Файл: Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках пер. с англ.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 10.04.2024
Просмотров: 159
Скачиваний: 3
Волновое число, см~
Ф и г. 3.35. Поглощение, связанное с нереходамп между валентными под зонами в германии р-тппа [60].
Коэффициент поглощения, см
Ф и г. 3.36. Поглощение, связанное с переходами между валентными под зонами в GaAs р-типа [61].
р = 2,7 ■ІО17 см-3; GaAs легирован Zn.
80 Глава 3. Поглощение
наблюдаться сильная асимметрия поглощения, связанного с пере ходами V2 — Т^і [62].
Величины сппн-орбптального расщепления для полупровод ников III—У приведены в табл. 3.2, а значения эффективных масс — в табл. 3.3.
Таблица 3.2
Величины сшш-орбитальиого расщепления у соединении III—V
Из работы [61]. Kg — оптическая ширина запрещенной зоны; До (расч.) —
оценка величины сппн-орбнталъного расщепления в центре зоны Брил люэна ; До (эксп.) —экспериментально определенное спин-орбиталыюе расщепление; До —спин-орбитальпое расщепление на краю зоны Бриллюэна.
Соединение |
E (при 0 К), |
Д0 (расч.) |
До (эксп.) |
До |
|
эВ |
|||||
|
|
|
|
||
А1Р |
3,0 |
0,051 |
|
|
|
AlAs |
2,2 |
0,29 |
— |
___ |
|
AlSb |
1,6 |
0,76 |
0,75 |
0,60 |
|
GaP |
2,4 |
0,10 |
— |
< 0 ,1 5 |
|
GaAs |
1,53 |
0,33 |
0,33 |
0,39 |
|
GaSb |
0,80 |
0,81 |
— |
0,72 |
|
InP |
1,34 |
0,1S |
— |
0,24 |
|
InAs |
0,45 |
0,41 |
0,43 |
0,44 |
|
InSb |
0,25 |
0,89 |
0,98 |
0,84 |
|
Эффективные массы в соединениях III—V |
Таблица 3.3 |
||||
|
|||||
Из работы [61]. т |
(расч.) —вычисленная величина |
эффективной |
массы электрона |
в минимуме при |
h = 0; тс (эксп.) — измеренная величина эффективной массы электрона; |
тѴ2 (расч.) и т г |
(расч.) —вычисленные значения аффективных масс для зоны легких |
дырок и зоны, отщепленной за счет сппн-орбиталыіого взаимодействия, соответственно; |
тл„, (эксп.) и т$3 (эксп.) — соответствующие массы, определенные экспериментально; mhd (эксп->— эффективная масса плотности состояний для дырок, определенная из измерений переноса; тѴ[ (эксп.) — масса тяжелых дырок, определенная из оптических измерений.
Соединение |
« |
GJ |
a |
а |
(расч.) |
(эксп.) |
а |
|
|
C |
CT |
d |
|
|
С |
|
О |
CJ |
ri |
|
|
|
Ä |
|
и |
U |
<Я |
Ci |
тѵз |
т„3 |
“Ö |
|
g |
s |
£ |
£ |
|
||
А1Р |
0,131 |
|
0,392 |
|
0,850 |
|
|
AlAs |
0,110 |
— |
0,220 |
— |
0,680 |
— |
— |
AlSb |
0,081 |
— |
0,137 |
— |
0,490 |
_ |
0,9 |
GaP |
0,102 |
— |
0,202 |
— |
0,545 |
— |
— |
GaAs |
0,075 |
0,074 |
0,130 |
0,12 ' |
0,388 |
0,20 |
0,5 |
GaSb |
0,046 |
0,047 |
0,065 |
— |
0,298 |
— |
0,39 |
InP |
0,066 |
0,073 |
0,112 |
— |
0,310 |
— |
0,40 |
InAs |
0,026 |
0,021 |
0,035 |
0,025 |
0,154 |
0,083 |
0,33 |
InSb |
0,0153 |
0,0143 |
0,015 |
0,012 |
0,190 |
|
0,20 |
ТПѴі (эксп.)
—
_
—
0,68
0,23
—
0,41
"
§ 7. Внутризонные переходы |
81 |
Интересно отметить, что, согласно правилам отбора, вероят ность перехода между валентными подзонами обращается в нуль при к = 0, ио возрастает пропорционально к? [61]. Это прпмер прямых запрещенных переходов, рассмотренных в п. 2 § 1 настоя щей главы.
