Файл: Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках пер. с англ.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 159

Скачиваний: 3

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Волновое число, см~

Ф и г. 3.35. Поглощение, связанное с нереходамп между валентными под­ зонами в германии р-тппа [60].

Коэффициент поглощения, см

Ф и г. 3.36. Поглощение, связанное с переходами между валентными под­ зонами в GaAs р-типа [61].

р = 2,7 ■ІО17 см-3; GaAs легирован Zn.

80 Глава 3. Поглощение

наблюдаться сильная асимметрия поглощения, связанного с пере­ ходами V2 — Т^і [62].

Величины сппн-орбптального расщепления для полупровод­ ников III—У приведены в табл. 3.2, а значения эффективных масс — в табл. 3.3.

Таблица 3.2

Величины сшш-орбитальиого расщепления у соединении III—V

Из работы [61]. Kg — оптическая ширина запрещенной зоны; До (расч.) —

оценка величины сппн-орбнталъного расщепления в центре зоны Брил­ люэна ; До (эксп.) —экспериментально определенное спин-орбиталыюе расщепление; До —спин-орбитальпое расщепление на краю зоны Бриллюэна.

Соединение

E (при 0 К),

Д0 (расч.)

До (эксп.)

До

эВ

 

 

 

 

А1Р

3,0

0,051

 

 

AlAs

2,2

0,29

___

AlSb

1,6

0,76

0,75

0,60

GaP

2,4

0,10

< 0 ,1 5

GaAs

1,53

0,33

0,33

0,39

GaSb

0,80

0,81

0,72

InP

1,34

0,1S

0,24

InAs

0,45

0,41

0,43

0,44

InSb

0,25

0,89

0,98

0,84

Эффективные массы в соединениях III—V

Таблица 3.3

 

Из работы [61]. т

(расч.) —вычисленная величина

эффективной

массы электрона

в минимуме при

h = 0; тс (эксп.) — измеренная величина эффективной массы электрона;

тѴ2 (расч.) и т г

(расч.) —вычисленные значения аффективных масс для зоны легких

дырок и зоны, отщепленной за счет сппн-орбиталыіого взаимодействия, соответственно;

тл„, (эксп.) и т$3 (эксп.) — соответствующие массы, определенные экспериментально; mhd (эксп->— эффективная масса плотности состояний для дырок, определенная из измерений переноса; тѴ[ (эксп.) — масса тяжелых дырок, определенная из оптических измерений.

Соединение

«

GJ

a

а

(расч.)

(эксп.)

а

 

 

C

CT

d

 

 

С

 

О

CJ

ri

 

 

 

Ä

 

и

U

Ci

тѵз

т„3

“Ö

 

g

s

£

£

 

А1Р

0,131

 

0,392

 

0,850

 

 

AlAs

0,110

0,220

0,680

AlSb

0,081

0,137

0,490

_

0,9

GaP

0,102

0,202

0,545

GaAs

0,075

0,074

0,130

0,12 '

0,388

0,20

0,5

GaSb

0,046

0,047

0,065

0,298

0,39

InP

0,066

0,073

0,112

0,310

0,40

InAs

0,026

0,021

0,035

0,025

0,154

0,083

0,33

InSb

0,0153

0,0143

0,015

0,012

0,190

 

0,20

ТПѴі (эксп.)

_

0,68

0,23

0,41

"


§ 7. Внутризонные переходы

81

Интересно отметить, что, согласно правилам отбора, вероят­ ность перехода между валентными подзонами обращается в нуль при к = 0, ио возрастает пропорционально к? [61]. Это прпмер прямых запрещенных переходов, рассмотренных в п. 2 § 1 настоя­ щей главы.

2.Полупроводники ѵг-типа

Вполупроводнике гс-типа возможны впутризонпые переходы между различными подзонами зоны проводимости. В GaP н-типа был обнаружен пик поглощения с низкоэнергетическим порогом при 0,27 эВ (фиг. 3.37) [63]. Его величина возрастает при увеличе­ нии концентрации электронов. Это поглощение было приписано

Ф и г. 3.37. Спектр погло­ щения GaP 71-типа (N —

= 1-1018 см-3) [63].

