Файл: Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 19.10.2024

Просмотров: 72

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

к о т о р а я

св я зы в а ет

и ск о м о е

зн а ч е н и е к о н ц ен т р а ц и и

в

н а ч а л е о ч е р е д н о г о ( т +

1 )-н ого

у ч а ст к а

п о сл е

( п

+

1 )-н ого

п р о х о ж д е н и я

со зн а ч ен и ем

д л я

п р ед ы д у щ ег о

т - н о г о

у ч а ст к а

т а к ж е

п о сл е

( п

+

1 )-н ого

п р о х о ж д е н и я

и

ср ед н и м с о д е р ж а н и е м

п р и м еси

на

( т +

1)-ном у ч а ст к е

п о с л е

n -о го п р о х о д а .

 

 

 

 

 

 

 

 

Е с л и ш аг

h

у к л а д ы в а ет ся

н а

д л и н е р а сп л а в л ен н о й

зо н ы

I н еск о л ь к о

р а з , то

к о н ц ен т р а ц и я

п р и м еси

б у д е т о п р е д е л я т ь с я

сл ед у ю щ и м и

в ы р а ж ен и я м и :

 

 

 

 

 

 

 

С [? + 1 )

=

k

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

( ■ -

 

 

£=1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

т — 1 + //ft

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

т

£

 

с \ п)

 

 

 

 

 

 

 

(1 1 .1 7 )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

i = l + l / h

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

h k \ г ( п + 1) 1 ^ p i n )

 

 

 

(1 1 .1 8 )

 

 

 

 

 

 

с д а = ( 1 - т )

T

 

i '-‘ m + l / h t

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и з

к о то р ы х п р и

h

=

I н ет р у д н о

п о л у ч и т ь со о т в етств ен н о в ы р а ж ен и я (1 1 .1 5 ) и

(1 1 .1 6 ).

 

В с е у к а за н н ы е со о т н о ш ен и я п р и зо н н о й п е р е к р и с т а л л и за ц и и ,

к а к п р а в и л о ,

н е

р а сп р о ст р а н я ю т с я

н а

у ч а ст о к п о сл ед н ей

зо н ы ,

где

р а с п р е д е л е н и е

п р и м еси л егк о

у ст а н а в л и в а ет ся

а н а л и т и ч еск и м и

м етодам и

(в с л у ч а е

о б ы ч н ой

зо н н о й п е р е к р и с т а л ­

л и за ц и и — п о ср ед ст в о м у р а в н е н и я д л я н о р м а л ь н о й н а п р а в л ен н о й к р и с т а л л и за ­

ц и и ). С п ец и ф и ч еск и й

х а р а к т ер

 

р а ссм а т р и в а ем о го

р а сч ет н о го

м ето д а о б ъ я с н я е т

в за и м о св я зь

м е ж д у

ег о т о ч н ость ю

и п р о и зв о д и т ел ь н о ст ь ю .

Ш аговы й

 

х а р а к т ер

м е ­

т о д а п р и в о д и т к

су щ ес т в ен н о м у

 

в о зр а ст а н и ю

к о л и ч еств а р а сч ет н ы х

о п е р а ц и й

п р и

со к р а щ ен и и

д л и н ы

ш а га . П о эт о м у

о д н о й

и з

п ер в ы х

за д а ч

р а сч ет а я в л я е т с я вы бор

о п ти м а л ь н о го зн а ч ен и я р а сч ет н о го ш а г а ,

к о т о р о е п о зв о л я е т д о с т и г н у т ь н а и м е н ь ­

ш его о б ъ ем а

р а сч етн ы х

о п ер а ц и й

п р и д о ст а т о ч н о й

то ч н о сти

р а зу л ь т а т а .