2.Полупроводники ѵг-типа
Вполупроводнике гс-типа возможны впутризонпые переходы между различными подзонами зоны проводимости. В GaP н-типа был обнаружен пик поглощения с низкоэнергетическим порогом при 0,27 эВ (фиг. 3.37) [63]. Его величина возрастает при увеличе нии концентрации электронов. Это поглощение было приписано
Ф и г. 3.37. Спектр погло щения GaP 71-типа (N —
= 1-1018 см-3) [63].
Быстрое увеличение а в длин
новолновой области обусловлено поглощением свободными носи телями, которое будет рассмот рено в следующем параграфе.
прямым внутризонным переходам в точке (100) между минимума ми подзон и Х 3 (см. фиг. 3.32) [64]. При измерениях на сплавах GaAs-^aPj. различного состава было установлено, что в согласии с этой моделью пик поглощения исчезает, как только долина І \ становится наинизшей и в нее переходят все электроны [65].
Пик с энергией 0,29 эВ, обнаруженный в AlSb ?г-типа [66], был также приписан [64] внутризонным переходам в зоне прово димости в области вблизи долины (100).
6-01085
Ф и г . 3.38. Зависимость коэффициента поглощения при комнатной темпе ратуре шести образцов GaAs /г-типа с различной степенью легирования от длины волны [18].
Концентрация |
электронов |
меняется |
от 1,3-10” см-3 для |
самой нпшвей кривой до |
5,4-ІО18 см-3 |
для верхней |
кривой. |
Быстрое возрастание а |
в коротковолновой! области |
соответствует краю собственного поглощения. Возрастание а в длинноволновой области обусловлено поглощением свободными носителями, которое будет рассмотрено далее.
§ 7. Внутризонные переходы |
83 |
Непрямые переходы между минимумами одной и |
той же под |
зоны зоны проводимости, расположенными при |
различных к, |
были привлечены для объяснения бугра на низкоэнергетическом крае поглощения других материалов ?г-типа (фиг. 3.38) [18]. В GaAs наблюдается бугор с низкоэнергетическнм порогом при
~ |
0,3 эВ, |
который можно связать с переходами из долины (000) |
в |
долину |
(111). Интенсивность этого поглощения возрастает |
с увеличением концентрации электронов. Такая интерпретация, по-видимому, согласуется с измерениями на сплавах GaAsj-JP* /г-тппа, где расстояние между этими долинами может меняться [68]. Более того, сечение по
глощения a/N для эторо непря |
|
|
|||||||
мого перехода примерно на два |
|
|
|||||||
порядка меньше, чем для пря |
|
|
|||||||
мого |
перехода в рассмотренном |
|
|
||||||
случае |
GaP. |
|
|
|
|
|
|
||
Подобное |
поглощение |
при |
|
|
|||||
0,25 |
эВ |
наблюдалось |
в |
GaSb |
|
|
|||
тг-типа; согласно предваритель |
|
|
|||||||
ной |
интерпретации, |
оно соот |
|
|
|||||
ветствует переходам |
из долины |
|
|
||||||
Ф и г. 3.39. Зависимость |
оптическо |
|
|
||||||
го поглощения |
а от энергии фотона |
|
|
||||||
hv для двух |
образцов ІпР при 77 К |
|
|
||||||
|
|
|
|
[70]. |
|
|
|
|
|
Полное поглощение (кривые 1) разложено |
|
|
|||||||
на компоненты, |
|
соответствующие |
погло |
|
|
||||
щению свободными носителями (кривые 2 ) |
|
|
|||||||
и поглощению, |
связанному |
с |
переходами |
|
|
||||
между подзонами |
(пунктирные кривые 1— |
|
|
||||||
2 ). Последнее удовлетворительно описы |
0,6 0,8 i,o |
і,2 і,4 |
|||||||
вается |
зависимостями вида |
а ^ |
(ftv — |
||||||
K0)1/a. где Е 0 = |
0,74 эВ дляп |
= 101“ см-3 |
ПѴ,'ЭБ |
------- *- |
|||||
■ и Е 0 = 0,86 |
эВ для ?і = |
10ls см-3. |
(000) в долину (100) [69]. В ІпР 7г-тина переход между долинами (000) и (100) проявляется также в виде бугра ниже края собственного поглощения, как это видно на фиг. 3.39 [70]. Если в этом случае из измеренного экспериментально погло щения вычесть ту его часть, которая соответствует поглощению свободными носителями (последняя величина получается экстра поляцией кривой поглощения носителями в интересующую нас спектральную область), то оставшееся поглощение (кривая 1—2) зависит от частоты примерно по закону (hv — А'0)1''2, которого следовало ожидать для непрямых переходов из узкой области заполненных состояний долины (000) в параболическую долину (100). Порог Е 0, расположенный при энергии 0,8 эВ, определяется
6*
84 |
Глава 3. Поглощение |
энергетическим зазором АЕ между двумя долинами зоны прово димости, энергией фонона Ер, участвующего в непрямом перехо де, и расстоянием уровня Ферми от дна иаинизшей долины: Е0 = ДЕ -f Ер — \ п- Для двух по-разному легированных мате риалов (фиг. 3.39) меныцая величина Епнаблюдается в материале
сбольшей степенью легирования.
