ааагх3

v

- w

C *

2- * ! )

 

V

=

°o V Р

- ^ 2)

 

V

«

aOe 2 * 2

*0m=X2

 

Al ^

3/3

W 2

Xl m - y

 

 

 

 

3/ 3 ao V 52

X2m

* 5 1 , 2=

*

*2

 

 

" f l U ”

*

0,865^

 

s

 

 

2S

 

 

 

II «

H

 

 

 

 

w

 

 

 

F

ш

 

 

F

ss — CL

v2

 

 

 

 

 

От

2 V 2

 

 

 

 

 

K,

-------4

— E

Ora

—0,385A.

 

 

 

I hi

3

/ 3

Om

F

 

= F

зт

P гш- l p

0m

 

 

* ш

 

2m

4

 

 

С АППРОКСИМАЦИЯМИ И ПОГРЕШНОСТЯМИ

 

Таблица 3.2

 

 

2. у=ацХ(1 —atx)

 

3. у = а ах (1 + a,x)

Только искажения 2-го порядка

 

Только искажения 2-го порядка

х3s х s ;

 

ОS х й X,

y(0 ) = a 0x

 

pl°)=a(|X

 

 

0 (1)=

аох (I + а ,х 2)

p<2 ) = a 0 (x + a ix2 2)

 

yW =aQx (I + a [JCi

1

 

 

2

Xs 2 = / 2 * 2

 

V

1 + / 2 Л 2

Нулевая прямая пересекает характеристику

Как 2-го порядка

преобразования в точке х — ±

I

 

 

* 2

 

 

Ацу^а^х1

А,у—а„а, (х — х,) (х — х2)

V = a Oa l ( x2~ Xs2)

V m = W 2

 

 

*0m"*2

V

m

" -

V l * 2

 

Xlm~ 0

A2^m= ~ ~2 V

 

i z

* 2 m= °

v(l)

= + *

 

 

 

 

 

*51,2

± X 2

 

 

 

 

 

v(2)

-= i_____ v

 

 

 

si, 2

*

/ 2

*2

 

 

*(2)=x(3)

 

 

 

 

 

 

S

 

5

 

 

 

 

 

 

^

= ¥

1 * 2

 

 

 

 

 

F

1 т

= _ — х

2

= — F

От

 

 

2

 

 

 

F

2 т

= — i . F

От

 

 

 

 

2

 

 

До!/=а(|а,ха

AiK=ao<iiX {x— x2)

v = v i *

(*- *52)

 

Vm “ aOal i

X0m=X2

.

(XoCti

9

 

#5

Aiym= —

 

*2

*lm= —

 

 

®Oa i

9

-^co

 

 

 

 

 

*2m— £

x(J)b Q *(!)=*

 

 

si

s 2

* 2

 

*^ 2 “ ± TT7f*2“

±0’83*2

*(2) =

JC(3)

 

 

 

 

s

s

 

 

 

 

F .

= а . х 0

 

 

 

От

I

2

 

 

 

 

_

a ix 2

_

^от

1 т

 

 

4

 

4

 

^ о т

 

 

f l «

" -----6

 

 


/vopafticpucTHKa нелинейного преобразователя у (x) с аппроксими­

рующими прямыми у101 {х), у{1)(х),

(/ ^(х) и функциями погрешностей &1У(х) (слева) и А2у (х) (справа).

a -общ ий

случай у = а „х

б-частный

случай

у

{\ + a ix + a.1x1)i

=щх i + a J

в - т о

же

у = а 0* ( 1 +

а,л;);

2 Л

г - т о

же

y= atx (I +

а {х).

 

5

3.2. Погрешность нелинейности

47

Среди частных случаев наиболее важен случай 1 (фиг. 3.2,6), учитывающий только искажения третьей степени. Этот случай наиболее характерен для полупроводниковых тензорезисторов, работающих во всех четырех или двух смежных плечах мостовой схемы. (В разд. 4.2 также рассматривается работа мостовой схемы с тензорезистором в одном плече, искажения которой полностью компенсируются.)

Из приведенных примеров однозначно следует, что при дву­ сторонней регулировке характеристика нелинейного преобразо­ вателя не может проходить через нулевую точку. Погрешность во всем диапазоне преобразователя будет меньше, когда допу­ скается ошибка также и в нулевой точке. При двусторонней регулировке в соответствии с определением, согласно которому для измерительного прибора

Относительная погрешность =

__ Действительное значение минус Заданное значение

 

Номинальное значение диапазона измерения

погрешность распространяется на весь диапазон преобразова­ теля (равный сумме модулей частичных диапазонов). Лишь та­ кое определение здесь целесообразно, ибо при односторонней регулировке аппроксимирующие прямые можно провести и подругому, что приводит к меньшим погрешностям. При совмест­ ном использовании как положительного, так и отрицательного диапазонов определяемая сумма будет представлять конечное значение.

