Файл: Власов, А. Г. Методы расчета эмиссионных электронно-оптических систем.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 24.10.2024

Просмотров: 82

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

где Uik {%пт, Ци) — собственные функции; Хпт— собственные значения уравнения (65), рассматриваемого как смешанная крае­ вая задача с условиями на границе Q, типа

olhk +

ß t4 = 0;

 

(67)

Qlp — гармонический полином,

подробнее

определенный

ниже.

Подобно тому, как это было рассмотрено в § 1, на участках S}

(см. рис. 6) задается полная ортонормированная система

П^(А.,>,

Як)-

 

 

 

Решение в і-й подобласти записывается как

 

 

со

 

 

U l =

Е С М

 

(6 8 )

п=0

 

 

где

 

 

 

I со

/V

 

 

cimnl П Uik ( h m,

Як).

(69)

m=l л==1

k=\

 

 

Как видно из (66), уравнение, обеспечивающее выполнение гра­ ничных условий на поверхности S ik, определяемой уравнением qk — СI, приводит к условию

а и\

п

Щ

Jpry (70)

 

s„ = ^ >

которое сводится к разложению Fr (qk) в ряд по полной ортонор­

мированной системе собственных

функций Uik {knm, qk)- Здесь

Fr (s) [sik

F(s),

se Si,

U'ik,

s ^ S i k ’,

6 = )■ '

r = 0 ;

r0

(0,

r =h o.

Такое разложение позволяет определить ani.

Полином Qip выбирают таким, чтобы на кантах поверхностей, разделяющих подобласти, выполнялось равенство

QiP = F,

(71)

что обеспечивает равномерную сходимость разложения (70). Коэффициенты СІГ определяются из условий сшивания нор­ мальных производных dUildn на участках разрыва границы S t. Как показано в приложении 3 (см. также литературу, приве­ денную там), такой процесс сшивания можно свести к регуляр­ ным системам линейных алгебраических уравнений относительно коэффициентов Сіг, что позволяет решить задачу в замкнутом виде.

32


Если координата ^ задана в Й на интервале (а,-, bt), где і — 1, 2, . . N , то метод может быть распространен и на случай bt —>оо. Разложения в ряд переходят при этом в интегральные разложения обычным образом, а спектр разложения становится непрерывным.

Рассмотрим применение метода на примере, типичном для элек­ тронной оптики.

Наши рассуждения относятся к линзе, представляющей в кон­ структивном отношении систему металлических электродов в виде плоскостей, перпендикулярных к оптической оси, с круговыми отверстиями, центры которых находятся на оси, и цилиндрических поверхностей, оси которых совпадают с оптической осью. Задача состоит в отыскании функции, удовлетворяющей уравнению Ла­ пласа внутри области, ограниченной электродами и принимающей заданные значения на них.

Разобьем все пространство на ячейки в виде сплошных или полых цилиндров. Разбиение осуществим, во-первых, семейством плоскостей, перпендикулярных к оси и проходящих через гранич­ ные окружности цилиндрических электродов и через плоские электроды, и, во-вторых, семейством цилиндрических поверхно­ стей с радиусами, равными радиусам круговых отверстий в плос­ ких электродах и радиусам цилиндрических электродов.

Построим затем для каждой ячейки решение уравнения Ла­ пласа, удовлетворяющее граничным условиям на части поверх­ ности ячейки, образованной электродами. И, наконец, наложим условия непрерывности потенциала и производной от потенциала по нормали на остальной поверхности. В итоге мы получим реше­ ние для всей интересующей нас области.

Таким образом, решение нашей задачи сводится к решению задачи Дирихле для цилиндра. При решении последней целесо­

образно

пользоваться

цилиндрическими

координатами

г,

cp, z,

ось которых совпадает с осью цилиндра.

 

 

 

 

Уравнение Лапласа в цилиндрических координатах в интере­

сующем нас случае осевой симметрии имеет вид

 

 

 

 

АU

 

дЮ

1

ÖU

дЮ

0 .

 

(72)

 

 

 

дг

2

г

дг

 

=

 

 

 

 

 

дг2

 

 

 

Методом разделения

переменных находим

частный интеграл

U (г,

г) =

cos l z

+

 

В sin Xz)

(CJ0 (ikr) + D Y 0 (ilr) ],

(73)

где J 0 и

У0— функции Бесселя

первого и второго родов нуле­

вого порядка, а і — постоянная разделения переменных.

плоско­

Рассмотрим сначала сплошной цилиндр, ограниченный

стями z = 0,

z = z0

и

 

цилиндрической

поверхностью

г = а.

Из выражения (73)

получаем частные решения

 

 

 

 

Un(г,

г) =

BnJu \ i - ~ r ) sin -

 

 

(74)

 

Ут(г,

z) = (Стcos ia0mz +

Dmsin ia0mz) J0 (a0mr),

 

 

 

 

3 А. Г . Власов

33


где п — целое число, а величина а 0т— корень уравнения

J 0 (ax) = 0.

(75)

Первое из решений (74) исчезает на основаниях, второе — на боковой поверхности цилиндра.

