Файл: Власов, А. Г. Методы расчета эмиссионных электронно-оптических систем.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 24.10.2024
Просмотров: 82
Скачиваний: 0
где Uik {%пт, Ци) — собственные функции; Хпт— собственные значения уравнения (65), рассматриваемого как смешанная крае вая задача с условиями на границе Q, типа
olhk + |
ß t4 = 0; |
|
(67) |
Qlp — гармонический полином, |
подробнее |
определенный |
ниже. |
Подобно тому, как это было рассмотрено в § 1, на участках S} |
|||
(см. рис. 6) задается полная ортонормированная система |
П^(А.,>, |
||
Як)- |
|
|
|
Решение в і-й подобласти записывается как |
|
||
|
со |
|
|
U l = |
Е С М |
|
(6 8 ) |
п=0 |
|
|
|
где |
|
|
|
I со |
/V |
|
|
cimnl П Uik ( h m, |
Як). |
(69) |
|
m=l л==1 |
k=\ |
|
|
Как видно из (66), уравнение, обеспечивающее выполнение гра ничных условий на поверхности S ik, определяемой уравнением qk — СI, приводит к условию
а и\ |
п |
Щ |
Jpry (70) |
|
s„ = ^ > |
которое сводится к разложению Fr (qk) в ряд по полной ортонор
мированной системе собственных |
функций Uik {knm, qk)- Здесь |
||
Fr (s) [sik |
F(s), |
se Si, |
|
U'ik, |
s ^ S i k ’, |
||
6 = )■ ' |
r = 0 ; |
||
r0 |
(0, |
r =h o. |
Такое разложение позволяет определить ani.
Полином Qip выбирают таким, чтобы на кантах поверхностей, разделяющих подобласти, выполнялось равенство
QiP = F, |
(71) |
что обеспечивает равномерную сходимость разложения (70). Коэффициенты СІГ определяются из условий сшивания нор мальных производных dUildn на участках разрыва границы S t. Как показано в приложении 3 (см. также литературу, приве денную там), такой процесс сшивания можно свести к регуляр ным системам линейных алгебраических уравнений относительно коэффициентов Сіг, что позволяет решить задачу в замкнутом виде.
32
Если координата ^ задана в Й на интервале (а,-, bt), где і — 1, 2, . . N , то метод может быть распространен и на случай bt —>оо. Разложения в ряд переходят при этом в интегральные разложения обычным образом, а спектр разложения становится непрерывным.
Рассмотрим применение метода на примере, типичном для элек тронной оптики.
Наши рассуждения относятся к линзе, представляющей в кон структивном отношении систему металлических электродов в виде плоскостей, перпендикулярных к оптической оси, с круговыми отверстиями, центры которых находятся на оси, и цилиндрических поверхностей, оси которых совпадают с оптической осью. Задача состоит в отыскании функции, удовлетворяющей уравнению Ла пласа внутри области, ограниченной электродами и принимающей заданные значения на них.
Разобьем все пространство на ячейки в виде сплошных или полых цилиндров. Разбиение осуществим, во-первых, семейством плоскостей, перпендикулярных к оси и проходящих через гранич ные окружности цилиндрических электродов и через плоские электроды, и, во-вторых, семейством цилиндрических поверхно стей с радиусами, равными радиусам круговых отверстий в плос ких электродах и радиусам цилиндрических электродов.
Построим затем для каждой ячейки решение уравнения Ла пласа, удовлетворяющее граничным условиям на части поверх ности ячейки, образованной электродами. И, наконец, наложим условия непрерывности потенциала и производной от потенциала по нормали на остальной поверхности. В итоге мы получим реше ние для всей интересующей нас области.
Таким образом, решение нашей задачи сводится к решению задачи Дирихле для цилиндра. При решении последней целесо
образно |
пользоваться |
цилиндрическими |
координатами |
г, |
cp, z, |
|||||||
ось которых совпадает с осью цилиндра. |
|
|
|
|
||||||||
Уравнение Лапласа в цилиндрических координатах в интере |
||||||||||||
сующем нас случае осевой симметрии имеет вид |
|
|
||||||||||
|
|
АU |
|
дЮ |
1 |
ÖU |
дЮ |
0 . |
|
(72) |
||
|
|
|
дг |
2 |
‘ г |
дг |
|
= |
|
|||
|
|
|
|
дг2 |
|
|
|
|||||
Методом разделения |
переменных находим |
частный интеграл |
||||||||||
U (г, |
г) = |
(А cos l z |
+ |
|
В sin Xz) |
(CJ0 (ikr) + D Y 0 (ilr) ], |
(73) |
|||||
где J 0 и |
У0— функции Бесселя |
первого и второго родов нуле |
||||||||||
вого порядка, а і — постоянная разделения переменных. |
плоско |
|||||||||||
Рассмотрим сначала сплошной цилиндр, ограниченный |
||||||||||||
стями z = 0, |
z = z0 |
и |
|
цилиндрической |
поверхностью |
г = а. |
||||||
Из выражения (73) |
получаем частные решения |
|
|
|||||||||
|
|
Un(г, |
г) = |
BnJu \ i - ~ r ) sin - |
|
|
(74) |
|||||
|
Ут(г, |
z) = (Стcos ia0mz + |
Dmsin ia0mz) J0 (a0mr), |
|
||||||||
|
|
|
3 А. Г . Власов |
33 |
где п — целое число, а величина а 0т— корень уравнения
J 0 (ax) = 0. |
(75) |
Первое из решений (74) исчезает на основаниях, второе — на боковой поверхности цилиндра.
