Файл: Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 19.10.2024

Просмотров: 73

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

трации. Для определения верхнего значения Cn (L — l) удобно пользоваться зависимостью, получающейся в результате интегриро­ вания уравнения (11.54) в пределах от L — / до L:

Cn ( L - l ) = Щ*,

(11.55)

где М п — количество примеси, выделившейся на

участке нормаль­

ной направленной кристаллизации:

 

L—1

 

Mn — C0L — j Cn(x)dx.

(11.56)

о

 

В качестве примера рассмотрим кривые распределения при двух проходах зоны для следующего случая зонной перекристаллизации: Со = 1; I = k = 0,5; L = 1,5. Величину Ах примем равной 0,05. Ограничимся первым приближением. Таким образом, при х <5 1 справедливо равенство (11.45), а при х > 1 — равенство (11.54). Расчеты удобно сводить в таблицу (табл. 2). В первом ее столбце

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 2

 

РАСЧЕТ В ПЕРВОМ ПРИБЛИЖЕНИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ

 

 

КОНЦЕНТРАЦИЙ С, (х) И С2 (х) ПОСЛЕ ПЕРВОГО И ВТОРОГО

 

ПРОХОДОВ

ПРИ

С„ (х) =

1; 1 =_к =

0,5; L =

1,5 и Ах =

0,05

 

 

 

 

 

1

1

 

 

1

i

 

 

 

 

 

 

 

'к

 

 

 

 

 

< —

 

 

 

 

+

 

 

+ S

+

 

+ S

< ~

 

 

 

X -

 

к *.

 

*

 

 

* «

 

*

я „

*

О

о

 

wo

wo

О

“ о

о 1

 

о !

о i

О

О 1

0,00

1,000

0,500

 

0,500

0,025

0,700

0,303

0,397

0,020

0,05

1,000

0,525

 

0,475

0,024

0,715

0,323

0,392

0,020

0,10

1,000

0,549

 

0,451

0,023

0,729'

0,343

0,386

0,019

0,15

1,000

0,572

 

0,428

0,021

0,743

0,362

0,381

0,019

0,20

1,000

0,593

 

0,407

0,020

0,756

0,381

0,375

0,019

0,25

1,000

0,613

 

0,387

0,019

0,768

0,400

0,368

0,018

0,30

1,000

0,632

 

0,368

0,018

0,780

0,418

0,362

0,018

0,35

1,000

0,650

 

0,350

0,017

0,791

0,436

0,355

0,018

0,40

1,000

0,667

 

0,333

0,017

0,801

0,454

0,347

0,017

0,45

1,000

0,684

 

0,316

0,016

0,811

0,471

0,340

0,017

0,50

1,000

0,700

 

0,300

0,015

0,820

0,488

0,332

0,017

0,55

1,000

0,715

 

0,285

0,014

0,865

0,505

0,360

0,018

0,60

1,000

0,729

 

0,271

0,014

0,917

0,523

0,394

0,020

0,65

1,000

0,743

 

0,257

0,013

0,980

0,543

0,437

0,022

0,70

1,000

0,756

 

0,244

0,012

1,060

0,565

0,495

0,025

0,75

1,000

0,768

0,232

0,012

1,162

0,590

0,572

0,029

0,80

1,000

0,780

0,220

0,011

1,300

0,619

0,681

0,034

0,85

1,000

0,791

 

0,209

0,010

1,500

0,653

0,847

0,042

0,90

1,000

0,801

 

0,199

0,010

1,836

0,695

1,141

0,057

0,95

1,000

0,811

 

0,189

0,009

' 2,596

0,752

1,844

6,092

1,00

1,000

0,820

 

0,982

1,05

0,948

0,865

 

1,037

,--

1,10

0,895

0,917

 

1,097

 

 

 

 

 

 

53


располагаются Значения х через 0,05. Во втором столбце — соответ­ ствующие значения Cn_x + /) для х < L I (выше горизонталь­

ной черты) и

Для

х >■ L — /

(ниже

черты);

в третьем

столбце С„ (х) (очевидно, что

Сх (0) =

 

kC0 = 0,5).

В

четвертом

столбце помещается

разность

С„_х +

/) — Сп (х).

 

В

пятом —

произведение этой разности на

k Axil,

обозначенное через Сх +

 

 

+ Ах)

— Сх (х).

Суммируя

его

 

 

(алгебраически) с Сп (х),

получаем

 

 

Сп (х +

Ах)

(третий

столбец). Да­

 

 

лее действия

повторяются

вплоть

 

 

до значения

х

= 1.