В к а ч естве

п р и м ер а р а ссм о тр и м

р а сч ет зо н н о й

п е р е к р и с т а л л и за ц и и

п р и

д в у х

р а зн ы х

зн а ч е н и я х

р а сч ет н о го ш а г а ,

п ри ч ем д л я п р о в ер к и

в о с п о л ь зу е м с я

точны м и

зн а ч е н и я м и , к о т о ­

ры е д л я

п ер в о го

п р о х о ж д е н и я

м о ж н о

н ай ти

по

и зв ест н о й

ф о р м у л е

 

(1 .3 4 ):

 

 

 

 

 

 

^ L = l _ ( l _ * ) e x p ( - j ) .

 

 

 

 

 

(1 1 .1 9 )

Д л я

за г р у зк и

с

о т н о ш ен и ем

е е

д л и н ы

к д л и н е

р а сп л а в л ен н о й

зо н ы , равн ы м

16,

ср а в н и м р езу л ь т а т ы

п р и в ел и ч и н е

р а сч ет н о го

ш ага

 

=

0 ,5 1 и

Л2 =

/

д л я k =

0 ,1 .

П о л у ч е н н ы е

зн а ч ен и я

п р и в ед ен ы

в

т а б л .

1. ч ер ез

и н т ер в а л ы ,

р авн ы е

д л и н е , зо н ы ,

п р и ч ем д а ю т ся о тн о ш ен и я и ск ом ы х зн а ч ен и й к о н ц ен т р а ц и й к и с х о д н о й к о н ц ен т р а ­ ц и и .

С о п о ст а в л ен и е и ст и н н ы х и р а сч ет н ы х в ел и ч и н п о к а зы в а ет , что п о гр еш н о ст ь в к он ц е р а сч ет а со ст а в л я ет п р и м ер н о 1% п р и h = 0 ,5 / и 2% п р и h = /, с л е д о в а т е л ь н о ,

д л я

р а ссм о т р ен н о го с л у ч а я

в п о л н е

у д о в л ет в о р и т ел ь н ы е р езу л ь т а т ы

д о ст и г а ю т ся

д а ж е

п р и м а к си м а л ь н о м ш а ге

h = I,

и у м е н ь ш е н и е

ег о с ц ел ь ю п овы ш ен и я

то ч н о сти

р а сч ет а

н е ц е л е с о о б р а зн о . И н тер есн о

о т м ет и ть , что

п р и у в ел и ч ен и и

д л и н ы

за г р у зк и

в дв о е

п о гр еш н о ст ь

н е у в ел и ч и в а ет ся :

п р и и сти н н ом

зн а ч ен и и

0 ,9 5 9

р а сч ет д а е т 0

,9 6

6

(п р и

h =

I ), х о т я

к о л и ч еств о

р а сч ет н ы х о п е р а ц и й

в о зр о с л о

т а к ж е в

д в а

р а з а .

Н

а

о с н о в е п р и в ед ен н о г о ср а в н ен и я м о ж н о о ц ен и т ь м а к си м а л ь н о в о зм о ж н у ю п о г р е ш ­

н о ст ь р еа л ь н о г о

р асч ета : д а ж е

ес л и

п р и н я т ь ,

что

п о гр еш н о ст ь

в о зр а с т а е т

п р о п о р ­

ц и о н а л ь н о

к о л и ч ест в у

р асч етн ы х

о п е р а ц и й , то

с у м м а р н а я

п о гр еш н о ст ь

р а сч ет а за

о д н у ты ся ч у

о п ер а ц и й

н е

д о л ж н а

п р евы ш ать

60%

(п р и

h

=

I,

k =

0 ,1 ) .

