Файл: Мотт, Н. Электронные процессы в некристаллических веществах.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 15.10.2024

Просмотров: 190

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Некристаллические полупроводники

201

пями, что затрудняет ориентацию, сопровождающую процесс кри­ сталлизации.

Большинство аморфных тел, которые можно получить охлаж­ дением расплава, представляет собой широкозонные полупроводпики, в которых щель подвижности (см. определение в 2.9 и 7.3) превосходит 1 эВ. Примерами могут служить селен, A s 2 S e 3 i i сход­ ные халькогепидные вещества, многокомпонентные системы, такие, как CdGeAs2 , и обычные боросиликатиые стекла.

Такие вещества, как Те, Ge, Si, В и GeTe, которые нельзя полу­ чить в стеклообразном состоянии путем закалки расплава, могут

S i

Ge

s

Ф и г. 7.2. Приблизительные границы областей стеклообразования в неко­

торых тройных системах [175, 220, 243, 244, 297, 298, 404].

быть получены в аморфном состоянии путем напыления. В случае Ge и Si было установлено, что координационные числа в жидко­ сти равны 6 и 8 соответственно, тогда как в кристалле координа­ ционное число равно 4. Различие в значениях координационных чисел в жидком и кристаллическом состояниях характерно для этих материалов 1 ) . Щели подвижности, как правило, весьма малы, меньше 1 эВ. При напылении этих веществ следует соблюдать осто­ рожность, чтобы избежать нежелательной кристаллизации. Свой­ ства таких пленок часто оказываются чувствительными к скорости напыления и к последующим циклам отжига, что говорит о струк­ турных изменениях в пленках. Кристаллизация затрудняется при понижении температуры~и многие материалы в аморфном состоя-

*) Теллур, которому посвящена гл. 10, составляет исключение.

202

Глава 7

\

Классификация аморфных полупроводников на основе первой координационной сферы (координационное число в аморфном и кристал

Ч и с л а , стоящие после двоеточия, описывают среднее число соседних атомов

Структурный Т И П

Аморфное вещество

H I

в аморфном

 

веществе

 

Элемент

Ge

 

4

 

 

S i

 

4

 

 

 

 

 

 

 

S i C

 

4

 

 

AmBw

GaSb

 

4

 

Тетраэд-

i A m B v l

InSe

|

I u : 3, 46Se; Se : 3,46In

Г

I n : 0 , 9 5 I n

t

рическнй

1

 

 

 

(Ga,

In,) 2 (Se, T e ) 3

 

In : (3,91—4,01)Se

Г

 

 

S e : ( 2 , 5 9 — 2 , 6 7 ) I n

t

 

 

 

 

 

CdGe(P, A s ) 2

 

(P, A s ) : 2Cd, 2Ge

 

 

 

N 4 S i 3

 

S i : 4N

Г

Элемент <

Слопстый

Цепи и

Г

кольца

Элемент |

Икоса эд-

Элемент

рический

 

 

С

 

 

3 , 2 - 3 , 4

1

 

 

 

 

 

As

 

 

 

3

 

 

Sb

 

 

 

3

 

 

Sb, B i ) a ( S , Se, T e ) , + J

(As,

Sb,

B i ) : ( 2 , 9 -

(

(As,

3,6) (S, Se, Те)

I

+

( А Ш , flIV, C v " )

\

(S,

Se,

Т е ) : ( 2 , 0 -

]

 

Se

 

2,41 (As, Sb, Bi)

l

 

 

 

 

2

 

 

Те

 

 

 

 

 

 

В

 

 

 

6

 

нии можно получить только тогда, когда подложка находится при температуре жидкого азота или еще более низкой.

Детальные сведения о приготовлении тонких пленок читатель может найти в работах, ссылки на которые приведены в последую­ щих главах, посвященных конкретным веществам, а также в книгах Чопры [93] и Холланда [247].