Легко убедиться, что выражение

U (г,

г) = ^ BnJ0

ПК

п т .

 

 

sin--------•7. 'ь

 

 

п = 1

 

 

 

+ ^

(Cm cos i a0mz -f Dmsin i а0mz) J0 (aQtnr)

(76)

при условии двукратной почленной дифференцируемости рядов представляет собой решение уравнения Лапласа, удовлетворяющее

любое граничное условие задачи Дирихле.

_

_

Представим заданные граничные значения

V (а,

z), V (г, 0)

и V (г, z0) в виде рядов

 

 

 

 

 

V(а,

г) =

^

bns m ~ - \

 

 

 

 

П—1

 

 

 

 

 

со

 

 

(77)

І7 {Г,

0 )=

£

cmJ0(a0tnr);

 

т= 1

со

Ѵ(г, 20) = Ъ dmJü(aümr).

т = 1

Первый ряд — это обычный ряд Фурье, коэффициенты кото­ рого вычисляются по формуле

Zo

= ~

пт 1

(78)

[ V (а, z) siSin----- dz,

два остальных ряда — ряды Фурье—Бесселя, коэффициенты кото­ рых вычисляются по формуле

°т = -2 ]Г~----- -

[ V (Г, 0) /„ (ашг) г dr.

(79)

аа)І

Относительно рядов предположим лишь то, что они сходятся к пред­ ставляемым функциям.

34


Приравняв данные граничные значения к полученным из вы­ ражения (76), найдем, что искомое решение задачи Дирихле имеет вид

СО

+ ^ ( стch аш г + dm

cha0inz) У0(< ѵ ).

(80)

m = \

 

 

Легко убедиться, что внутри цилиндра функция (80) является аналитической.

Рассмотрим теперь полый цилиндр, ограниченный поверхно­ стями z = 0, г = z0, г = а и г = Ь, причем Ъ > а.

Отправляясь снова от интеграла (73), построим решение

U(r,

Л=1

 

 

 

со

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 (Стcos ilmz + Dmsin i \ nz) W0(gmr),

(81)

 

 

 

m=1

 

 

 

 

 

 

в котором

 

W0 (\mr) — цилиндрическая функция, выражающаяся

через У0 и

Y 0 посредством формулы

 

 

 

 

 

w 0 С^тг) = Уо ІЛтР) J0 (\тг)

*Л>(?ma) J0 (£я/)і

(82)

величины

же

— положительные корни уравнения

 

 

 

У0 (ах) Y 0 (bx) — У о (bx)

Y 0 (ах)

= 0.

(83)

Представив

заданные

граничные значения

V (а, z),

V (b, z)

и V (г, 2о)

в виде рядов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V (а,

г) =

 

ß„sin

zo

 

 

 

 

 

 

 

СО

 

ЛЯ2

 

 

 

 

 

І7 (6,

г) =

^

è„sin

 

(84)

 

 

 

 

 

ft=l

 

 

 

 

 

 

V (Г, 0) =

Sj

Cmll70 (gmr);

 

 

 

 

 

 

 

m = l

 

 

 

 

 

 

 

V (r, z0) =

£

4 ^

(£я/),

 

 

 

 

 

 

 

w=l

 

 

 

3 *

35


причем коэффициенты ст и dm вычисляются теперь по формулам

[ у ( г ,

Q)W0 {l,nr)rdr

 

а

■ '

>

-

J

< ( i mr)rdr

 

а

 

(85)

b

 

I V (г, г0) Г 0 (lmr) г dr

dm

j

г d r

и сравнив ряды (84) с получающимися из выражения (81) при пере­ ходе на поверхность, убедимся, что выражением (81) можно удовлетворить любое условие задачи Дирихле.

Решения уравнений Лапласа (80) и (81) можно несколько обобщить, добавив к ним сумму гармонических полиномов

Vi(r, z) = Az -j- В;

 

v2 (r, z) = C (г2 —2г2);

 

vs (r, z) = D ^ - 8 r h 2 + ^ z * y ,

(86)

i>4 (r, z) = E (г6 - 15r4z2 + 20r2z4 —

г6)

Распорядившись соответствующим образом коэффициентами этих полиномов, можно усилить сходимость рядов и добиться почленной дифференцируемости их на поверхности цилиндра, что имеет значение, например, при наложении условия непрерывности производной от потенциала по нормали к поверхности раздела двух примыкающих друг к другу ячеек.

§ 4. Метод связанных интегральных уравнений

Рассмотрим другой метод расчета электронных линз, ограни­ ченных электродами правильной формы. Пусть нужно найти реше­ ние задачи Дирихле в пространстве R 3, содержащем заряженные поверхности, удовлетворяющие тем же, что и выше, требованиям, а именно: 1) каждая из них представляет собой часть координатной поверхности, принадлежащей некоторой ортогональной системе координат; 2) переменные в уравнении Лапласа в этой системе координат разделяются.

Как будет показано ниже, этот метод тоже дает решение задачи в замкнутом виде. Одной из отличительных черт рассматривае­ мого метода является та, что решение записывается в форме,

36