С л ед у ет

о т м ет и ть ,

что

н ео б х о д и м ы й

в

к о н ц е

к а ж д о г о о ч е р е д н о г о

ц и к л а

п р о ц есс а

(н а п р и м ер ,

в к о н ц е

к а ж д о г о

о ч ер ед н о г о

п р о х о ж д е н и я зон ы )

п е р е х о д

о т

зн а ч ен и й к о н ц ен т р а ц и й

д л я г р а н и ц у ч а ст к о в

 

 

к ср ед н и м к о н ц ен т р а ц и я м д л я у ч а ст к о в С

 

м о ж ет

бы ть п р а к т и ч еск и

о су щ ес т в л ен

с д о ст а т о ч н о й

то ч н о сть ю

с

п о м о щ ь ю

ф о р м у л ы

т р а ­

п ец и й .

К р о м е

т о г о , с л е д у е т

о тм ети ть си ст ем а т и ч еск и й

х а р а к т ер

п о г р е ш н о с т и ,

что

м о ж е т бы ть и сп о л ь зо в а н о д л я у т о ч н е н и я р е зу л ь т а т о в р а сч ет а .

44


 

 

 

 

 

 

 

Таблица t

СРАВНЕНИЕ

КОНЦЕНТРАЦИИ ПРИМЁСИ ПРИ h С ТОЧНЫМИ

 

ЗНАЧЕНИЯМИ, ПОЛУЧЕННЫМИ ПО ФОРМУЛЕ (II. 19)

 

 

Отношение искомой концен­

 

Отношение искомой концен­

Расстоя­

трации к исходной

 

Расстоя­

трации и исходной

VOq

ние от

 

 

 

ние от

 

 

 

начала

точное

по расчету при

начала

точное

по расчету при

загрузки

загрузки

в длинах

значение

величине шага

в длинах

значение

величине шага

зоны х}1

по фор­

 

 

зоны х/1

по фор­

 

 

муле

h = 0,5/

h = l

муле

h =0,5/

h = l

 

(11.19)

 

(11.19)

0

0 ,1 0 0

0 ,1 0 0

0 ,1 0 0

8

0 ,5 9 6

0 ,6 0 3

0 ,6 1 3

1

0 ,1 8 6

0 ,1 8 7

0 ,1 9 0

9

0 ,6 3 4

0 ,6 4 3

0 ,6 5 1

2

0 ,2 6 3

0 ,2 6 8

0 ,2 7 1

10

0 ,6 6 9

0 ,6 7 9

0 ,6 8 6

3

0 ,3 3 3

0 ,3 3 9

0 ,3 4 4

11

0 ,7 0 0

0 ,7 1 1

0 ,7 1 8

4

0 ,3 9 7

0 ,4 0 4

0 ,4 1 0

12

0 ,7 2 9

0 ,7 3 9

0 ,7 4 6

5

0 ,4 5 4

0 ,4 6 3

0 ,4 6 9

13

0 ,7 5 5

0 ,7 6 4

0 ,7 7 1

6

0 ,5 0 6

0 ,5 1 5

0 ,5 2 2

14

0 ,7 7 8

0 ,7 8 7

0 ,7 9 4

7

0 ,5 5 3

0 ,5 6 3

0 ,5 7 0

15

0 ,7 9 9

0 ,8 0 8

0 ,8 1 5

В о м н о г и х к р и ст а л л и за ц и о н н ы х р а зд ел и т ел ь н ы х п р о ц е с с а х п о сл е н ек о т о р о го

н а ч а л ь н о го п ер и о д а у ст а н а в л и в а ет ся ст а ц и о н а р н о е со с т о я н и е ,

н ап р и м ер п р ед е л ь ­

н о е р а с п р е д е л е н и е п р и зо н н о й п е р ек р и ст а л л и за ц и и за г р у зк и к он еч н ой дл и н ы .

П ри

это м п о с л е д у ю щ и е

ц и к л ы п р и п р е ж н е м

р еж и м е н е и зм ен я ю т р а сп р ед е л ен и я п ри м еси .

П р е д е л ь н о е р а с п р

е д е л е н и е м о ж ет бы ть

д о ст и г н у т о з а б о л ь ш ее и ли м ен ь ш ее

число

п р о х о д о в в за в и си м о ст и о т т о г о , к ак и м и сп о со б а м и и с п ом ощ ью к а к и х р еж и м ов он о

д о с т и г а е т с я .