Рассмотренные частные случаи (фиг. 3.2, 6г) указывают на то, что оптимальные аппроксимирующие прямые пересекают ха­ рактеристику нелинейного преобразователя при х = +0,85 х2.

Оптимальные аппроксимирующие прямые для частных слу­ чаев должны удовлетворять требованию

[ ^ 2 У (-^)]макс = = ^ 2 У (-'-г)'

Из приведенных примеров следует, что можно, не прибегая к специальной оптимизации каждой отдельной функции преоб­ разователя, добиться очень хорошей аппроксимации, если вы­ брать две опорные точки, кратные 0,85 конечного значения. Вы­ ходные величины в этих точках при одинаковой регулировке по обе стороны и соответствующем выборе компенсирующего на­ пряжения нулевой точки должны быть одинаковыми (фиг. 3.2, а).

В заключение рассмотрим еще один числовой пример. Со­ отношения мостовой схемы с двумя смежными рабочими пле­ чами определяются уравнением (4.27) (учитывающим лишь искажения третьей степени), при этом а 2 — К2. Для типов


48

3. Погрешности измерений

WDH101 и WDH111 /(г = 8000. При 8 = 0,5-10_3 соответственно червой специальной функции получаем

^ = - 4 /С2-(°.5)2- 10-6

1,° • Ю"3

и

F2m= + 0,2510"3.

Когда характеристика преобразователя с этими данными регу­ лируется только односторонне, погрешности соответствуют половине конечных значений; при этом заданные числовые вели­ чины удваиваются. Следует отметить также, что при деформа­ ции до 0,05% погрешность нелинейности, отнесенная к конеч­ ному значению диапазона измерения, во всех случаях остается ниже 0,05%.

ЛИТЕРАТУРА

1. Baule В., Die Mathematik des Naturforschers und Ingenieurs, Band 2: Ausgleichsund Naherungsberechnung, Leipzig, Hirzel-Verlag, 1956.

2. DDR-Standard TGL 0-1319 MeBtechnik— Grundbegriffe, Apr. 1963.

3.DDR-Standard TGL 19472 Elektrische MeSinstrumente — Technische Forderungen, Bl. 2, Dez. 1964.

4.Fachbereichsstandard TGL 14283, Bl. 6: Elektronische Mefigerate — Bedingungen fur die Fehlerermittlung und -angabe, Jan. 1968.

Фиг. 4.1. Мост по стоянного тока.
2

4. МОСТ УИТСТОНА — ОСНОВНАЯ СХЕМА ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

Для аналоговых электрических измерений механических ве­ личин преимущественно используют изменение сопротивления, емкости или индуктивности, особенно в тех случаях, когда необ­ ходимо одновременное измерение статических величин.

Чтобы получить выходной электрический сигнал, пропорцио­ нальный сопротивлению, изменяющемуся под воздействием ме­ ханической величины, через это сопротивление должен быть пропущен электрический ток или к нему должно быть подведено электрическое напряжение. Если, например, запитывать сопротивление постоянным то­ ком, при изменении сопротивления будет изменяться падение напряжения на нем.

Это изменение происходит относительно не­ которой начальной постоянной величины. Поскольку механической величине соответ­ ствует только изменение электрического напряжения, его начальная постоянная ве­ личина должна быть сведена к нулю. Это достигается путем компенсации, например, с помощью так называемой мостовой схемы

(фиг. 4.1). Подобные мостовые схемы могут быть в принципе запитаны как постоянным, так и переменным напряжением.

При изменяющемся реактансе возможно питание только пе­ ременным напряжением, при изменении омического сопротивле­ ния могут быть применены оба вида питания.

У мостов переменного напряжения для компенсации началь­ ной постоянной величины должна быть проведена балансировка по модулю и по фазе, в результате чего возрастают затраты на подготовку измерения.

Однако сравнительно легко можно создать усилители пере­ менного напряжения с высоким коэффициентом усиления и с до­ статочной стабильностью, хотя при этом возникают трудности, связанные с необходимостью синфазного выпрямления.

Усилители переменного напряжения и выпрямители ограни­ чивают точность измерений, определяемую главным образом погрешностью от нелинейности. Погрешность от нелинейности у новейших прецизионных усилителей составляет около 0,1%.