 

Полученное

 

 

таким образом для первого прохода

 

 

значение Сх (х) является концент­

 

 

рацией в начальной точке участка

 

 

нормальной

направленной

крис­

 

 

таллизации для этого прохода. Ум-

 

 

ножаяее на значения

( L — х \ *

- i

 

 

 

j—j

 

во втором столбце, находим соот­ ветствующие концентрации Сх (х). Аналогично рассчитывается кривая распределения для второго про­ хода. Разница состоит только в на­ ложении условия С2 (0) и с уче­ том верхнего значения С2(1). Обе величины находятся методами чис­ ленного интегрирования, например методом трапеций, в соответствии с уравнениями (11.51), (11.55) И (11.56):

Рис. 17.

Результаты расчета распределе­

а

д

^

[ £

а

д

ния примеси по

приближенному методу

 

 

(0) +

Сх (0,50)

 

для зонной перекристаллизации (С0 = 1,

 

C l

(11.57)

k = 0,1,

L = 1 и 1 — 0,1) после различ­

 

 

 

 

 

ного числа

проходов зоны (п), полученные

 

 

 

 

 

 

при Д * = 0 ,1 (7 ),

Ах = 0,05 (2), Ах =

 

 

 

 

 

С2 (х)

= 0,02 (3),

и их сравнение с результатами

а д

=

^ Г

1 -

У

расчета

на

электронной вычислительной

а д

машине

по

методу Хамминга при Ах =

 

 

с2(0) +-СД1)

j f (11.58)

= 0,001 (-7), заимствованными из моно­

 

 

 

графии

Пфанна [22]

 

 

 

 

 

 

причем в первом случае суммирование

производится

при 0 sg; х eg

«^0,50,

во втором — при

чем меньше Ах. Отсюда следует,

Ряд (II.30) сходится тем быстрее,

что расчетные кривые тем меньше отклоняются от истинных, чем меньше Ах.

На рис. 17 приведены результаты расчета кривых распределения при С0 — L = 1 и k = I = 0,1 для трех различных Ах. Для сравне­ ния на том же графике нанесены кривые, заимствованные из моно­ графии Пфанна [22 ] и полученные при Ах, составляющем 1 % от

54


длины загрузки. Можно видеть, что расчет данным методом приводит к приемлемым результатам. Чем меньше Ах, тем меньше расхождение кривых.

Из соображений надежности расчета Ах может быть выбрано тем больше (при той же точности), чем меньше k и чем больше /.

Более точных результатов можно достичь, если учесть члены раз­ ложения (11.30) более высокого порядка. В табл. 3 приводятся результаты расчета кривых предыдущего примера при Ал: = / = 0,1 в первом, втором и третьем приближениях с точностью до третьего знака. В случае первого прохода третье приближение не меняет результата, тогда как в случае второго прохода появляются изме­ нения в третьем знаке. Можно отметить, что если достаточна точ­ ность до одного знака, то можно ограничиваться первым прибли­ жением. Там же приведены результаты расчета в первом, втором и третьем приближениях при С0 = / = 1;Т = 1и& = 0,1 при Ах = = 1 = 1. Для первого и третьего приближений после первого про­ хода получаются одинаковые результаты, тогда как после второго прохода между ними появляется разница в третьем знаке. На этот раз следует отметить, что если достаточна точность до второго знака, то можно ограничиваться вторым приближением (число проходов п должно быть не слишком велико).

Предлагаемый расчет возможен не только для зонной перекри­ сталлизации при пфанновских допущениях. В таких вариантах зонной перекристаллизации, как зонная перекристаллизация с про­ граммирование меняющейся длиной зоны или зонная перекристалли­ зация слитков переменного сечения, распределение примеси подчи­

няется

уравнению

 

 

 

 

 

 

dCn (V)

k jdVж

| i \

п / i т/

\

 

dV

* Vx

 

l ) ^ - г М + ^ ж ) —

 

 

1

 

 

 

(11.59)

 

 

Vж ( i r + * ) c „ < V ) ,

где ,

V — объем перекристаллизованного

материала;

Уж— объем зоны.

 

 

 

 

В этом случае для числовых расчетов в первом приближении

можно

пользоваться

уравнением

 

 

 

 

C„(V -t-4V)-C„(V) =

h

( j i T +

' ) c^ < y + v - > -

 

 

dVж

+ k) СJ V ) ] a v .

(11.60)

 

 

dV

 

 

 

 

В таблицу расчета при

этом включаются столбцы, содержащие зна­

чения ~

{ ^ г +

и

р—

Для различных х, вычи­

сляемых

предварительно,

 

55


 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 3

РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИЙ Сг (х) И С2 (х)

ПОСЛЕ

ПЕРВОГО

 

И ВТОРОГО ПРОХОДОВ, РАССЧИТАННЫЕ В ПЕРВОМ (I),

 

 

 

ВТОРОМ (II) И ТРЕТЬЕМ (III) ПРИБЛИЖЕНИЯХ

 

 

 

 

 

ПРИ С, (*) =

1,

L =

1 и А == 0,1

 

 

 

 

 

 

 

С ,

( х )

 

 

С 2 ( х )