§8. ПОГЛОЩЕНИЕ СВОБОДНЫМИ НОСИТЕЛЯМИ
Говоря «свободный носитель», мы имеем в виду носитель, кото рый может свободно двигаться внутри зоны и реагировать на внеш ние воздействия. Поглощение свободными носителями характери зуется монотонным, часто бесструктурным спектром, описываемым законом Ар, где А = с/ѵ — длина волны фотона, а р меняется в пре делах от 1,5 до 3,5. Примером спектра поглощения свободными носителями может служить правая часть фиг. 3.38 и кривая 2 в левой части фиг. 3.39.
При поглощении фотона электрон совершает переход в состоя ние с большей энергией в пределах той же долины (фиг. 3.40).
Такой переход требует дополнительного взаимодействия для того, чтобы выпол нялся закон сохранения квазиимпуль-
Ф п г. 3.40. |
Переход свободного |
электрона |
в |
зоне проводимости. |
|
са. Изменение квазппмпульса можно |
обеспечить либо |
в резуль |
тате взаимодействия с решеткой (фононы), лпбо путем рассеяния на ионизованных примесях.
Согласно теории Друде, описывающей колебания электрона в металле под действием периодического электрического поля, затухание должно увеличиваться пропорционально А2. В полупро водниках рассеяние акустическими фононами [71] приводит к по глощению, меняющемуся как А1-5. Рассеяние на оптических фоно нах [72] дает зависимость А2-5, тогда как рассеяние ионизованны ми примесями может дать зависимость А3 или А3-5, что связано
саппроксимациями, использованными при построении теории [73].
Вобщем случае реализуются все типы рассеяния и результи рующий коэффициент поглощения а / свободными носителями пред ставляет собой сумму трех членов
а ^ А Х ^ ь + ВК^ + Ск3’*, |
(3.24) |
где А, В я С — константы. В зависимости от концентрации приме сей тот или иной механизм рассеяния будет доминирующим. Пока
\
§ S. Поглощение свободными носителями |
85 |
затель р в зависимости Хр должен возрастать с увеличением леги рования или степени компенсации.
В табл. 3.4 приведены значения р и сечения поглощения ау/ІѴ для различных соединений.
Таблица 3.4 '
Поглощение свободными носителями в соединениях от-типа
|
Из работы [74]. |
|
|
Соединение |
Концентрация |
a f / N *, |
V |
носителей, |
10-17 см-з |
||
|
1017 см-з |
|
GaAs
InAs
GaSb
InSb
InP
GaP
AlSb
Go
1—5
о |
С |
С |
1 |
||
|
0,5 |
О |
|
О |
|
1—3 |
||
о |
1 |
|
|
10 |
|
0 ,4 -4 0,5—5
3 |
3 |
|
|
|
|
4,7 |
3 |
|
|
|
|
6 |
3,5 |
|
|
|
|
2,3 |
2 |
|
|
|
|
4 |
2,5 |
|
|
|
|
(32) |
( |
1 |
, |
8 |
) |
15 |
2 |
2 |
|
|
|
~ 4 |
~ |
|
|
|
* Отиошение коэффициента поглощения к концентрации свободных носителей a p N приведено для длины волны 9 мкм. Параметр р определяет
зависимость поглощения от длины волны в приближении а у —)TJ.
Классическая формула для коэффициента поглощения свобод ными носителями a f имеет вид
_ |
Nq42 |
|
(3.25) |
|
т*8л2пс3х |
’ |
|
|
|
где N — концентрация носителей, п — показатель преломления, а т — время релаксации. Отметим, что т учитывает влияние рас сеяния. Таким образом, следует ожидать, что вероятность рассея ния ионизованными примесями будет зависеть от природы приме си. Такая зависимость коэффициента поглощения от химической природы примеси была обнаружена в германии ?г-типа [75], где при данной длине волны
«/(As) > “ / ( ? ) > а/ (Sb),
и в GaAs [76], где также при фиксированной длине волны af (S) > a f (Se) > af (Те).
Далее, время релаксации зависит от концентрации рассеивающих центров. Поэтому при сильном легировании коэффициент ау не дол жен быть просто пропорциональным ÂT как записано в формуле