В^настоящее время наилучший способ классификации аморф­ ных полупроводников";; вероятиоТ"соответствует разбиению их па' группы с одинаковым структурным окружением ближнего порядка. Общее правило, впервые отмеченное Иоффе и Регелем [257], со­ стоит в том, что в аморфном теле сохраняется координационное число соответствующего кристалла. Это правило применимо почти


 

 

 

 

Некристаллические

полупроводники

 

 

203

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 7.1

структуры ближнего порядка и сравнение параметров

 

 

 

пi',

расстояние между ближайшими соседями ?\)

 

 

 

 

 

лнческом состояниях

 

 

 

 

 

 

 

 

т о го

с о р т а , который

у к а з а н

непосредственно

за этим

числом

[ 2 1 3 ] .

 

 

 

 

 

 

 

 

п в аморфном

 

 

 

 

 

Конкрет­

 

ni

в кристалле

 

ri

в кристалле

ное веще­

 

веществе

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ство

 

 

4

 

2,47—2,54

 

 

2,43

 

Ge

 

 

4

 

2 , 3 7 - 2 , 4 1

 

 

2,35

 

S i

 

S i : 4С;

С : 4Si

 

 

 

 

 

S i C

 

G a : 4Sb; Sb : 4Ga

2,65

 

 

 

2,638

 

GaSb

 

I n : 3 S e ;

Se : 3In Г

I n — S e :

2,60

f

I n — S e

:

2,50

InSe

 

 

I n : l l n

1

I n — I n : 3 , 1 5

1

I n — I n :

3,16

 

 

 

(Ga,

I n ) : 4(Se,

Те)

2,57—2,60

 

 

2,58

 

I n 2 S e 3

(Se, Т е ) : 2,66(Ga, In)

 

 

 

 

 

 

C d - P

:

2,55

 

 

(P,

A s ) : 2Cd,

2Ge

2,50

 

 

C d G e P 2

 

 

 

G e - P :

2,33

 

 

Si : 4 N

 

- 1 , 7

 

 

1 , 7 - 1 , 8

 

 

 

4

 

 

{

 

1,54

 

алмаз

 

 

 

3

 

2,40

 

1,41

 

графит

 

 

3

 

 

 

 

2,51

 

As

 

 

3

 

2,87

 

 

 

2,87

 

Sb

(As,

Sb, Bi) : 3 ( S , Se, Те)

 

 

 

i\ в кристал­

 

 

 

 

 

ле

«

 

 

(S,

Se, Т е ) : 2 (As, Sb, Bi)

 

 

 

as 7-i в аморф­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ном

 

 

 

 

 

2

 

2 , 3 1 - 2 , 3 4

 

 

2,32

 

Se

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~

6

 

 

 

 

- 1 , 8

 

 

ко всем исследованным до сих пор аморфным полупроводникам г ) . Для тех составов, у которых отсутствует соответствующая кристал­ лическая фаза, это правило, разумеется, теряет силу. Однако оно дает основания считать, что,например, в системах, содержащих As и Se, при низких концентрациях As будут доминировать селеноподобные структурные элементы, тогда как при высоких концент­ рациях As должна проявляться тенденция к образованию эле­ ментов типа As2 Se3 . В табл. 7.1 (из работы [206]) в левом столбце указаны основные структурные группы, т. е. такие элементы или

х ) В работах Беттса и др. [52] и в гл. 8 обсуждается GeTe, являющийся, по-видимому, исключением.


204

Глава

7

комплексы,

которые, например,

имеют тетраэдрнческие связи,

или кристаллизуются слоями, или образуют кольца и т. д. В табли­ це указано большинство изученных в настоящее время стехиометрических аморфных полупроводников, однако она не является полной. Символ п обозначает первое координационное число, сим­ вол ?• — расстояние между ближайшими соседями. Эти столбцы будут обсуждаться ниже.