В о з м о ж н о , д л я

б о л ь ш и н ст в а р а ссм а тр и в а ем ы х п р о ц есс о в

д л я у с к о ­

р ен н о г о

д о с т и ж е н и я

п р е д е л ь н о г о р а с п р е д е л е н и я

о к а ж е т с я в п о л н е

ц ел есо о б р а зн ы м

п р о в ед ен и е

н а ч а л ь н о й ст а д и и

в о с о б о м

р е ж и м е ,

к оторы й о т л и ч ен

о т о сн о в н о г о

р е ­

ж и м а .

Е с л и

за д а ч е й

р а сч ет а

я в л я ет ся

н а х о ж д е н и е п р ед е л ь н о го р а сп р едел ен и я .,

то

д л я ф о р си р о в а н н о г о

р еш ен и я

м о ж н о

в о сп о л ь зо в а т ь ся ан ал оги ч н ы м и

расчетн ы м и

сп о со б а м и . Д л я у с к о р е н н о г о н а х о ж д е н и я п р ед е л ь н о го р а сп р ед е л ен и я м о г у т п р и м е ­

н я т ь ся к ак о со б ы е , у с к о р я ю щ и е р асч етн ы е р еж и м ы , отл и ч н ы е о т о сн о в н о г о р еж и м а ,

т а к и сп о со б п р и б л и зи т ел ь н о г о р а с п р е д е л е н и я , к о гд а и з н ем н о ги х п р и м ер н ы х о ц е ­

н о ч н ы х р а сп р ед е л ен и й

в ы б и р а ется

са м о е б л и зк о е

к

п р ед е л ь н о м у р а сп р ед е л ен и ю ,

п о д в ер г а ет ся к о р р е к т и р о в к е и п р осч и ты в ается по

за д а н н о м у р е ж и м у

д о у с т а н о в л е ­

н и я

п р ед е л ь н о го р а с п р е д е л е н и я .

С

п ом ощ ью у к а за н н ы х сп о со б о в о б ъ ем р асч ета м о ­

ж е т

бы ть со к р а щ ен в

н еск о л ь к о

р а з . В св я зи с эти м

с л е д у е т п о д ч ер к н у т ь и н т е р е с ­

н у ю

о с о б е н н о с т ь р а ссм а т р и в а ем о го

м е т о д а , к о то р а я

х а р а к т ер н а д л я

ш аговы х и т е ­

р а ц и о н н ы х в ы ч и сл ен и й . П р и н а л и ч и и о ш и б к и в х о д е р а сч ет а , к о т о р у ю м о ж н о р а с ­

см а тр и в а т ь

к ак

р е зу л ь т а т о т к л о н ен и я

п р о ц есс а

о т за д а н н о г о

р е ж и м а , д о ст а то ч н о

н еб о л ь ш о го

ч и сл а ц и к л о в

(п р а к т и ч еск и

д в а -т р и

п р о х о ж д е н и я

зо н ы ), чтобы

п о л н о ­

сть ю

у с т р а н и т ь

о ш и б к у , и н ач е г о в о р я ввести си ст ем у в за д а н н ы й р еж и м . П р ак ти к а

р а сч ет а п о д т в ер д и л а ,

что

д л я п р о в ер к и

п р ед е л ь н о го р а сп р ед е л ен и я д о ст а то ч н о п р о ­

в ести

в сего

о д и н

ц и к л

р а сч ет а . К р и т ер и ем

в это м

сл у ч а е б у д е т

я в л я ть ся со в п а д ен и е

о б о и х

р е зу л ь т а т о в . Г р а ф и ч еск а я п р о в ер к а

р а с ч е т а , о сн о в а н н а я

н а вы явл ен и и

р езк о

о т к л о н я ю щ и х с я то ч ек о т за к о н о м ер н о г о х о д а к р и в о й р а с п р е д е л е н и я , т а к ж е п о зв о ­ л я е т о б н а р у ж и т ь о ш и б к и .