Быстрое увеличение а в длин­

новолновой области обусловлено поглощением свободными носи­ телями, которое будет рассмот­ рено в следующем параграфе.

прямым внутризонным переходам в точке (100) между минимума­ ми подзон и Х 3 (см. фиг. 3.32) [64]. При измерениях на сплавах GaAs-^aPj. различного состава было установлено, что в согласии с этой моделью пик поглощения исчезает, как только долина І \ становится наинизшей и в нее переходят все электроны [65].

Пик с энергией 0,29 эВ, обнаруженный в AlSb ?г-типа [66], был также приписан [64] внутризонным переходам в зоне прово­ димости в области вблизи долины (100).

6-01085

Ф и г . 3.38. Зависимость коэффициента поглощения при комнатной темпе­ ратуре шести образцов GaAs /г-типа с различной степенью легирования от длины волны [18].

Концентрация

электронов

меняется

от 1,3-10” см-3 для

самой нпшвей кривой до

5,4-ІО18 см-3

для верхней

кривой.

Быстрое возрастание а

в коротковолновой! области

соответствует краю собственного поглощения. Возрастание а в длинноволновой области обусловлено поглощением свободными носителями, которое будет рассмотрено далее.


§ 7. Внутризонные переходы

83

Непрямые переходы между минимумами одной и

той же под­

зоны зоны проводимости, расположенными при

различных к,

были привлечены для объяснения бугра на низкоэнергетическом крае поглощения других материалов ?г-типа (фиг. 3.38) [18]. В GaAs наблюдается бугор с низкоэнергетическнм порогом при

~

0,3 эВ,

который можно связать с переходами из долины (000)

в

долину

(111). Интенсивность этого поглощения возрастает

с увеличением концентрации электронов. Такая интерпретация, по-видимому, согласуется с измерениями на сплавах GaAsj-JP* /г-тппа, где расстояние между этими долинами может меняться [68]. Более того, сечение по­

глощения a/N для эторо непря­

 

 

мого перехода примерно на два

 

 

порядка меньше, чем для пря­

 

 

мого

перехода в рассмотренном

 

 

случае

GaP.

 

 

 

 

 

 

Подобное

поглощение

при

 

 

0,25

эВ

наблюдалось

в

GaSb

 

 

тг-типа; согласно предваритель­

 

 

ной

интерпретации,

оно соот­

 

 

ветствует переходам

из долины

 

 

Ф и г. 3.39. Зависимость

оптическо­

 

 

го поглощения

а от энергии фотона

 

 

hv для двух

образцов ІпР при 77 К

 

 

 

 

 

 

[70].

 

 

 

 

 

Полное поглощение (кривые 1) разложено

 

 

на компоненты,

 

соответствующие

погло­

 

 

щению свободными носителями (кривые 2 )

 

 

и поглощению,

связанному

с

переходами

 

 

между подзонами

(пунктирные кривые 1

 

 

2 ). Последнее удовлетворительно описы­

0,6 0,8 i,o

і,2 і,4

вается

зависимостями вида

а ^

(ftv —

K0)1/a. где Е 0 =

0,74 эВ дляп

= 101“ см-3

ПѴ,'ЭБ

------- *-

■ и Е 0 = 0,86

эВ для ?і =

10ls см-3.

(000) в долину (100) [69]. В ІпР 7г-тина переход между долинами (000) и (100) проявляется также в виде бугра ниже края собственного поглощения, как это видно на фиг. 3.39 [70]. Если в этом случае из измеренного экспериментально погло­ щения вычесть ту его часть, которая соответствует поглощению свободными носителями (последняя величина получается экстра­ поляцией кривой поглощения носителями в интересующую нас спектральную область), то оставшееся поглощение (кривая 12) зависит от частоты примерно по закону (hv — А'0)1''2, которого следовало ожидать для непрямых переходов из узкой области заполненных состояний долины (000) в параболическую долину (100). Порог Е 0, расположенный при энергии 0,8 эВ, определяется

6*


84

Глава 3. Поглощение

энергетическим зазором АЕ между двумя долинами зоны прово­ димости, энергией фонона Ер, участвующего в непрямом перехо­ де, и расстоянием уровня Ферми от дна иаинизшей долины: Е0 = ДЕ -f Ер \ п- Для двух по-разному легированных мате­ риалов (фиг. 3.39) меныцая величина Епнаблюдается в материале

сбольшей степенью легирования.

