Файл: Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 19.10.2024
Просмотров: 70
Скачиваний: 0
нарушается непрерывность производной С'п (.х), а при условии (11.28) нарушается и непрерывность самой функции С„ (я). В результате,
если после первого |
прохода разложение (11.30) |
не выполняется |
в одной точке х = L |
— I, то после второго прохода |
— в двух точках: |
х = L — / и х = L — 2/; после третьего прохода — в трех точках, удаленных от конца загрузки на целое число длин зон и т. д. По
этому, чтобы пользоваться |
разложением (11.30) при |
условии х >> |
> L — nl, нужно выбирать |
интервалы Ах такими, |
чтобы указан |
ные точки нарушения непрерывности приходились на концы этих интервалов.
Влияние граничного условия (11.28) или (11.29) ведет также к тому, что в предпоследней зоне загрузки после всех проходов на чиная со второго для расчета во втором приближении должна исполь зоваться зависимость
Сп (х -)- Ах) — Сп (х) -)- [С„_х (х -f- /) Сп(х)] 6 Ах + |
|
||
+ |
—fe-Cn—i (х -\- I) — С„_1 (х -{- /) -f- Сп(х) (k Ах)2 . |
(11.39) |
|
для расчета |
в третьем приближении в той же |
зоне — зависимость |
|
Сп (х -f- Ах) — Сп (х) -f- [Сп_х(х -}- /) — Сп (х)] k Ах -\- |
|
||
+ |
■С,j_i (х I) — С„_х (х -|- 1) -f- Сп (х) |
(k Ах)2 |
|
2 ! |
|
||
|
|
|
|
k2- C~ nn -- ll |
(х -fI - /)Ч ----- kГ- С’п- l (х -(- /) -|- С„_1 (х |
/) —-С п (х) |
(k Ах)3 |
|
|
|
(11.40) |
а для третьей зоны от конца в третьем приближении — зависимость
Сл (х Дх) = Сп (х) -j- [С„_х (х —j—/) — Сп (х)] k Ах -\-
+ [Сп—2(х + 2) — 2С„_х(х -)- /) + С„ ( х ) ] ^ — [-
+ -j Сп-2(х +2/) — 2Сп_г (х |
21) ЗСп_1 (х -f- /) Сп (х) |
(й Ах)3 |
|||
— 3! |
|||||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
(11.41) |
|
Концентрации С„_г (х + /) |
в |
уравнениях |
(11.39) и (11.40) и |
||
С„_2 (х + 21) в уравнении (11.41) |
определяются |
из условия (11.28) |
и (11.29), а производные — путем дифференцирования этих условий. При остальных значениях п и х приближенный расчет концентра ций в загрузках конечной длины можно вести по уравнениям (II.33)— (II.38) для полубесконечных загрузок.
Необходимо отметить, что если второе граничное условие опреде ляется выражением (II.29), то, как это следует из равенства (II.25), начиная со второго прохода при х --> L — I, Сп’ (х) ->0 и расчет С„ (L — I) по полученным выше приближенным формулам приводит
4 В. Н- Вигдорович |
49 |
к большим погрешностям. В связи с этим |
Сп (L — l) |
следует искать |
||
по формуле |
|
|
|
|
L—l |
|
|
|
(11.42) |
Cn (L — I) = k L — J Cn (x) dx |
, |
|
||
0 |
|
|
|
|
заменяя точное интегрирование приближенным. |
Если для последней |
|||
зоны загрузки справедливо условие (11.28), то расчет |
Сп (L — I) |
|||
также можно вести по этой формуле, подразумевая под |
Сп (L — /) |
|||
значение Сп (L — I — 0) слева от точки |
х = L — I. |
В результате |
устраняется нарушение баланса примеси в загрузке за счет неточ ности расчета.
При расчете в первом приближении для приближенного интегри рования целесообразно использовать метод трапеций, который сво
дится к |
спрямлению |
криволинейных участков Сп (х) длиной Ах: |
|
|
X |
|
|
|
J Ся (£)#&%■ 1Сп (0) + 2Сп (Ах)+ |
|
|
|
о |
|
|
|
~Ь 2С„ (2Дх)- j- • • • ф-2С„ (х — Ах) -f- Сп{х)]\ |
(11.43) |
|
при расчете во втором приближении — метод парабол: |
|
||
X |
|
|
|
j |
Сп (I■) dl ~ ^ |
[Ся (0) + 4Сп (Ах) + 2Сп (2Ах) + • • • |
+ |
о |
|
|
|
|
-)- 2Сп (х — 2Ах) ф- 4С„ (х — Ах) -)- Сп (х)] |
(11.44) |
и т. д.
По первому приближению равенство (11.31) принимает следую
щий вид: |
|
|
Сп + |
Ах) - Сп (х) = [С„_х (х + /) - Сг (х)] ^ . |
(II.45) |
В частном случае |
Ах = Пт, |
|
|
|
|
где т — целое число, получим расчетное выражение (II. 16), |
найден |
|
ное ранее другим |
путем. |
|
Таким образом, замена плавного движения зоны скачкообразным и спрямление криволинейных участков распределения С„ (х) дают приближение одного порядка.