Такая схема классификации была использована при распре­ делении экспериментальных результатов по главам 8—10. Из числа веществ, опущенных в табл. 7.1, следует отметить обычные боросшшкатные и фосфатные стекла, содержащие металлические ионыг стекла на основе окислов переходных металлов (гл. 4) и ряд мно­ гокомпонентных стекол, содержащих элементы, приведенные в табл. 7.1 не в стехиометрических пропорциях. Свобода наруше­ ния стехиометрических пропорций является одной из наиболее "важных особенностей аморфных полупроводников, и многокомпо­ нентные системы, содержащие один или несколько халькогенидных элементов (S, Se, Те), становятся объектами наиболее интен­

сивного исследования,

в частности для прикладных целей.

7.3. ИЗУЧЕНИЕ

СТРУКТУР АМОРФНЫХ ВЕЩЕСТВ

В аморфных твердых телах отсутствует трехмерная периодич­ ность х ) . Расположение атомов в таких телах не является, однако, совершенно случайным, как это имеет место в газах. Силы связи, действующие между атомами в жидкости, очень близки к тем, кото­ рые действуют в кристалле, и хотя отсутствует дальний порядок, тем не менее сохраняется ближний порядок, существующий на небольшом числе постоянных решетки.

Для полного теоретического описания свойств аморфного тела требуется знать его структуру. Если даже учитывать лишь парные взаимодействия отдельных атомов и ограничиться ближним поряд­ ком, то возможно огромное количество различных структур для любого аморфного материала. Поэтому оказывается особенно существенным экспериментальное определение ближнего порядка и его действительной протяженности. Ближний порядок определяет многие физические свойства. Если не наблюдаются объекты с раз­ мерами более 50 А , то это указывает на отсутствие кристаллизации или разделения фаз 2 ) . В этом случае могут быть использованы методы, позволяющие получать большое разрешение, а именно

г ) Благодаря такому определению термины «неупорядоченные», «некри­ сталлические», «аморфные», «стеклообразные», «стекловидные» оказываются синонимами. Однако два последних предпочтительно употребляются для некристаллических тел, получаемых путем закалки из жидкого состояния.

2 ) Для примера в начале книги приведены фотографии, полученные с по­ мощью сканирующего электронного микроскопа.


Некристаллические полу проводники

205

дифракция электронов и рентгеновских лучей, инфракрасное по­ глощение и рамановская спектроскопия. Дифракция нейтронов в настоящее время широко не используется, хотя ее применяют, для исследования жидких металлов и полупроводников (ср. 3.17). Дифракционные картины, даваемые аморфными твердыми телами, состоят из широких колец, без каких-либо признаков текстуры, указывающей на неко­ торую степень кристал­ личности (см. фото в начале книги).

Измерив угловое рас­

 

 

 

 

 

 

 

пределение

рассеянно-

 

 

 

 

 

 

 

то

излучения,

можно

 

 

 

 

 

 

 

восстановить

радиаль­

 

 

 

 

 

 

 

ную

функцию

парного

 

 

 

 

 

 

 

распределения

4лг2 р (г)

 

 

 

 

 

 

 

•с помощью

преобразо­

 

 

 

 

 

 

 

вания

Фурье. Эта фун­

 

 

 

 

 

 

 

кция дает

среднее

чис­

 

 

 

 

 

 

 

ло пар атомов, разделен­

 

 

 

 

 

 

 

ных расстоянием от г до

 

 

 

 

 

 

 

г +

dr.

При нахожде­

 

 

 

 

 

 

 

ний

такой

функции

 

 

 

 

 

 

 

обычно делают

несколь­

 

 

 

 

 

 

 

ко

упрощающих

допу­

 

 

 

 

 

 

 

щений;

два из них мы

 

 

 

 

 

 

 

здесь упомянем. Первое

 

 

 

 

 

 

 

состоит

в

предположе­

 

 

 

 

 

 

 

нии

однородности

кон­

Ф и г.