§8. ПОГЛОЩЕНИЕ СВОБОДНЫМИ НОСИТЕЛЯМИ

Говоря «свободный носитель», мы имеем в виду носитель, кото­ рый может свободно двигаться внутри зоны и реагировать на внеш­ ние воздействия. Поглощение свободными носителями характери­ зуется монотонным, часто бесструктурным спектром, описываемым законом Ар, где А = с/ѵ — длина волны фотона, а р меняется в пре­ делах от 1,5 до 3,5. Примером спектра поглощения свободными носителями может служить правая часть фиг. 3.38 и кривая 2 в левой части фиг. 3.39.

При поглощении фотона электрон совершает переход в состоя­ ние с большей энергией в пределах той же долины (фиг. 3.40).

Такой переход требует дополнительного взаимодействия для того, чтобы выпол­ нялся закон сохранения квазиимпуль-

Ф п г. 3.40.

Переход свободного

электрона

в

зоне проводимости.

 

са. Изменение квазппмпульса можно

обеспечить либо

в резуль­

тате взаимодействия с решеткой (фононы), лпбо путем рассеяния на ионизованных примесях.

Согласно теории Друде, описывающей колебания электрона в металле под действием периодического электрического поля, затухание должно увеличиваться пропорционально А2. В полупро­ водниках рассеяние акустическими фононами [71] приводит к по­ глощению, меняющемуся как А1-5. Рассеяние на оптических фоно­ нах [72] дает зависимость А2-5, тогда как рассеяние ионизованны­ ми примесями может дать зависимость А3 или А3-5, что связано

саппроксимациями, использованными при построении теории [73].

Вобщем случае реализуются все типы рассеяния и результи­ рующий коэффициент поглощения а / свободными носителями пред­ ставляет собой сумму трех членов

а ^ А Х ^ ь + ВК^ + Ск3’*,

(3.24)

где А, В я С — константы. В зависимости от концентрации приме­ сей тот или иной механизм рассеяния будет доминирующим. Пока­

\


§ S. Поглощение свободными носителями

85

затель р в зависимости Хр должен возрастать с увеличением леги­ рования или степени компенсации.

В табл. 3.4 приведены значения р и сечения поглощения ау/ІѴ для различных соединений.

Таблица 3.4 '

Поглощение свободными носителями в соединениях от-типа

 

Из работы [74].

 

Соединение

Концентрация

a f / N *,

V

носителей,

10-17 см-з

 

1017 см-з

 

GaAs

InAs

GaSb

InSb

InP

GaP

AlSb

Go

1—5

о

С

С

1

 

0,5

О

 

О

1—3

о

1

 

 

10

 

0 ,4 -4 0,5—5

3

3

 

 

 

 

4,7

3

 

 

 

 

6

3,5

 

 

 

2,3

2

 

 

 

 

4

2,5

 

 

 

(32)

(

1

,

8

)

15

2

2

 

 

 

~ 4

~

 

 

 

* Отиошение коэффициента поглощения к концентрации свободных носителей a p N приведено для длины волны 9 мкм. Параметр р определяет

зависимость поглощения от длины волны в приближении а у —)TJ.

Классическая формула для коэффициента поглощения свобод­ ными носителями a f имеет вид

_

Nq42

 

(3.25)

 

т*8л2пс3х

 

 

где N — концентрация носителей, п — показатель преломления, а т — время релаксации. Отметим, что т учитывает влияние рас­ сеяния. Таким образом, следует ожидать, что вероятность рассея­ ния ионизованными примесями будет зависеть от природы приме­ си. Такая зависимость коэффициента поглощения от химической природы примеси была обнаружена в германии ?г-типа [75], где при данной длине волны

«/(As) > “ / ( ? ) > а/ (Sb),

и в GaAs [76], где также при фиксированной длине волны af (S) > a f (Se) > af (Те).

Далее, время релаксации зависит от концентрации рассеивающих центров. Поэтому при сильном легировании коэффициент ау не дол­ жен быть просто пропорциональным ÂT как записано в формуле