Равенства (II.31) и (II.32) справедливы для всех х с любой сте пенью точности лишь для бесконечно больших п и для полубесконеч-
ных загрузок, когда |
отсутствует влияние |
начального условия |
(при п ~ 0) и граничного условия (при х > |
L, где L — длина за |
|
грузки). |
|
|
В случае зонной перекристаллизации имеет место начальное |
||
условие |
|
|
Сп (х) |
= С0 (х) при п = 0, |
(П.46) |
характеризующее исходное распределение примеси, и Граничные условия
|
Сп (х) = |
0 |
при х < 0 |
и при х > L . |
(И.47) |
|
Равенство |
(11.32) |
для |
первого |
прохода принимает вид |
||
с!" |
(х) = ( |
4 |
) |
2 ( - 4 |
) ' т!" |
(X+D + |
|
|
|
|
/—О |
|
|
|
|
+ |
( - i ) / Yi, , ( 4 - ) l - l c i W . |
(п -48) |
а уравнение (11.30) представляет собой разложение функции Сг (х),
определенной по |
уравнению |
Рида в точке (х + Ах): |
|
Ci (х) = [1 — (1 — k) exp (—Ах//) ] С0, |
(11.49) |
||
где Со (х) = С0 — const. |
|
|
|
Для второго прохода |
|
|
|
с$° (х) = |
(4-)2 2 |
( - 4 У y}/+1)C4'-2-/) (X + 21) + |
|
|
/=о |
|
|
+ ( - - г ) ‘^ S |
(— 1У Y/0^ ^ / [х + (7 — /) /]. |
(11.50) |
|
|
/=“ |
|
|
Для я-ного прохода
i
( 4 - ) ‘ '^ i (— i)'yi‘)Cn-u-j)[x + (i — i)l] при
/=о
С ? (х) = |
(4 - )" 2 |
( - 4 У |
У'п_1_/)со<_"+/)(х + ni) + |
|
i=0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ ( |
2 |
( |
^ y}l)Ci-Jlj[x 4- (i — j) /] |
|
|
f=t—n+1 |
при |
i > л. |
|
|
|
(11.51)
Биноминальные коэффициенты у в этих выражениях можно определить из равенств (11.20)—(11.31) с учетом выражения (11.46) или из треугольника Паскаля по схеме, показанной на рис. 16. В равенствах (11.48), (11.50) и (11.51) концентрации Су и их произ
водные С/г) обращаются в нуль в точках х > L в соответствии с усло-
4 * |
51 |
виями (11.47); то же самое, понйтно, относится и к производным Со;) от исходной концентрации, если она постоянна.
Граничные условия (11.47) совместно с уравнением (11.20) позво ляют определять концентрацию в начальной точке загрузки
(11.52)
о
и распределение на участке последней зоны, подчиняющееся урав нению нормальной направленной кристаллизации:
Сп(х) — y Сг (х) (11.53)
или
(11.54)
Влияние «схода зоны с загрузки» в конце прохода приводит к на рушению непрерывности производных в точках, отстоящих от конца
|
|
|
|
загрузки на |
|
целое число |
||||
|
|
|
|
длин зон. В точке х = L |
||||||
|
|
|
|
непрерывность |
функции |
|||||
|
|
|
|
Сп (х) |
нарушается |
начи- |
||||
|
|
|
|
= 0 ]; |
в |
точке х = |
L — I |
|||
|
|
|
|
непрерывность |
функции |
|||||
|
|
|
|
С'п (х) нарушается начиная |
||||||
|
|
|
|
с п = |
1. В точке х = L — |
|||||
|
|
|
^ |
■— 21 — непреры вность |
||||||
|
|
|
функции С"п (х) нарушается |
|||||||
|
|
|
6 |
начиная |
с п = 2 |
и т. д. |
||||
|
|
|
Следовательно, чтобы име |
|||||||
|
|
|
|
ло |
место |
|
разложение |
|||
Рис. |
1G. |
Схема определения |
коэффициентов в фор |
(11.31), |
Ах должны выби- |
|||||
раться так, чтобы не вклю |
||||||||||
|
|
мулах (2.48) |
— (2.51) |
|||||||
Этого |
можно добиться, если началом |
чать в себя этих точек. |
||||||||
отсчета |
Ах |
будет |
точка |
|||||||
х = |
0 и отношения L t Ах и И Ах будут целыми числами. |
Таким обра |
||||||||
зом, |
|
можно считать |
концентрацию в |
конце |
одного |
|
отрезка Ах |
равной концентрации в начале следующего отрезка. Исключение составляет точка х = L — I. При х = L значение Сп (х) в уравне нии (11.54) становится бесконечно большим; поэтому градиент кон центрации С'п+ 1 {х) в точке перехода к участку нормальной направ ленной кристаллизации становится бесконечным, как это следует из уравнения (11.20). На расчетных кривых распределения в этой точке после всех проходов зоны начиная со второго будет скачок концен
52