Легко убедиться, что выражение
U (г, |
г) = ^ BnJ0 |
ПК |
п т . |
|
|
sin--------•7. 'ь |
|
||
|
п = 1 |
|
|
|
+ ^ |
(Cm cos i a0mz -f Dmsin i а0mz) J0 (aQtnr) |
(76) |
при условии двукратной почленной дифференцируемости рядов представляет собой решение уравнения Лапласа, удовлетворяющее
любое граничное условие задачи Дирихле. |
_ |
_ |
|||
Представим заданные граничные значения |
V (а, |
z), V (г, 0) |
|||
и V (г, z0) в виде рядов |
|
|
|
|
|
V(а, |
г) = |
^ |
bns m ~ - \ |
|
|
|
|
П—1 |
|
|
|
|
|
со |
|
|
(77) |
І7 {Г, |
0 )= |
£ |
cmJ0(a0tnr); |
|
т= 1
со
Ѵ(г, 20) = Ъ dmJü(aümr).
т = 1
Первый ряд — это обычный ряд Фурье, коэффициенты кото рого вычисляются по формуле
Zo
= ~ |
пт 1 |
(78) |
[ V (а, z) siSin----- dz, |
два остальных ряда — ряды Фурье—Бесселя, коэффициенты кото рых вычисляются по формуле
°т = -2 ]Г~----- - |
[ V (Г, 0) /„ (ашг) г dr. |
(79) |
аа)І
Относительно рядов предположим лишь то, что они сходятся к пред ставляемым функциям.
34
Приравняв данные граничные значения к полученным из вы ражения (76), найдем, что искомое решение задачи Дирихле имеет вид
СО
+ ^ ( стch аш г + dm |
cha0inz) У0(< ѵ ). |
(80) |
m = \ |
|
|
Легко убедиться, что внутри цилиндра функция (80) является аналитической.
Рассмотрим теперь полый цилиндр, ограниченный поверхно стями z = 0, г = z0, г = а и г = Ь, причем Ъ > а.
Отправляясь снова от интеграла (73), построим решение
U(r,
Л=1
|
|
|
со |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 (Стcos ilmz + Dmsin i \ nz) W0(gmr), |
(81) |
|||||
|
|
|
m=1 |
|
|
|
|
|
|
в котором |
|
W0 (\mr) — цилиндрическая функция, выражающаяся |
|||||||
через У0 и |
Y 0 посредством формулы |
|
|
|
|||||
|
|
w 0 С^тг) = Уо ІЛтР) J0 (\тг) |
*Л>(?ma) J0 (£я/)і |
(82) |
|||||
величины |
же |
— положительные корни уравнения |
|
||||||
|
|
У0 (ах) Y 0 (bx) — У о (bx) |
Y 0 (ах) |
= 0. |
(83) |
||||
Представив |
заданные |
граничные значения |
V (а, z), |
V (b, z) |
|||||
и V (г, 2о) |
в виде рядов |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
V (а, |
г) = |
|
ß„sin |
zo |
|
|
|
|
|
|
|
СО |
|
ЛЯ2 |
|
|
|
|
|
І7 (6, |
г) = |
^ |
è„sin |
|
(84) |
|
|
|
|
|
|
ft=l |
|
|
|
|
|
|
|
V (Г, 0) = |
Sj |
Cmll70 (gmr); |
|
|
||
|
|
|
|
|
m = l |
|
|
|
|
|
|
|
V (r, z0) = |
£ |
4 ^ |
(£я/), |
|
|
|
|
|
|
|
|
w=l |
|
|
|
3 * |
35 |
причем коэффициенты ст и dm вычисляются теперь по формулам
[ у ( г , |
Q)W0 {l,nr)rdr |
|
а |
■ ' |
> |
- |
||
J |
< ( i mr)rdr |
|
а |
|
(85) |
b |
|
I V (г, г0) Г 0 (lmr) г dr
dm—
j
г d r
и сравнив ряды (84) с получающимися из выражения (81) при пере ходе на поверхность, убедимся, что выражением (81) можно удовлетворить любое условие задачи Дирихле.
Решения уравнений Лапласа (80) и (81) можно несколько обобщить, добавив к ним сумму гармонических полиномов
Vi(r, z) = Az -j- В; |
|
v2 (r, z) = C (г2 —2г2); |
|
vs (r, z) = D ^ - 8 r h 2 + ^ z * y , |
(86) |
i>4 (r, z) = E (г6 - 15r4z2 + 20r2z4 — |
г6) |
Распорядившись соответствующим образом коэффициентами этих полиномов, можно усилить сходимость рядов и добиться почленной дифференцируемости их на поверхности цилиндра, что имеет значение, например, при наложении условия непрерывности производной от потенциала по нормали к поверхности раздела двух примыкающих друг к другу ячеек.
§ 4. Метод связанных интегральных уравнений
Рассмотрим другой метод расчета электронных линз, ограни ченных электродами правильной формы. Пусть нужно найти реше ние задачи Дирихле в пространстве R 3, содержащем заряженные поверхности, удовлетворяющие тем же, что и выше, требованиям, а именно: 1) каждая из них представляет собой часть координатной поверхности, принадлежащей некоторой ортогональной системе координат; 2) переменные в уравнении Лапласа в этой системе координат разделяются.
Как будет показано ниже, этот метод тоже дает решение задачи в замкнутом виде. Одной из отличительных черт рассматривае мого метода является та, что решение записывается в форме,
36