 

1

А х

X

I

 

II

III

I

п

III

 

 

 

 

 

 

0,00

0,100

0,100

0,100

0,0145

0,0143

0,0142

 

 

0,10

0,190

0,185

0,185

0,0320

0,0345

0,0343

 

 

0,20

0,271

0,263

0,262

0,0559

0,0598

0,0596

 

 

0,30

0,344

0,333

0,332

0,0847

0,0891

0,0886

0,1

0,1

0,40

0,410

0,397

0,395

0,1172

0,122

0,120

0,50

0,469

0,454

0,452

0,152

0,156

0,154

 

 

0,60

0,522

0,506

0,504

0,189

0,192

0,190

 

 

0,70

0,570

0,553

0,551

0,227

0,229

0,226

 

 

0,80

0,613

0,596

0,594

0,266

0,266

0,263

 

 

0,90

0,652

0,634

0,633

0,302

0,303

0,300

 

 

1,00

ОО

 

ОО

ОО

ОО

ОО

ОО

 

 

0,00

0,100

0,100

0,100

0,0145

0,0142

0,142

 

 

0,20

0,190

0,185

0,185

0,0320

0,0345

0,0343

 

 

0,40

0,470

0,263

0,262

0,0559

0,0598

0,0596

 

 

0,60

0,344

0,333

0,332

0,0847

0,0891

0,0886

 

 

0,80

0,410

0,397

0,395

0,1172

0,122

0,20

1,0

1,0

1,00

0,469

0,454

0,452

0,152

0,156

0,154

1,20

0,522

0,506

0,504

0,189

0,192

0,190

 

 

1,40

0,570

0,553

0,551

0,227

0,229

0,226

 

 

1,60

0,613

0,596

0,594

0,266

0,226

0,263

 

 

1,80

0,652

0,634

0,633

0,302

0,333

0,300

 

 

2,00

. со

 

ОО

ОО

ОО

ОО

ОО

1,15

0,837

0,980

1,20

0,774

1,060

1,25

0,706

1,162

1,30

0,632

1,300

1,35

0,547

1,500

1,40

0,447

1,836

1,45

0,316

2,596

1,50

0,0

оо

 

>ог

 

 

д

 

X

*

С-1 W

1 -

 

 

 

1,173

_

_

1,269

1,391

_

_

1,552

_

_

1,795

___1

_

2,195

_

_

3,105

_

_

ОО

С2 ( х )

56


Для зонной перекристаллизации с целевой загрузкой сохраняются граничные условия, но изменяется начальное условие. Для колонной зонной перекристаллизации основные зависимости сохраняются, но изменяются граничные условия с учетом характера подпитки и отвода загрязненного и очищенного материалов.

При зонном выравнивании должно быть изменено основное диффе­ ренциальное уравнение процесса. Метод расчета применим и в тех случаях, когда необходимо учесть заранее известную или предпола­ гаемую зависимость коэффициента распределения от концентрации. При этом сохраняются основные расчетные выражения, но коэф­ фициент распределения рассматривается как функция k (х) = = k [Сп (х) ].

ТОЧНЫЙ РАСЧЕТНЫЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ

Приближенный численный метод расчета распределения концентра­ ций при зонной перекристаллизации дает возможность, зная концен­ трацию Сп (х) в точке х загрузки после п-ного прохода зоны и кон­

центрации после предыдущих проходов,

определить концентрацию

в точке х + Ах загрузки после n-ного

прохода. Таким образом,

этим методом может быть определен весь концентрационный профиль после любого числа проходов зоны.

Однако от прохода к проходу заметно возрастает ошибка расчета. Уменьшить ее, как было показано, можно двумя путями: или умень­ шением величины Ах, или учетом большего числа членов в разложе­ нии Сп (х + Ах) по степеням Ах. Первый путь приводит к увеличе­ нию объема вычислений, в особенности при большом отношении длины загрузки к длине зоны (так как должно быть Ах < /; это не является препятствием при машинных расчетах, однако затрудняет расчеты «вручную»).

Поэтому В. Н. Вигдорович и А. Е. Вольпян [62, 63] приближен­ ный метод расчета усовершенствовали путем учета сколь угодно большого числа членов разложения С„ (х + Ах) и получили итера­ ционные выражения, одинаково точные для любого числа проходов зоны.

Воспользуемся разложением функции Сп (х + Ах) в ряд:

Сп (X + Ах) = Сп (х) + ~ Сп (X) + № с"п (* )+ ••■ , (11.61)

основным дифференциальным уравнением зонной перекристалли­ зации

с ; (х) =

„_1 (х + 1) -

Сп (*)],

(11.62)

начальным условием

 

 

 

Сп (х) = С0 (х) при п = О

(П.63)

и граничным условием

 

 

 

Сп (х) = Сп (L 1) f

(х) при L — /

< х < L.

(II.64)

57