Средствами современной полупроводниковой электроники в настоящее время удается создать высокостабильные усилители


50

4. Мост Уитстона

постоянного напряжения. В связи с этим для высокочувствитель­ ных прецизионных измерений с помощью металлических или по­ лупроводниковых тензорезисторов большой интерес приобретают мосты постоянного напряжения. Они не требуют фазовой балан­ сировки и последующего выпрямления, что уменьшает затраты и повышает точность. При питании постоянным напряжением, кроме того, значительно проще получить высокостабильное и обладающее малым уровнем пульсаций питающее напряжение, чем при питании несущей частотой. Эти преимущества способ­ ствуют все более широкому применению мостов постоянного на­ пряжения, и в первую очередь при использовании полупровод­ никовых тензорезисторов, которые во многих случаях позволяют проводить измерения без усиления.

4.1. Полупроводниковые тензорезисторы (П П Т) в мостовых схемах постоянного напряжения

Устройство, приведенное на фиг. 4.1 и состоящее из четырех сопротивлений, принято называть мостовой схемой Уитстона. К зажимам 1 и 3 моста подключается напряжение питания Ua; на зажимах 2 и 4, если мост не сбалансирован, т. е. не нахо­ дится в состоянии равновесия, появляется напряжение UmL. Ме­ жду этими двумя напряжениями существует следующая зави­ симость:

Um/ R. R.

R1+ R 2 ~ Дз + #4 •

(4Л )

При Z\ = Ri/(Ri + R2) и 2 4 = R4 KR3 + .R 4 )

UmL

21 —

24.

(4.2)

- 77-^ =

Сопротивление моста можно представить себе состоящим из постоянной и переменной составляющих, т. е.

Rv = Rv0+ ARv = R Vо (1 +

= Rvо (1 + rv),

(4.3)

где

Если все сопротивления моста равны, мост при ARv — 0 урав­ новешен, а в этом случае при рассогласовании моста имеет ме­ сто соотношение

иmL

+ Г1

 

+ ri

Uп

2

2

(4.4)

 

1+ Т Г1 + 2 Лг

1+ У Лз + Т Г4


4.1. Полупроводниковые тензорезисторы

51

Для малых значений rv в первом приближении можно записать

mL

г2+ 53 — Г4]:

ЛЯ,

д/г,

д/г.

• (4.5)

Uп

R20

 

/?40

Отсюда следует, что выходное напряжение моста UmL пропор­ ционально напряжению питания Uu и алгебраической сумме от­ носительных изменений сопротивлений. Коэффициент пропорцио­ нальности равен 1/4. При достаточно больших относительных из­ менениях сопротивлений отношение UmL/Ua моста нелинейно, т. е. выходное напряжение зависит не только от значений в пер­ вой степени, но и от rv с более высокими степенями.

Преимущество мостовых устройств можно пояснить на ряде

специальных примеров:

активным

плечом

гуФ 0, г2 = г3 = г4 = О

1.

Мост с одним

{четвертьмост).

 

 

 

 

 

 

В этом случае

 

 

1

 

 

 

 

U mL _

1+П

 

 

(4.6)

 

иа

2

1+ г,/2

Т

+

Гl/2

 

 

После разложения в степенной ряд и ограничения этого ряда квадратичным или линейным членом получим следующее вы­ ражение:

 

 

 

1

ДR I -

-I

(4.7)

 

 

 

4

М

и

 

 

 

 

При достаточно большом разбалансе у четвертьмоста наблю­

дается нелинейность отношения UmLHJn.

 

 

 

2.

Мост с двумя активными,

одинаково изменяющимися пле­

чами (так называемый чистый полумост).

r2,

г2 — г4 = 0.

Полумост характеризуется тем,

что Гу =

Для него действительно условие

 

 

 

 

 

 

UmL

1

А/?,

 

 

(4.8)

 

Uп

2

Мо

 

 

 

 

 

 

Выходное напряжение такого моста при одинаковых rv в два раза выше, чем у четвертьмоста; чистый полумост не обнару­

живает нелинейности.

 

изменяющимися

3.

Мост с четырьмя активными, одинаково

плечами (так называемый чистый полный мост).

—г2 — —г4.

Полный мост характеризуется тем, что г, = г3 =

Для него справедливо следующее отношение:

 

 

иmL

д/г.

(4.9)

 

 

п

и П

Выходное напряжение этого моста при равных rv в четыре раза больше, чем у четвертьмоста, к тому же отсутствует нелиней­ ность моста.