ПРИБЛИЖЕННЫЙ РАСЧЕТНЫЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ

Несмотря на значительные успехи в области аналитического реше­ ния уравнений зонной перекристаллизации, из-за слишком общего характера или громоздкости результатов этих исследований между ними и практикой зонной перекристаллизации оказался разрыв.

45


Он был сокращен, когда Буррис, Штокман и Диллон [53, с. 225—242 ] приближенным интегрированием по методу трапеций решили ин­ тегральное уравнение баланса примеси для зоны и получили боль­ шую группу кривых распределения, до настоящего времени явля­ ющуюся полезным средством изучения и ориентировочного предска­ зания результатов зонной перекристаллизации. Полученные расчет­ ные выражения оказались удобными для машинных численных расчетов. При расчетах «вручную» объем вычислений по ним слишком велик. По этой причине при «ручном» счете обычно пользуются численным методом Хамминга, который прост, гибок, применим ко всем известным в настоящее время вариантам зонной перекри­ сталлизации и позволяет учитывать изменение отдельных параметров

входе процесса.

Врезультате разработки расчетных формул, отражающих такого рода процесс, удалось достичь автоматизма, необходимого при боль­ шом объеме вычислений. Хотя возможность приближенной замены плавного движения зоны скачкообразным (при конечной длине

скачка) в методе Хамминга не вызывает сомнения, однако обращает на себя внимание искусственность такого приема. Поэтому В. Н. Вигдоровичем и А. Е. Вольпяном [61—63] был разработан расчетный метод, свободный от этого допущения.

Дифферейциальное уравнение зонной перекристаллизации при пфанновских допущениях имеет следующий вид:

с ; (х) = \ [Сп_г (X + /) - Сп (х)),

(II.20)

где Сп (х) — концентрация в точке х слитка после n-ного прохода зоны;

k — коэффициент распределения; I — длина зоны;

х — расстояние рассматриваемой точки загрузки от начала. При решении этого уравнения необходимо учесть следующие на­

чальное и граничные условия:

 

 

 

С0 (х) = С0;

(П.21)

 

i

 

 

Cn(0) = - Y - J c n_1(x)dx

(11.22)

 

о

 

 

И

 

 

 

Сп(х) = -J- с„ (L — / — 0)

при L — l < x «£ L

(II.23)

или

 

 

 

Cn(x)==Cn(L 1)

У

1 при L — l ^ x ^ L .

(И.24)

Условие (П.23) предполагает равномерное затвердевание в по­ следней зоне загрузки, когда концентрация расплава, а следова-

4 6


тельно, и концентрация всей последней закристаллизовавшейся зоны в l/k раз отличается от концентрации слева от точки х = L — /, где L — длина загрузки. Условие (11.24) соответствует процессу нормальной направленной кристаллизации последней зоны.

Будем концентрации и длины измерять соответственно в единицах исходной концентрации С0 и в единицах длин зон /; это равносильно

тому, как если бы

мы в выражениях

(11.20)—(11.24)

положили

С0 = 1. В результате получим

 

 

 

 

С'п (х) = k [С„_х +

0 — Сп (х) ],

(11.25)

 

С0 (х)=

1;

 

 

(11.26)

 

i

 

 

 

(11.27)

Сп ( 0 ) ^ k \ c n_1 (x)dx;

 

о

 

 

 

 

С„ (х) =

С„ (L — / — 0)

при L — K x z ^ L - ,

(11.28)

С„ (х) = Cn (L — /) (L — x)ft_1

при

L — / х sg: L,

(11.29)

Запишем разложение функции Сп (х), представляющей собой концентрацию в данной точке х загрузки после л-ного прохода зоны, в ряд по степеням Ах в точке х + Ах:

с в (х + дх) = с п(х) + ^ с л х ) + ^ £ с ; ; ( х ) + . . .