7.3.

Радиальная

функция

распреде­

центрации

атомов.

Это

ления

для аморфного

германия

[431].

 

предположение справед­

 

 

 

 

 

 

 

ливо для жидких

металлов, но оно может оказаться неверным

для

аморфных

полупроводников,

в

которых

весьма

вероятно

присутствие пустот или трещин. Второй источник искажения

ра­

диального

распределения, который

может вызвать появление

ложной структуры, заключается

в

ограниченном интервале

ин­

тегрирования в преобразовании Фурье. Для построения пра­ вильного радиального распределения 4яг2 р (г) требуются значи­ тельная осторожность и большое мастерство.

Если первый максимум этого распределения хорошо отделен •от последующих, то площадь под ним дает число атомов в первой координационной сфере. Положение пика характеризует среднее расстояние до ближайшего соседа. На фиг. 7.3 показано типичное' радиальное распределение для аморфного германия [431]. Колеба­ ния плотности происходят вблизи параболы, которая дает радиаль­ ное распределение в гипотетической аморфной среде, имеющей ту


206

Глава 7

же плотность, что и реальная, но в которой материя однородно рас­ пределена в пространстве. Хотя первые координационные сферы хорошо определены, ширины пиков связаны с разбросом межатом­ ных расстояний и убывание амплитуды осцилляции с радиусом 7- свидетельствует об отсутствии дальнего порядка. В аморфном гер­ мании первые два координационных числа равны 4 и 12, так же как и в кристалле. Среднее межатомное расстояние, однако, на 3% больше.

Табл. 7.1 содержит подобные сведения и о других аморфных полупроводниках. Так, например, в кристаллическом InSe в пер­ вой координационной сфере имеются атомы обоих сортов. Каждый атом I n окружен четырьмя соседями — три атома Se и один атом I n , а каждый атом Se имеет окружение из трех атомов I n и одного атома Se. В аморфном InSe первый максимум радиального рас­ пределения расщеплен на два пика; таким образом сохраняется та же конфигурация ближнего порядка, что и в кристалле.

В кристаллическом As2 Se3 каждый атом As имеет в качестве ближайших соседей три атома Se, а каждый атом Se — два атома As. В аморфной фазе эти числа увеличиваются (что не отражено в табл. 7.1). При этом первые расстояния остаются близкими к сум­ ме ковалентных радиусов As и Se. Можно заключить, что в аморф­ ной фазе сохраняется слоистая структура, однако слои становятся «волнистыми» и, вероятно, в некоторых точках прикрепляются один к другому поперечными связями.

Мышьяк и сурьма в кристаллическом состоянии являются полу­ металлами. В аморфном состоянии первое координационное число остается равным 3 и радиус первой координационной сфе­ ры также остается практически неизменным. Вещество, однако, приобретает полупроводниковые свойства [296]. Поэтому нельзя утверждать, что появление металлических или полупроводниковых свойств является следствием только той или иной величины коор­ динационного числа. В соответствии с представлениями, разви­ тыми в гл. 2, конфигурация атомов в аморфном теле приводит

квозникновению состояний, локализованных в пространстве.

Энергии этих

состояний располагаются

вблизи энергии Ферми

что особенно

вероятно,

если в кристаллической фазе плотность

состояний вблизи энергии Ферми N (EF)

мала. Такая ситуация

возникает, например, в

аморфных сплавах M g — B i (см. 3:16.2)

и в аморфном

углероде,

полученном напылением [5].

Подробное обсуждение структуры аморфных полупроводни­ ков, исследованной методом дифракции рентгеновских лучей, чита­ тель сможет найти в обзоре Григоровичи [206] и в цитированных там работах. В гл. 8—10 также содержатся более детальные све­ дения о структуре некоторых аморфных материалов.

Структурные модели жидкостей или аморфных твердых тел могут быть построены так, чтобы удовлетворять наблюдаемой