(п.зо)

Это разложение верно для всех значений х, в которых

Сп (х)

и ее производные существуют и непрерывны. Допустим, что это усло­ вие выполняется. Значения производных можно найти из дифферен­ циального уравнения баланса примеси для зоны (11.20). Для этого потребуется его последовательное дифференцирование. Таким обра­ зом, получим:

С"п(х) =

[с;_, (х + /) — С'п (х)] =

 

= ( 4 ) 2 Юп- 2

+ 21) - 2Сп., (х + /) +

Сп(х)];

(11.31)

Сп *(х) — ( ~ )

{Cn—i (X + И) + (— 1) ^

j J j J | X

 

X C n —( i —l) [X +

(i

1) /] + (— l)2

2 ) \ 2 !

C n- ( i - 2 )

X

X [x +

(i - 2) / ] + . . . +

(-l)'C „ (x )} .

(11.32)

Коэффициенты при концентрациях в равенствах (11.20)—(11.32) — биноминальные. Таким образом, для вычисления концентрации при л-ном проходе достаточно знать распределение концентраций при предыдущих проходах.

47


Ограничившись в разложении (11.30) двумя первыми членами и подставив вместо С'п (х) ее выражение (11.25), получим в качестве первого приближения

Сп

Ах) = Сп (x).-f- [С„_х (х -f- /)

Сп(х)] k Ах.

(11.33)

Аналогично в качестве второго приближения получим

 

Сп (х 4~ Ах) = Сп (х) -|- [С„_х (х 4~ /) — С„ (х)] &Дх -\-

 

• +[С„_2(х + 2)-2 С „_ 1(х + /) +

Ся(л) ] - ^ ^ - .

(П.34)

В качестве третьего приближения

 

 

 

Сп(х + Ах) = С„ (х) [Сп_г (х + /) — С„ (х)] k Ах +

 

+ Сп_г (х + 2/) -

(х + /) + Сп(х)]

+

 

4~ [Ся_з (х +

3/)—ЗС„_2 (х -|- 21) -|- ЗС„_Х(х -|- /) 4- Сп (х) ^

3 1^

 

 

 

 

 

(11.35)

и т. д.

Влияние начального условия (11.26) ведет к тому, что уравнение (11.34) оказывается справедливым начиная со второго прохода, а уравнение (11.35) — с третьего прохода зоны. Для первого прохода

втором приближении

 

С1(х 4~ Ах) — Сх(х) 4' [ 1 — Сг Ml

k Ах

(k Дх)2

(11.36)

 

 

2]

 

 

 

 

 

 

а в

третьем приближении

 

 

 

 

 

 

С1(х 4- Ах) — Сх (х) 4” [ 1 — Сх(х)]

k Ах — (£ Дх)2

(йДх)3 1

 

 

 

 

2 !

 

3!

 

 

 

 

 

 

 

(11.37)

Для

второго прохода в третьем приближении

 

 

 

 

С2 (х 4- Ах) = С2 (х) 4- [Сх (х 4- 0 — С2 (х4 k Ах 4-

 

 

4- [ 1 - 2Ci (х + /) + С2 (х)]

+ [ -

2 + 3Сх (х 4- D -

 

 

- С 2( х ) ] ^ ^ .

 

 

 

(11.38)

По уравнениям (11.33)—(11.38) можно вести приближенный расчет концентраций в полубесконечных слитках. Граничное условие (11.27) дает возможность по концентрациям (п — 1)-го прохода найти одну концентрацию n-ного прохода, необходимую для последующего расчета Сп (х).

В случае загрузки ограниченной длины требуется учесть гранич­ ное условие (11.28) или (11.29). Можно видеть, что в точке х = L — /

48